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Taststiftgerät (Dektak)

Taststiftgerät (Dektak)

Das Taststiftgerät Dektak 8 charakterisiert die Schichtdicke, die Rauheit, die Belastung und die Defekte bei Proben bis zu einer Länge von 200 mm (8 Zoll). Die Low-Power-Tip-Technologie des Systems, die Langzeit-Scanning-Fähigkeit und die vielseitige Datenanalyse-Software ermöglichen Anwendungen wie:

  • Dickenbestimmung von Dünnschicht oder Fotolacken
  • Stressberechnungen von Dünnschichten
  • Rauheit auf Wafern und bearbeiteten Teilen
  • Durchbiegungsmessungen
  • V-Rillentiefe
  • Oberflächenqualität und Defektprüfung
  • MEMS-Charakterisierung

Der Dektak 8 führt Messungen elektromechanisch durch, indem dieser einen Diamant- oder Silikon-Tip-Stift über die Probe bewegt. Das Gerät bewegt den Stylus nach einer benutzerprogrammierten Scanlänge, Geschwindigkeit und Styluskraft. Während der Scanaufbau die Bühne und die Probe bewegt, fährt der Stylus über die Probenoberfläche. Oberflächenvariationen bewirken, dass der Stylus vertikal bewegt wird. Diese Bewegungen werden in elektrische Signale umgewandelt und durch einen integrierten Analog-Digital-Wandler in ein digitales Format übersetzt.

Die digitalisierten Signale von einem einzelnen Scan werden im Computer gespeichert und als Profilkurve auf dem Display ausgegeben. Der Dektak 8 speichert Programme, die sich leicht an den Laboreinsatz (Profil, Rauheit, Durchbiegungsmessung, etc.) anpassen lassen.

Dektak
Dektak

Technische Daten

Hersteller

  • Veeco Metrology Group (heute: Bruker)

Typ

  • Dektak 8 Stylus Profiler

Substrate/Wafer

  • 100 mm / 4" (Stage auf diese Größe konfiguriert)

Stylusgrößen

  • 2,5 µm (Rauheits- und Profilmessungen)
  • 12,5 µm (Profilmessungen)

Messbereich (mit zugehöriger vertikaler Auflösung)

  • 6,5 µm (0,1 nm)
  • 65,5 µm (1 nm)
  • 262 µm (4 nm)
  • 1000 µm (16 nm)

Scan Länge

  • 50 µm bis 50 mm

Auflagekraft

  • 1-15 mg

Stage Bewegungsreichweite

  • XY-Achse: 200 mm (8")

XY-Positioniersystem

  • 200 mm Reichweite
  • ± 5 µm Wiederholgenauigkeit
  • 3,175 µm Auflösung

Maximale XY-Auflösung

  • 0,033 µm

Kameras

  • 2 Stück zur Grob- und Feinpositionierung

Maximales Probendicke

  • 25,4 mm

Maximales Probengewicht

  • 2,5 kg
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