Die im Folgenen dargestellte Infrastruktur des Instituts für Halbleitertechnik steht für Mitglieder der TU Braunschweig und alle Kooperationspartner zur Verfügung. Bei Interesse an der Nutzung kontaktieren Sie bitte: iht(at)tu-braunschweig.de
SMTR Mask- and Bond-Aligner MA8BA8 von Süss MicroTec
(Gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) – Projektnummer 501431011)
SENresearch 4.0 SER 850 DUV Spektroskopisches Ellipsometer von SENTECH
(gefördert aus Mitteln des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) im Rahmen des MikroLED Lab (MLL) mit der Projektnummer 685219721)
PlasmaPro 80 PECVD-Anlage zur Abscheidung von SiOx, SiN und a-Si Schichten von Oxford Instruments
(Gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) – Projektnummer 455444208)
PlasmaPro 100 Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching (ICP-RIE) mit Cl2 und BCl3 von Oxford Instruments
PlasmaPro 100 Inductively Coupled Plasma Reactive Ion Etching (ICP-RIE) mit CHF3, C4F8 und SF6 von Oxford Instruments
(Gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) – Projektnummer 536792788)
UNIVEX 600 PVD-System mit Elektronenstrahlverdampfer von Leybold
R200 Atomic Layer Deposition (ALD) für SiO2, Al2O3 und ZnO von Picosun
Close-Coupled Showerhead (CCS) 3x2" für GaAlInN Epitaxie von Thomas Swan/AIXTRON
UV-1 UV und Ozone Cleaner von SAMCO
(gefördert aus Mitteln des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) im Rahmen des MikroLED Lab (MLL) mit der Projektnummer 685219721)
RTP 200 HT Rapid Thermal Annealing von UNITEMP
Nano Niederdruck-Plasmaanlage von Diener
(gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) im Rahmen der Exzellenzstrategie des Bundes und der Länder – EXC-2123 QuantumFrontiers – 390837967)
Atto Niederdruck-Plasmaanlage von Diener, auf dem Foto oben rechts
(gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) im Rahmen der Exzellenzstrategie des Bundes und der Länder – EXC-2123 QuantumFrontiers – 390837967)
DST3-TS Sputteranlage von AMT
(gefördert aus Mitteln des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) im Rahmen des MikroLED Lab (MLL) mit der Projektnummer 685219721)
Nassbänke für chemische Prozesse inkl. BOE (Buffered Oxide Etch)
LHTG 200-300/30 Hochtemperaturofen von Carbolite Gero
(gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) – Projektnummer 494876313)
DAD3651 Automatische Wafersäge von DISCO
TS 200-D Waferprober von ATV
(gefördert aus Mitteln des Europäischen Fonds für regionale Entwicklung (EFRE) im Rahmen des MikroLED Lab (MLL) mit der Projektnummer 685219721)
MIRA3 SEM von Tescan
(gefördert durch die Deutsche Forschungsgemeinschaft (DFG) – Projektnummer )
Sputteranlage von Bestec