Experimentelle Methoden und Ausrüstung

Material- und Bauelementtechnologie

• Reinraum der Klasse 4
• Metallorganische Gasphasenepitaxie (MOVPE) von III-Nitriden
• Molekularstrahlepitaxy (MBE) von III-Nitriden
• Kontakt-Technologie
• Optische Lithographie
• Photoelektrochemisches Ätzen

•  

  Optische Spektroskopie

   

• Tieftemperatur-Photolumineszenz mit variabler Anregungswellenlänge
• Photolumineszenz bei variabler Temperatur und Anregungsleistung zur Bestimmung der internen Quantenausbeute
• Zeitaufgelöste Pikosekunden-Photolumineszenz
• Optische Nahfeldspektroskopie
• Optische Verstärkungsspektroskopie / Hochanregung
• Spektroskopische Ellipsometrie IR-UV

•  

  Elektrische / Transporteigenschaften

   

• Hall-Effekt
• I(U), P(I)-Kennlinien
• Shubnikow-de-Haas-Effekt
• Magnetophonon-Resonanz

•  

  Strukturelle Untersuchungen

   

• Raster-Kraftmikroskopie (AFM)
• Optische Nahfeldmikroskopie (SNOM)
• Raster-Elektronenmikroskopie (REM)
• Transmissions-Elektronenmikroskop (TEM)
• Hochauflösende Röntgen-Diffraktometrie

•  

  Oberflächenanalytik

   

• Auger-Elektronenspektroskopie
• Massenspektrometrie
• Oberflächenmanipulation mit Elektronenstrahl
• Photo- und Kathodolumineszenz