TU BRAUNSCHWEIG

 

  • Chemische Gasphasenabscheidung (CVD)
  • Physikalische Gasphasenabscheidung (PVD)
  • Atmosphärendruck - Plasmaverfahren
  • Plasmadiffusion
  • Prozess-Simulation
  • Analytik und Prüfung in der Oberflächentechnik
  • Veröffentlichungen

  aktualisiert am 17.05.2008
TU_Icon_E_Mail_1_17x17_RGB Zum Seitenanfang