660. Technische Universität Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik

Verhandlungsvergabe ohne TnW; Wartungsvertrag des Quattro S des TRCL-Messaufbaus im LENA; Fei deutschland GmbH, 63303 Dreieich (Zeitraum 17.1023 bis 16.10.25 in Braunschweig)