Die optischen Eigenschaften von Gruppe-III-Nitrid-Quantenfilmen ändern sich durch Adsorption von Atomen und Molekülen an der Oberfläche. Um den Einfluss dieser Adsorbate zu quantifizieren, sollen vergleichende Untersuchungen durchgeführt werden. Zunächst werden Adsorbat-freie Oberflächen in einer Ultrahochvakuumanlage in situ charakterisiert, um Kontaminationen aus der Raumluft zu vermeiden. Die Anregung der Proben erfolgt hierbei durch einen Elektronenstrahl (Kathodolumineszenz) oder Laser (Photolumineszenz). Im Anschluss werden die Proben in Raumluft mittels ex situ Kathodolumineszenz- und Photolumineszenzmessungen erneut charakterisiert. Aus dem Vergleich der in situ und ex situ Messungen wird der Einfluss der Adsorbate auf die optischen Eigenschaften ermittelt.