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REM (Zeiss) und EDX (Oxford Instruments)

REM (Zeiss) und EDX (Oxford Instruments)

Die Rasterelektronenmikroskopie wird in der Regel zur morphologischen und analytischen Untersuchung von Oberflächen eingesetzt. Dabei sind aufgrund der großen Schärfentiefe sowohl sehr glatte als auch besonders rauhe Oberflächen abzubilden. Das hohe Auflösungsvermögen ermöglicht hohe Vergrößerungen von Mikro- und Nanostrukturen. Durch die Erzeugung von charakteristischen Röntgenstrahlen ist die Möglichkeit zur Röntgen-Mikrobereichsanalyse gegeben, um Angaben über die lokal in einem Probenbereich vorhandenen Elemente zu machen. Das Signalerzeugende System besteht aus einem Filament (Wolfram-Haarnadelkathode), einem Wehnelt-Zylinder und einer Anode. In der darunterliegenden Mikroskop-Säule wird der erzeugte Elektronenstrahl durch ein Linsensystem verkleinert, so dass ein möglichst kleiner Strahldurchmesser auf der Probe entsteht.

Die zu untersuchenen Proben können mithilfe einer Beschichtungsanlage mit einer elektrisch leitenden Schicht versehen werden. Das Gerät (Cressington 108auto Sputter Coater) kann Dünnschichten aus Gold, Gold/Palladium, Silber, Kupfer oder Graphit aufsputtern.

REM ZEISS
REM ZEISS

Technische Daten

Hersteller

  • Zeiss/Oxford Instruments   

Typ

  • DSM 960 A/Oxford EDX-Analysesystem INCA

Beschleunigungsspannung und Strahlstrom   

  • 0,49 kV - 30 kV; 1pA - 3 µA bei 30 kV, Wolframkathode

Blenden

  • 40 µm, 70 µm, 120 µm, 200 µm, 400 µm, 1000 µm Molybdän-Blenden

Präparatkammer

  • 270 x 310 x 270 mm³, nickelbeschichtete Kammerwandung, Vakuumgrenzdruck: 10-7 hPa

 Präparattisch

  • 360° kontinuierliche Drehung, Kippwinkel -15° - +90°, 4“-Substrathalterung, div. Präparathalter
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