Ausgewählte Funktionsschichten (AFS)

2 V + 1 Ü, Donnerstag, 11:30 - 13:55 Uhr, Fraunhofer-IST, Bienroder Weg 54 E

Am Beispiel von ausgewählten Schichten z. B. Diamant- und diamantähnliche Schichten und Schichtfunktionen (u.a. Verschleiss- und Korrosionschutz, Wärmedämmschichten, Batterietechnik, Graphene), die in den Arbeiten des IOT und des Fraunhofer IST eine wichtige Rolle spielen, wird eine Einführung in die moderne Oberflächentechnik gegeben. Die Vorlesung behandelt exemplarisch die für die Schichtabscheidung eingesetzten Gasphasen-Depositionsverfahren (CVD, ALD, PECVD, PVD), Charakterisierung, Struktur und Eigenschaften der Schichten sowie ihre Anwendungen. Die Studierenden erwerben damit vertiefte Kenntnisse auf ausgewählte Gebieten der Oberflächentechnik und der Anwendung dünner Schichten z. B. als Korrosionsschutz oder zur Reibungsminderung. Gleichzeitig verbessern sie ihre Fähigkeit, bestimmte Grundunterscheidungen zu treffen, die in der Oberflächentechnik, aber auch für viele andere Bereiche von Wissenschaft und Technik eine wichtige Rolle spielen. So werden sie in die Lage versetzt, zwischen energetischen (thermodynamischen) und kinetischen Aspekten eines Prozesses (z. B. Diamantsynthese, CVD, ALD, Wachstum von Oxidschichten) zu unterscheiden, sowie den Unterschied zwischen reaktionskinetischer Kontrolle und Transportkontrolle eines Prozesses (CVD, Oxidwachstum) aufzuzeigen.

Inhalte:

• Einleitung / Grundlagen von CVD-Verfahren
• ALD und Plasma ALD
• Diamantschichten
• Diamond Like Carbon - Schichten
  • DLC – Herstellung
  • DLC – Struktur und Eigenschaften
  • DLC – Anwendungen
• Schichtsysteme für
  • Hochtemperaturkorrosion,
  • Wärmedämmschichten
  • Batterietechnik
  • Graphene, CNT

Die Vorlesung findet im Wintersemester statt.