Technische Universität Braunschweig
  • Studium & Lehre
    • Vor dem Studium
      • Informationen für Studieninteressierte
      • Studiengänge von A-Z
      • Bewerbung
      • Fit4TU - Self-Assessment
      • Beratungsangebote für Studieninteressierte
      • Warum Braunschweig?
    • Im Studium
      • Erstsemester-Hub
      • Semestertermine
      • Lehrveranstaltungen
      • Informationen für Erstsemester
      • Studien-ABC
      • Studienorganisation
      • Beratungsnavi
      • Zusatzqualifikationen
      • Finanzierung und Kosten
      • Besondere Studienbedingungen
      • Hinweise zum Coronavirus
      • Gesundheit & Wohlbefinden
      • Campusleben
    • Nach dem Studium
      • Exmatrikulation und Vorlegalisation
      • Nach dem Abschluss
      • Alumni
    • Strategien und Qualitätsmanagement
      • Strategiepapiere für Studium und Lehre
      • Studienqualitätsmittel
      • Studiengangsentwicklung
      • Qualitätsmanagement
      • Rechtliche Grundlagen
    • Für Lehrende
      • Informationen für Lehrende
      • Lernmanagementsystem Stud.IP
      • Lehre und Medienbildung
    • Kontakt
      • Studienservice-Center
      • Sag's uns - in Studium und Lehre
      • Zentrale Studienberatung
      • Immatrikulationsamt
      • Abteilung 16 - Studium und Lehre
      • Career Service
      • Projekthaus
  • Forschung
    • Forschungsprofil
      • Forschungsschwerpunkte
      • Exzellenzcluster
      • Forschungsprojekte
      • Forschungszentren
      • Forschungsprofile der Professuren
    • Wissenschaftlicher Nachwuchs
      • Förderung des wissenschaftlichen Nachwuchs
      • Promotion
      • Postdocs
      • Nachwuchsgruppenleitung
      • Junior Professur und Tenure-Track
      • Habilitation
      • Service-Angebote für Wissenschaftler*innen
    • Forschungsdaten & Transparenz
      • Transparenz in der Forschung
      • Forschungsdaten
      • Open Access Strategie
      • Digitale Forschungsanzeige
    • Forschungsförderung
      • Netzwerk Forschungsförderung
      • Datenbanken und Stiftungen
    • Kontakt
      • Forschungsservice
      • Graduiertenakademie
  • International
    • Internationale Studierende
      • Warum Braunschweig?
      • International Student Support
      • Studium mit Abschluss
      • Austauschstudium
      • Geflüchtete
      • TU Braunschweig Summer School
    • Wege ins Ausland
      • Studium im Ausland
      • Praktikum im Ausland
      • Lehren und Forschen im Ausland
      • Arbeiten im Ausland
    • Internationale Wissenschaftler*innen
      • Internationale Postdocs und Professor*innen
      • Internationale Promovierende
      • Service für gastgebende Einrichtungen
    • Sprachen und interkulturelle Kompetenzvermittlung
      • Deutsch lernen
      • Fremdsprachen lernen
      • Interkulturelle Kompetenzvermittlung
    • Internationales Profil
      • Internationalisierung
      • Internationale Kooperation
    • International House
      • Wir über uns
      • Kontakt & Sprechstunden
      • Aktuelles und Termine
      • Newsletter, Podcast & Videos
      • Stellenausschreibungen
  • Die TU Braunschweig
    • Unser Profil
      • Ziele & Werte
      • Ordnungen und Leitlinien
      • Allianzen & Partner
      • Die Initiative Hochschulentwicklung 2030
      • Internationale Strategie
      • Fakten & Zahlen
      • Unsere Geschichte
    • Karriere
      • Arbeiten an der TU
      • Stellenmarkt
      • Berufsausbildung an der TU
    • Wirtschaft & Unternehmen
      • Unternehmensgründung
      • Freunde & Förderer
    • Öffentlichkeit
      • Veranstaltungskalender
      • Check-in für Schüler*innen
      • Hochschulinformationstag (HIT)
      • Kinder-Uni
      • Gasthörer*innen & Senior*innenstudium
      • Nutzung der Universitätsbibliothek
    • Presse & Kommunikation
      • Stabsstelle Presse und Kommunikation
      • Medienservice
      • Ansprechpartner*innen
      • Tipps für Wissenschaftler*innen
      • Themen und Stories
    • Kontakt
      • Allgemeiner Kontakt
      • Anreise
      • Für Hinweisgeber
  • Struktur
    • Leitung & Verwaltung
      • Das Präsidium
      • Stabsstellen
      • Verwaltung
      • Organe, Statusgruppen und Kommissionen
    • Fakultäten
      • Carl-Friedrich-Gauß-Fakultät
      • Fakultät für Lebenswissenschaften
      • Fakultät Architektur, Bauingenieurwesen und Umweltwissenschaften
      • Fakultät für Maschinenbau
      • Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik
      • Fakultät für Geistes- und Erziehungswissenschaften
    • Institute
      • Institute von A-Z
    • Einrichtungen
      • Universitätsbibliothek
      • Gauß-IT-Zentrum
      • Zentrale Personalentwicklung
      • International House
      • Projekthaus
      • Transfer- und Kooperationshaus
      • Hochschulsportzentrum
      • Einrichtungen von A-Z
    • Studierendenschaft
      • Studierendenparlament
      • Fachschaften
      • Studentische Wahlen
    • Lehrer*innenbildung
      • Lehrer*innenfortbildung
      • Forschung
    • Chancengleichheit
      • Gleichstellung
      • Familie
      • Diversität
    • Kontakt
      • Personensuche
  • Suche
  • Schnellzugriff
    • Personensuche
    • Webmail
    • cloud.TU Braunschweig
    • Messenger
    • Mensa
    • TUconnect (Studierendenportal)
    • Lehrveranstaltungen
    • Im Notfall
    • Stud.IP
    • UB Katalog
    • Status GITZ-Dienste
    • Störungsmeldung GB3
    • IT Self-Service
    • Informationsportal (Beschäftigte)
    • Beratungsnavi
    • Linksammlung
    • DE
    • EN
    • Facebook
    • Twitter
    • Instagram
    • YouTube
    • LinkedIn
Menü
  • Technische Universität Braunschweig
  • Struktur
  • Fakultäten
  • Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik
  • Institute
  • Institut für Halbleitertechnik
  • Forschung
  • MEMS
Logo Institut für Halbleitertechnik der TU Braunschweig
  • Forschung
    • MicroPhotonicsLab (MPL)
    • GaN Technologie
    • Nano-Analytik
    • 2D-Materialien
    • MEMS
    • DNA Origami & Molekulare Elektronik
    • Optische Quantentechnologien
    • Inverses Photonik Design
    • Publikationen

MEMS

Maik Bertke mit Ultra-Feinstaub-Messgerät "Cantor" an der Forschungskreuzung Ring/Hans-Sommers-Straße

Wir arbeiten an Entwurf, Herstellung, Montage und Prüfung von mikro-/nano-elektromechanischen Halbleiterstrukturen und -systemen (M/NEMS)

  • zur Erfassung von Luftschadstoffen (Feinststaub, Stickoxid),
  • zur taktilen Prüfung von Werkstückoberflächen (Form, Rauheit, Viskoelastizität),
  • zur Energierückgewinnung und -speicherung (Nanodraht-basierte Stromerzeuger und Batterien, auf Glas synthetisiertes Photovoltaik-Basismaterial),
  • sowie für grundlegende Untersuchungen zur Selbst- und Fehlstellendiffusion.
Umweltsensorik
Magnetische Partikel auf piezoresistivem Cantilever

Piezoresistive Biegebalkensensoren werden entwickelt, mit denen adsorbierte Luftschadstoffe wie Partikel und Abgase resonant gravimetrisch gemessen werden können. Zur Erhöhung der Empfindlichkeit werden Resonatorabmessungen bis in den unteren µm-Bereich reduziert bzw. deren wirksame Oberfläche mit komplexen Nanostrukturen massiv vergrößert. Mit adaptiven elektronischen Systemen wird soll die Signalqualität für eine Resonanzfrequenznachführung in Echtzeit optimiert werden.

Kontakt:  Prof. Erwin Peiner

Doktorarbeiten:

  • M. Sc. Iqbal Syamsu,
    "Piezoelectric micro-electro-mechanical systems for gas sensors", gefördert durch ein Stipendium des Ministry of Research, Technology and Higher Education of the Republic of Indonesia (RISTEKDIKTI, Nr. 343/RISET-Pro/FGS/VII/2016), laufend
  • Dr.-Ing. Andi Setiono,
    "Parasitic-crosstalk elimination in electrothermal piezoresistive cantilever resonators for real-time frequency-tracking operation",
    Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2021, gefördert durch ein Stipendium des Ministry of Research, Technology and Higher Education of the Republic of Indonesia (RISTEKDIKTI, Nr. 343/RISET-Pro/FGS/VII/2016).
  • Dr.-Ing. Wilson Ombati Nyang‘au,
    "Microcantilever-based measurement of mass and magnetic moment of liquidborne magnetic micro and nanoparticles",
    Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2021, gefördert durch ein Stipendium des Bundesministeriums für wirtschaftliche Zusammenarbeit und Entwicklung (BMZ, Nr. 27070024).
  • Dr.-Ing. Maik Bertke,
    „MEMS/NEMS-basierte Sensoren für die Detektion und Charakterisierung von Nanopartikeln”,
    Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2020,
    ausgezeichnet mit einem Preis für eine besonders gute Abschlussarbeit durch die Stiftung der Ingenieurkammer Niedersachsen, 2021
  • Dr.-Ing. Jiushuai Xu,
    "Wearable gas sensors based on silicon MEMS/NEMS-based resonators",
    Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2020, gefördert durch ein Promotionsstipendium des China Scholarship Council (CSC, Nr. 201506300019)
  • Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto,
    "Direct-reading personal airborne nanoparticle detector based on micromechanical silicon cantilever resonators",
    Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2014,
    ausgezeichnet mit dem „Walter-Kertz-Studienpreis“ der Fakultät Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik, 2014

 

 

Geförderte Projekte:

  • NMWK, ZN3245,
    „Forschungslinie Quanten- und Nanometrologie (QUANOMET): Nachwuchsgruppe Nanopartikel Charakterisierung (NP2)”,
    11/2016 –10/2021
  • BMBF, 03X0098A,
    „Nanobalancedetektor für personenbezogene Messungen von Nanopartikel-Expositionen - NanoExpo”
    05/2010 – 10/2013

 

Zeitschriften-Veröffentlichungen / Buchkapitel (Auswahl, seit 2019):

  • Jiushuai Xu and Erwin Peiner,
    "Dimensional-Nanopatterned Piezoresistive Silicon Microcantilever for Environmental Sensing",
    in "Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors", Editor: Dr. Zhuoqing Yang (Springer Nature Switzerland AG, 2022), 19-47; https://link.springer.com/chapter/10.1007%2F978-3-030-79749-2_2.
  • Wilson Ombati Nyang’au, Tamara Kahmann, Thilo Viereck, Erwin Peiner,
    "MEMS-based cantilever sensor for simultaneous measurement of mass and magnetic moment of magnetic particles",
    Chemosensors 9 (2021) 207 (19pp); https://doi.org/10.3390/chemosensors9080207.
  • Andi Setiono, Michael Fahrbach, Alexander Deutschinger, Ernest J. Fantner, Christian H. Schwalb, Iqbal Syamsu, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner,
    "Performance of an Electrothermal MEMS Cantilever Resonator with Fano-Resonance Annoyance under Cigarette Smoke Exposure",
    Sensors 21 (2021) 4088 (19pp); doi: 10.3390/s21124088.
  • Maik Bertke, Ina Kirsch, Erik Uhde, Erwin Peiner,
    "Ultrafine Aerosol Particle Sizer Based on Piezoresistive Microcantilever Resonators with Integrated Air-Flow Channel",
    Sensors 21 (2021) 3731 (19pp); doi: 10.3390/s21113731.
  • Jiushuai Xu, Andi Setiono, Erwin Peiner,
    "Piezoresistive Microcantilever with SAM-Modified ZnO-Nanorods@Silicon-Nanopillars for Room-Temperature Parts-Per-Billion NO2 Detection",
    ACS Appl. Nano Mater. 3 (2020) 6609−6620; DOI: 10.1021/acsanm.0c01055.
  • W. O. Nyang’au, A. Setiono, A. Schmidt, H. Bosse, E. Peiner,
    "Sampling and Mass Detection of a Countable Number of Microparticles Using on-Cantilever Imprinting",
    Sensors 20(9) (2020) 2508; https://doi.org/10.3390/s20092508.
  • A. Setiono, M. Bertke, W. O. Nyang’au, J. Xu, M. Fahrbach, I. Kirsch, E. Uhde, A. Deutschinger, E. J. Fantner, C. H. Schwalb, H. S. Wasisto, E. Peiner,
    "In-plane and out-of-plane MEMS piezoresistive cantilever sensors for nanoparticle mass detection",
    Sensors 20(3) (2020) 618 (18pp); https://doi.org/10.3390/s20030618.
  • M. Bertke, J. Xu, A. Setiono, I. Kirsch, E. Uhde, E. Peiner,
    "Fabrication of a micro-cantilever-based aerosol detector with integrated electrostatic on-chip ultrafine particle separation and collection",
    J. Micromech. Microeng. 30 (2020) 014001 (13pp); DOI: 10.1088/1361-6439/ab4e56.
  • J. Xu, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner,
    Invited Topical Review: “Piezoresistive Microcantilevers for Humidity Sensing”,
    J. Micromech. Microeng. 29 (2019) 053003 (29pp), https://doi.org/10.1088/1361-6439/ab0cf5.
  • A. Setiono, W. O. Nyang’au, M. Fahrbach, J. Xu, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner,
    “Improvement of frequency responses of an in-plane electro-thermal cantilever sensor for real-time measurement”,
    J. Micromech. Microeng. 29 (2019) 124006 (12pp); https://doi.org/10.1088/1361-6439/ab4e29.
  • W. O. Nyang’au, A. Setiono, M. Bertke, H. Bosse, E. Peiner,
    “Cantilever-droplet-based sensing of magnetic particle concentrations in liquids”,
    Sensors 19 (2019) 4758 (18pp); doi:10.3390/s19214758.
  • Maik Bertke, Jiushuai Xu, Michael Fahrbach, Andi Setiono, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner,
    “Strategy toward miniaturized, self-out-readable resonant cantilever and integrated electrostatic microchannel separator for highly sensitive airborne nanoparticle detection”,
    Sensors 19 (2019) 901 (12pp); doi:10.3390/s19040901.
  • Andi Setiono, Jiushuai Xu, Maik Bertke, Wilson Ombati Nyang’au, Michael Fahrbach, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner,
    “Real-Time Frequency Tracking of an Electro-Thermal Piezoresistive Cantilever Resonator with ZnO Nanorods for Chemical Sensing”,
    Chemosensors 7 (2019) 2; doi:10.3390/chemosensors7010002. Editor's Choice Articles of 2019 in Chemosensors.
  • A. Setiono, M. Fahrbach, M. Bertke, J. Xu, G. Hamdana, H. S. Wasisto, E. Peiner,
    “Phase optimization of thermally-actuated piezoresistive resonant MEMS cantilever sensors”,
    J. Sens. Sens. Syst. 8 (2019) 37–48; https://doi.org/10.5194/jsss-8-37-2019.
  • Javier Toledo, Víctor Ruiz-Díez, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, José Luis Sánchez-Rojas,
    “Piezoelectric MEMS resonators for cigarette particle detection”,
    Micromachines 10 (2019) 145; https://doi.org/10.3390/mi10020145.
Taktile Oberflächenmesstechnik
Doktorand mit Messaufbau bei BZ

Piezoresistive Mikro-Cantilever-Tast- und Kraftsensoren zur Prüfung von Werkstückoberflächen (Form, Rauheit, Viskoelastizität) werden für den Einsatz in der industriellen Produktion weiter entwickelt. Die für Kontaktresonanz-Messungen erforderliche Aktorik soll mit integrierten Heiz- bzw. Piezoaktoren dargestellt werden.

Kontakt:  Prof. Erwin Peiner

Doktorarbeiten:

  • M. Sc. Michael Fahrbach,
    "Multifunctional ultrafast microprobes for on‐the‐machine measurements",
    laufend
  • Dr.-Ing. Gerry Hamdana,
    "MEMs piezoresistive force sensors based on micro-/nanostructured silicon components",
    Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2018

 

Geförderte Projekte:

  • EU-EMPIR, 17IND05 
    "Multifunctional ultrafast microprobes for on-the-machine measurements - MicroProbes"
    06/2018 – 11/2021
  • BMBF, 03V0409
    "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis - HmtS"
    08/2013 – 01/2017
  • BMBF, 16SV1944
    "Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik - µgeoMess"
    01/2005 – 06/2008

 

Zeitschriften-Veröffentlichungen (Auswahl, seit 2013):

  • Michael Fahrbach, Min Xu, Wilson Ombati Nyang’au, Oleg Domanov, Christian H. Schwalb, Zhi Li, Christian Kuhlmann, Uwe Brand, Erwin Peiner,
    "Damped Cantilever Microprobes for High-Speed Contact Metrology with 3D Surface Topography",
    Sensors 23 (2023) (14pp), 2003; https://doi.org/10.3390/s23042003.

  • Min Xu, Ziqi Zhou, Thomas Ahbe, Erwin Peiner, Uwe Brand,
    "Using a Tip Characterizer to Investigate Microprobe Silicon Tip Geometry Variation in Roughness Measurements",
    Sensors 22 (2022) 1298 (15pp); https://doi.org/10.3390/s22031298;

  • Linus Teir, Tuomas Lindstedt, Thomas Widmaier, Björn Hemming, Uwe Brand, Michael Fahrbach, Erwin Peiner and Antti Lassila,
    "In-line measurement of the surface texture of rolls using long slender piezoresistive microprobes",
    Sensors 21 (2021) 5955 (14pp); https://doi.org/10.3390/s21175955;

  • Michael Fahrbach, Sebastian Backes, Heinrich Behle, Min, Xu, Brunero Cappella, Uwe Brand, Erwin Peiner,
    "Customized piezoresistive microprobes for combined imaging of topography and mechanical properties",
    Measurement: Sensors 15 (2021) 100042 , https://doi.org/10.1016/j.measen.2021.100042; Daten verfügbar.

  • Min Xu, Zhi Li, Michael Fahrbach, Erwin Peiner, Uwe Brand, “Investigating the trackability of silicon microprobes in high-speed surface measurements”,
    Sensors 21 (2021) 1557 (13pp); doi: 10.3390/s21051557.

  • Michael Fahrbach, Sebastian Friedrich, Brunero Cappella, Erwin Peiner
    "Calibrating a high-speed contact-resonance profilometer",
    J. Sens. Sens. Syst. 9 (2020) 179–187, https://doi.org/10.5194/jsss-9-179-2020.
  • Z. Li, S. Gao, U. Brand, K. Hiller, S. Hahn, G. Hamdana, E. Peiner, H. Wolff, D. Bergmann,
    "Nanomechanical Characterization of Vertical Nanopillars Using an MEMS-SPM Nano-Bending Testing Platform"
    Sensors 19 (2019) 4529 (13pp); doi:10.3390/s19204529.
  • U. Brand, M. Xu, L. Doering, J. Langfahl-Klabes, H. Behle, S. Bütefisch, T. Ahbe, E. Peiner, T. Frank, B. Mickan, I. Kisilev, M. Hauptmannl, M. Drexel,
    "Long slender piezoresistive silicon microprobes for fast measurements of roughness and mechanical properties inside microholes with diameters below 100 µm",
    Sensors 19 (2019) 1410; doi:10.3390/s19061410.
  • M. Bertke, M. Fahrbach, G. Hamdana, J. Xu, H. S. Wasisto, E. Peiner,
    "Contact Resonance Spectroscopy for On-The-Machine Manufactory Monitoring",
    Sens. Actuat. A Phys. 279 (2018) 501–508; doi: 10.1016/j.sna.2018.06.012.
  • Lutz Doering, Uwe Brand, Sebastian Bütefisch, Thomas Ahbe, Thomas Weimann, Erwin Peiner, Thomas Frank,
    "High-speed microprobe for roughness measurements in high-aspect-ratio microstructures",
    Meas. Sci. Technol. 28 (2017) 034009 (9pp); doi:10.1088/1361-6501/28/3/034009.
  • Erwin Peiner and Lutz Doering,
    "Nondestructive Evaluation of Diesel Spray Holes Using Piezoresistive Sensors",
    IEEE Sensors J. 13 (2013) 701-708, DOI: 10.1109/JSEN.2012.2225614.
Energierückgewinnung und -speicherung
Array von Siliziumsäulen mit aufgesetzter Wollastondrahtsonde

Wir entwickeln Verfahren zur Strukturierung von Halbleitern in Nanodraht-Arrays

  • für Untersuchungen zur Selbst- und Defektdiffusion,
  • für Bauelemente zur thermo- und piezoelektrischen bzw. photovoltaischen Energiewandlung,
  • als Anoden für Lithium-Ionen-Batterien und
  • zur Validierung von Messtechnik für deren Charakterisierung.

Mit kristallinem p-leitendem Silizium, das in einem aluminothermischen Niedertemperaturprozess aus Glas synthetisiert wird, sollen Solarzellen realisiert werden. Der Aufbau der Zelle soll vertikal sein, da prozessbedingt im unteren Bereich des Siliziums schon eine hoch p-leitende Schicht vorliegt. Der oben eingebrachte n-Bereich muss transparent passiviert und kontaktiert werden.

Kontakt:  Prof. Erwin Peiner

Doktorarbeiten:

  • M. Sc. Andam Deatama Refino,
    "Vertical silicon nanowires as an anode for lithium-ion battery",
    gefördert durch ein BPP-LN Promotionsstipendium des Ministry of Research, Technology and Higher Education of the Republic of Indonesia (RISTEKDIKTI, Nr. T/912/D3.2/KD.02.01/2019), laufend
  • M. Sc. Frank Eric Boye Anang,
    "Energy harvester based on semiconductor nanowire arrays",
    gefördert durch ein Stipendium des Bundesministeriums für wirtschaftliche Zusammenarbeit und Entwicklung (BMZ), laufend
  • Dr. Ing. Dennis Zillmann,
    „Thermoelektrische Module basierend auf Halb-Heusler-Materialien“,
    Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2018
  • Dr.-Ing. Andrej Stranz,
    „Untersuchung von einkristallinem Bulk-Silizium und Silizium-Nanosäulen für die thermoelektrische generatorische Energieumwandlung“,
    Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2013

 

Geförderte Projekte:

  • BMWi, 03THWNI009,
    "Photovoltaik mit kristallinem Silizium auf Fenster-Glas - PV-CSS"
    10/2021 - 12/2022
  • BMBF, 01DP21003,
    "3D-nanoskalige Siliziumanoden für Lithium-Ionen-Batterien mit hoher Energiedichte - SiNanoBatt; Herstellungstechnologien für 3D-Silizium-Nanoanoden mit hohem Aspektverhältnis"
    02/2021 - 01/2024
  • EU/EURAMET/EMPIR, 19ENG05,
    "High throughput metrology for nanowire energy harvesting devices - Nanowires"
    09/2020 - 08/2023
  • DBU, Az.: 32945/03,
    „Perspektive zur Solarzelle aus der kristallinen Siliziumsynthese - CSS for solarcell”
    12/2018 - 12/2020
  • DFG, PE 885/3-1,
    „Atomarer Transport in dreidimensionalen Silizium und Germanium Nanostrukturen - Nanodiff”
    04/2015 – 12/2018
  • DBU, Az.: 32945/2,
    „Synthese von multikristallinem Dünnschicht-Silizium für die elektronische Anwendung - crystalline silicon synthesis (CSS)”
    04/2017 – 09/2018
  • DBU, Az.: 32945/01-24,
    „Synthese von kristallinem Silizium auf Quarzsubstrat - c-Si-on-Quartz”
    09/2015 – 12/2016
  • DFG, WA 860/13-1,
    "Direkte Abwärmeverstromung in thermoelektrischen Energiesystemen"
    09/2011 – 03/2016
  • DFG-SPP 1386/1, PE 885/2-1,
    "Silicon-based thermoelectric nanosystems - SiNanoTherm"
    06/2009 – 08/2012

 

Zeitschriften-Veröffentlichungen/Patente (Auswahl, seit 2013):

  • Erwin Peiner, Andreas Waag, Gerhard Palm, Ingrid Schall, Heinz Schall,
    "Verfahren zur Herstellung einer kristallinen Siliziumschicht und siliziumbasiertes Halbleiterbauelement”,
    DE 10 2016 117 182 A1; WO2018/050565 A1; EP 3 513 425 B1, erteilt unter EP3513425 am 16. 11. 2022.
  • Calvin Eldona, Naufal Hanif Hawari, Faiq Haidar Hamid, Wibke Dempwolf, Ferry Iskandar, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, and Afriyanti Sumboja,
    "A Free-Standing Polyaniline/Silicon Nanowire Forest as the Anode for Lithium-ion Batteries",
    Chem. Asian J. 2022, e202200946 (8pp); https://doi.org/10.1002/asia.202200946.
  • Pierre Yosia Edward Koraag, Arief Muhammad Firdaus, Naufal Hanif Hawari, Andam Deatama Refino, Wibke Dempwolf, Ferry Iskandar, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, Afriyanti Sumboja,
    "Covalently Bonded Ball-Milled Silicon/CNT Nanocomposite as Lithium-Ion Battery Anode Material",
    Batteries 8 (2022) 165 (13pp); https://doi.org/10.3390/batteries8100165.
  • Defang Li, Jinying Zhang, Jiushuai Xu, Erwin Peiner,
    "Single-step fabricated disordered pyramidal nanostructures for large-scale broadband visible light absorber with high-temperature stability",
    Applied Surface Science 601 (2022) 154279 (12pp); https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.154279.
  • Andika Pandu Nugroho, Naufal Hanif Hawari, Bagas Prakoso, Andam Deatama Refino, Nursidik Yulianto, Ferry Iskandar, Evvy Kartini, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, Afriyanti Sumboja,
    "Vertically aligned n-type silicon nanowire array as a free-standing anode for lithium-ion batteries",
    Nanomaterials 11 (2021) 3137 (13pp); https://doi.org/10.3390/nano11113137.
  • Andam Deatama Refino, Nursidik Yulianto, Iqbal Syamsu,
    Andika Pandu Nugroho, Naufal Hanif Hawari, Alina Syring, Evvy Kartini,
    Ferry Iskandar, Tobias Voss, Afriyanti Sumboja, Erwin Peiner,
    Hutomo Suryo Wasisto,
    "Versatilely tuned vertical silicon nanowire arrays by cryogenic reactive ion etching as a lithium‑ion battery anode",
    Scientific Reports 11 (2021) 19779 (15pp); https://doi.org/10.1038/s41598-021-99173-4.
  • Jan K. Prüßing, Tim Böckendorf, Felix Kipke, Jiushuai Xu, Prabowo Puranto, John Lundsgaard Hansen, Dominique Bougeard, Erwin Peiner, and Hartmut Bracht,
    "Retarded Boron and Phosphorus Diffusion in Silicon Nano Pillars due to Stress Induced Vacancy Injection",
    J. Appl. Phys. 131 075702 (2022); https://doi.org/10.1063/5.0078006.
  • Jan K. Prüßing, Tim Böckendorf, Gerry Hamdana, Erwin Peiner, Hartmut Bracht,
    "Defect distribution in boron doped silicon nanostructures characterized by means of scanning spreading resistance microscopy"
    J. Appl. Phys. 127 (2020) 055703; doi: 10.1063/1.5134558.
  • G. Hamdana, P. Puranto, J. Langfahl-Klabes, Z. Li, F. Pohlenz, Min Xu, T. Granz, M. Bertke, H. S. Wasisto, U. Brand, E. Peiner, “Determination of nanomechanical properties of crystalline silicon pillars by nanoindentation”, Sens. Actuat. A Phys. 283 (2018) 65–78; doi.org/10.1016/j.sna.2018.09.035.
  • T. Südkamp, G. Hamdana, M. Descoins, D. Mangelinck, H. S. Wasisto, E. Peiner, H. Bracht,
    "Self-diffusion in single crystalline silicon nanowires"
    J. Appl. Phys. 123 (2018) 161515; doi: http://dx.doi.org/10.1063/1.4996987.
  • G. Hamdana, L. Caccamo, M.  Bertke, T.  Südkamp, H. Bracht, H. S.  Wasisto, E. Peiner, "Enhanced colloidal lithography for fabrication of well-defined-area silicon nanowires", Microelectronic Engineering 179 (2017) 74-82; dx.doi.org/10.1016/j.mee.2017.04.030.
  • D. Zillmann, D. Metz, B. Matheis, A. Dietzel, A. Waag, E. Peiner,
    "Thermoelectric generators fabricated from large-scale produced Zr-/Hf-based half-Heusler compounds using Ag sinter bonding"
    J. Electron. Mater. 48 (2019) 5363-5374; https://doi.org/10.1007/s11664-019-07366-5.
  • D. Zillmann, A. Waag, E. Peiner, M.-H. Feyand, A. Wolyniec,
    "Thermoelectric and structural properties of large-scale produced Zr-/Hf-based half-Heusler compounds"
    J. Electron. Mater. 47 (2018), 1546-1554; https://doi.org/10.1007/s11664-017-5917-7.
  • W. Wu, A. Bentaleb, A. Waag, E. Peiner,
    "Fabrication and characterization of single-pair thermoelectric generators of bismuth telluride using silver-sintering technology"
    Materials Today: Proceedings 5 (2018) 10401–10407; https://doi.org/10.1016/j.matpr.2017.12.288.
  • A. Stranz, A. Waag, E. Peiner,
    "Investigation of thermoelectric parameters of Bi2Te3 - TEGs assembled using pressure-assisted silver powder sintering-based joining technology"
    J. Electron. Mater. 44 (2015) 2055-2060; DOI: 10.1007/s11664-015-3655-2.
  • A. Stranz, A. Waag, E. Peiner,
    "High-temperature performance of stacked silicon nanowires for thermoelectric power generation"
    J. Electron. Mater. 42 (2013) 2233-2238, DOI: 10.1007/s11664-013-2590-3.

 

Bildnachweise dieser Seite

Für alle

Stellen der TU Braunschweig
Jobbörse des Career Service
Merchandising
Sponsoring- & Spendenleistungen
Drittmittelgeförderte Forschungsprojekte
Vertrauenspersonen für Hinweisgeber

Für Studierende

Semestertermine
Lehrveranstaltungen
Studiengänge von A-Z
Informationen für Erstsemester
TUCard

Interne Tools

Status GITZ-Dienste
Handbuch für TYPO3 (Intern)
Corporate Design-Toolbox (Intern)
Glossar (DE-EN)
Meine Daten ändern
Hochschulöffentliche Bekanntmachungen

Kontakt

Technische Universität Braunschweig
Universitätsplatz 2
38106 Braunschweig
Postfach: 38092 Braunschweig
Telefon: +49 (0) 531 391-0

Anreise

© Technische Universität Braunschweig
Impressum Datenschutz Barrierefreiheit

Zur anonymisierten Reichweitenmessung nutzt die TU Braunschweig die Software Matomo. Die Daten dienen dazu, das Webangebot zu optimieren.
Weitere Informationen finden Sie in unserer Datenschutzerklärung.