Das Institut für Werkstoffe verfügt über drei leistungsstarke Elektronenmikroskope: Ein Zeiss LEO 1550 und ein FEI Helios NanoLab 650.
Die Mikroskope sind mit folgenden Funktionen ausgestattet:
- Sekundär- und Rückstreuelektronendetektoren
- Scanning Transmissionselektronenmikroskopie (STEM) Detektor
- Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)
- Wellenlängendispersive Röntgenspektroskopie (WDX)
- Elektronenrückstreubeugung (EBSD)
- Focused Ion Beam (FIB) zur Oberflächenanalyse und -bearbeitung
- Mikromanipulatoren
