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KonfokalesMikroskop

KonfokalesMikroskop

Das konfokale Mikroskop „atos PLµ“ ist für die Untersuchung rauer Oberflächen geeignet. Es verfügt über einen 4-fachen Objektivrevolver mit einem 10-fachen, 20-fachen, 50-fachen und 100-fachen Objektiv. Die technischen Spezifikationen des Mikroskops sind in der folgenden Tabelle zusammengefasst.

 

  EPI 10X EPI 20X EPI 50X EPI 100X
Vergrößerung 10x 20x 50x 100x
Numerische Apertur 0,3 0,45 0,8 0,9
Optische Auflösung 1,1 0,7 0,4 0,35
Laterale Auflösung 1,82 0,91 0,36 0,18
Maximaler Flankenwinkel 14 21 42 51
Z-Auflösung < 40 nm < 20 nm < 4 nm < 4 nm

Mit diesem Messsystem können Profile (einfach und erweitert), Topografien (einfach und erweitert) und schwarz-weiß Bilder von Oberflächen erfasst werden. Das System ist mit einem integrierten x-/y-Tisch ausgestattet, sodass automatisches Vermessen entlang der vorgegebenen x-/y-Koordinaten sowie das Aneinanderfügen von einzelnen Oberflächentopografie-Aufnahmen mit der sogenannten „Stitching“-Methode möglich ist.
Zusätzlich verfügt die Mikroskop-Software über folgende Optionen:

  • Automatischer „Stitching“-Algorithmus
  • „Term“-Algorithmen (Ebene, Kugel)
  • Filteralgorithmen (Kernel-/FFT-Filter)
  • Interpolation der Messdaten
  • 2D/3D-Darstellung unter Berücksichtigung unterschiedlicher Farbskalen
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