Aufgrund der sehr guten Zusammenarbeit mit der PTB Braunschweig, insbesondere im Rahmen des Exzellenzclusters QuantumFrontiers (QF), steht nun eine Laserlithographie-Anlage dem QF Konsortium zur Verfügung. An ihrem neuen Standort, im Reinraum im LENA, kann die Heidelberg Instruments DWL66FS nun lichtsensitive Schichten direkt mittels eines Lasers strukturieren, kleinste Strukturgrößen liegen bei etwa 600 nm. Das verschafft uns viel Flexibilität und wird die Forschung in Rahmen von QF deutlich beschleunigen!
