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Analytik und Prüfung in der Oberflächentechnik (APO)

Dozent: Prof. Dr. M. Thomas

2 V + 1 Ü, Dienstag, 13:15 - 15.45 Uhr, Fraunhofer-IST, Bienroder Weg 54 E

Die moderne Oberflächentechnik ist undenkbar ohne eine umfassende Analytik und Prüfung - sei es im Rahmen der Entwicklung neuer Schichtmaterialien oder Beschichtungsprozesse oder zum Zwecke der Qualitätskontrolle. Die Lehrveranstaltung behandelt eine Reihe wichtiger Verfahren, die heute benutzt werden, um Oberflächen und Schichten zu untersuchen, wie

  • die äußeren geometrischen Eigenschaften (Schichtdicke, Rauheit) durch z.B. mechanische (Profilometrie, AFM) und optische Messverfahren (Ellipsometrie)
  • ihre Elementzusammensetzung durch Röntgenverfahren (XPS, EPMA) und spektroskopische Verfahren (SIMS, GDOES)
  • ihren inneren Aufbau (kristalline Struktur, Phasen) durch z.B. XRD

Die Behandlung der Messung bzw. Prüfung physikalischer Eigenschaften von Oberflächen und Schichten orientiert sich in erster Linie an den für Anwendungen wichtigen mechanischen, elektrischen und optischen Parametern. Besonderer Wert wird in der Veranstaltung auf ein Verständnis der Funktionsweise der Messverfahren gelegt werden.

 

Inhalte:

  • Schichtdicke
  • Rauheit, Oberflächentopografie
  • Elementzusammensetzung
  • Innere Struktur
  • Mechanische und elektrische Eigenschaften

 

Die Vorlesung findet im Sommersemester statt.

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das Logo vom Fraunhofer IST
Kooperation mit dem Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik
das Logo von INPLAS
Mitglied im Kompetenznetz Industrielle Plasma-Oberflächentechnik

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Informationen für Erstsemester 

International Office 

Veranstaltungsort

für Vorlesungen, Seminarvorträge und Prüfungen:

Vorlesungen und Seminarvorträge des IOT finden im Hörsaal des Fraunhofer IST, Bienroder Weg 54E, 38108 Braunschweig, im 3. OG statt.

Prüfungen werden im Raum I.2.62 im 2. OG im Bienroder Weg 54E durchgeführt. 

Anschrift

Technische Universität Braunschweig

Institut für Oberflächentechnik

Bienroder Weg 54 E

38108 Braunschweig

 

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