Aufbau und in-situ Messungen von Reflexionsvermögen und Streulicht während Ätz- und Wachstumsprozessen
Die optische in-situ Kontrolle von Prozessen beim Schichtwachstum oder ihrer Modifikation ist weit verbreitet in Forschung und Industrie. In vielen Situationen muß 1) die Wellenlänge bzw. der Wellenlängenbereich an die Untersuchungsaufgaben angepasst werden, 2) auch kleine Änderungen verfolgt werden können und 3) die Datenaufnahme schnell genug sein. Im einfachsten Fall kann das Reflexionsvermögen bei einer festen Wellenlänge bei senkrechten Einfall mittels z. B. einem Laser oder einer LED gemessen werden. Letzteres ist in einer vorhandenen kommerziellen Apparatur der Fall. Leider ist die Datenaufnahme mit 1/s relativ langsam, das Signal/Rausch - Verhältnis nicht ausreichend und zudem lässt dich die Wellenlänge nicht ändern. Dies läßt sich in einer eigenen Apparatur leicht verbessern. In dieser Arbeit soll eine solche Apparatur aufgebaut werden und in verschiedenen Prozessen getestet werden. Zusätzlich soll die Apparatur erlauben auch das Streulicht aufzunehmen, was Auskunft über die Rauhigkeit der Oberfläche gibt.