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REM (Phenom XL)

REM (Phenom XL)

Das Phenom XL bietet die Möglichkeit Substrate mit bis zu 10 mm Durchmesser mit geringem Zeitaufwand rasterelektronenmikroskopisch mit Vergrößerungen bis zu 100.000x zu untersuchen. Ein lichtmikroskopisches Übersichtsbild der Probenkammer erleichtert hierbei die Orientierung auf der Probe.

Die zu untersuchenen Proben können mithilfe einer Beschichtungsanlage mit einer elektrisch leitenden Schicht versehen werden. Das Gerät (Cressington 108auto Sputter Coater) kann Dünnschichten aus Gold, Gold/Palladium, Silber, Kupfer oder Graphit aufsputtern.

Tisch REM Phenom XL

Technische Daten

Hersteller

  • Phenom-World

Typ

  • Phenom XL

Beschleunigungsspannung und Strahlstrom                        

  • 4,8 kV - 15 kV; 300 pA - 1 nA, CeB6-Kathode

Präparatkammer

  • 100 x 100 x 57 mm³

Vakuum

  • ChargeReduction (60 Pa), Standardvakuum (10 Pa), Hochvakuum (10-2 Pa)

Detektor

  • 4-Quadranten-Rückstreuelektronendetektor (Materialkontrast- und Topographiekontrastmodus)

Vergrößerung

  • 80 - 110.000x, zusätzlich 12x-Digitalzoom

Arbeitsabstand

  • 2 - 60 mm

Probenladezeit

  • weniger als 60 Sekunden
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