Prof. Dr. Erwin Peiner

Geförderte Forschungsprojekte:

• 10/2021 - 12/2022: "Photovoltaik mit kristallinem Silizium auf Fenster-Glas - PV-CSS", gefördert durch BMWi, 03THWNI009.
• 02/2021 - 04/2024: "3D-nanoskalige Siliziumanoden fur Lithium-lonen-Batterien mit hoher Energiedichte - SiNanoBatt; Herstellungstechnologien für 3D-Silizium-Nanoanoden mit hohem Aspektverhältnis", (Projektkoordinator, mit Dr.-Ing Hutomo Suryo Wasisto) gefördert durch BMBF, 01DP21003, Verbundprojekt mit Institut Teknologi Bandung (ITB), Indonesien (Dr. Afriyanti Sumboja) und Chulalongkorn University, Thailand (Dr. Vudhichai Parasuk).
• 09/2020 - 08/2023: "High throughput metrology for nanowire energy harvesting devices - Nanowires", gefördert durch EU/EURAMET/EMPIR, 19ENG05, Verbundprojekt mit PTB (Dr. Uwe Brand) und weiteren vierzehn Partnern.
• 12/2018 - 12/2020: "Perspektive zur Solarzelle aus der kristallinen Siliziumsynthese - CSS for solarcell", gefördert durch DBU, Az.: 32945/03, Verbundprojekt mit Fa. sameday media GmbH (Dr. Ingrid Schall).
• 06/2018 - 11/2021: "Multifunctional ultrafast microprobes for on-the-machine measurements - MicroProbes", (WP leader), gefördert durch EU/EURAMET/EMPIR, 17IND05, Verbundprojekt mit PTB (Dr. Uwe Brand) und weiteren zehn Partnern.
• 11/2016 – 10/2021: "Forschungslinie Quanten- und Nanometrologie - QUANOMET: Nachwuchsgruppe Nanopartikel Charakterisierung (NP2) (PI)", gefördert durch NMWK; ZN3245.
• 04/2017 – 09/2018: "Synthese von multikristallinem Dünnschicht-Silizium für die elektronische Anwendung - crystalline silicon synthesis (CSS)", gefördert durch DBU, Az.: 32945/2, Verbundprojekt mit Fa. sameday media GmbH (Dr. Ingrid Schall).
• 04/2015 – 12/2018: "Atomic transport in three-dimensional nanostructures of silicon and germanium - Nanodiff", gefördert durch DFG, PE 885/3-1, Verbundprojekt mit Univ. Münster (Prof. Hartmut Bracht).
• 09/2015 – 12/2016: "Synthese von kristallinem Silizium auf Quarzsubstrat - c-Si-on-Quartz", gefördert durch DBU, Az.: 32945/01- 24, Verbundprojekt mit Fa. sameday media GmbH (Dr. Ingrid Schall).
• 08/2013 – 01/2017: "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis - HmtS", (Projektkoordinator), gefördert durch BMBF, 03V0409, (Schlussbericht in TIB-Portal verfügbar), Verbundprojekt mit PTB (Dr. Uwe Brand, Schlussbericht in TIB-Portal verfügbar).
• 05/2010 – 10/2013: "Nanobalancedetektor für personenbezogene Messungen von Nanopartikel-Expositionen - NanoExpo" (Projektkoordinator) - Teilprojekt: "Nanopartikeldosimeter - Nosi", mit Prof. Andreas Waag, gefördert durch BMBF, 03X0098A, (Schlussbericht in TIB-Portal verfügbar), Verbundprojekt mit Fraunhofer-WKI (Dr. Erik Uhde, Prof. Tunga Salthammer).
• 06/2009 – 08/2012: "Nanostrukturierte Thermoelektrika: Silicon-based thermoelectric nanosystems - SiNanoTherm", mit Prof. Andreas Waag, gefördert durch DFG, SPP 1386/1, PE 885/2-1, mit Univ. Würzburg (Prof. Karl Brunner).
• 01/2009 – 11/2014: "Geothermie und Hochleistungsbohrtechnik - GeBo", - Teilprojekt T2: "Aufbau- und Verbindungstechnik für Hochtemperatur-Elektronik", mit Prof. Andreas Waag, gefördert durch Land Niedersachsen und Baker-Hughes-INTEQ GmbH, Verbundprojekt mit TU Clausthal, LU Hannover and LIAG.
• 01/2005 – 06/2008: "Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik - µgeoMess" - Teilprojekt: "Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters - µTast", gefördert durch BMBF, 16SV1944, Verbundprojekt mit Mahr GmbH (Dr. Andreas Beutler), PTB, CiS GmbH, Fraunhofer-ICT-IMM und Continental Automotive GmbH.
• 08/2003 – 03/2005: "Die Intelligente Kraftmessung: Innovativer diamantartiger Kraftsensor für die Verschraubungs- und Spanntechnik - DiaKra" - Teilprojekt: "Anwendungsbezogene Weiterentwicklung des Schichtmaterials", gefördert durch BMWA, 16IN0223, Verbundprojekt mit Fraunhofer-IST (Dipl.-Ing. Holger Lüthje), Fraunhofer-IMS, Univ. Erlangen und vier Industriepartner.

Promotionen:

• Dr.-Ing. Michael Fahrbach,
  "Piezoresistive Microcantilever-Tastsonde und Messsystem für die Kontakt-Resonanz-Profilometrie",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2024, Daten
• Dr.-Ing. Prabowo Puranto,
  "Indentation testing of silicon micropillars from cryogenic dry etching",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2022, gefördert durch ein Stipendium des Ministry of Research, Technology and Higher Education of the Republic of Indonesia (RISTEKDIKTI, Nr. 343/RISET-Pro/FGS/VII/2016)
• Dr.-Ing. Andi Setiono,
  "Parasitic-crosstalk elimination in electrothermal piezoresistive cantilever resonators for real-time frequency-tracking operation",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2021, gefördert durch ein Stipendium des Ministry of Research, Technology and Higher Education of the Republic of Indonesia (RISTEKDIKTI, Nr. 343/RISET-Pro/FGS/VII/2016)
• Dr.-Ing. Wilson Ombati Nyang‘au,
  "Microcantilever-based measurement of mass and magnetic moment of liquidborne magnetic micro and nanoparticles",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2021, gefördert durch ein Stipendium des Bundesministeriums für wirtschaftliche Zusammenarbeit und Entwicklung (BMZ, Nr. 27070024)
• Dr.-Ing. Maik Bertke,
  „MEMS/NEMS-basierte Sensoren für die Detektion und Charakterisierung von Nanopartikeln”,
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2020,
  ausgezeichnet mit einem Preis für eine besonders gute Abschlussarbeit durch die Stiftung der Ingenieurkammer Niedersachsen, 2021
• Dr.-Ing. Jiushuai Xu,
  "Wearable gas sensors based on silicon MEMS/NEMS-based resonators",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2020, gefördert durch ein Promotionsstipendium des China Scholarship Council (CSC, Nr. 201506300019)
• Dr.-Ing. Gerry Hamdana,
  "MEMs piezoresistive force sensors based on micro-/nanostructured silicon components",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2018
• Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto,
  "Direct-reading personal airborne nanoparticle detector based on micromechanical silicon cantilever resonators",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2014,
  ausgezeichnet mit dem „Walter-Kertz-Studienpreis“ der Fakultät Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik, 2014
• Dr.-Ing. Andrej Stranz,
  „Untersuchung von einkristallinem Bulk-Silizium und Silizium-Nanosäulen für die thermoelektrische generatorische Energieumwandlung“,
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2013
• Dr.-Ing. Arti Tibrewala,
  „Piezoresistive effect in diamond-like carbon films“,
  Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Braunschweig, 2006

• Rizky Aflaha, Linda Ardita Putri, Aloysius Farrel, Sebastian Anzinger, Aditya Rianjanu, Nursidik Yulianto, Marc Fueldner, Roto Roto, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, Kuwat Triyana,
  "Crafting high-temperature stable and hydrophobic nanofiber membranes for particulate matter filtration",
  Commun. Mater. 6:87 (2025) (25pp); https://doi.org/10.1038/s43246-025-00799-y.
• Andi Setiono, Nelfyenny, Suryadi, Qomaruddin, Wilson Ombati Nyang’au, Erwin Peiner,
  "A lightweight resonance tracking system for piezoresistive microcantilever sensors",
  Micro and Nano Systems Lett. 13:1 (2025) (10pp); https://doi.org/10.1186/s40486-025-00221-9.
• Zhi Li, Petr Klapetek, Uwe Brand, Andam Deatama Refino, Jiushuai Xu, Erwin Peiner,
  "Nanomechanical characterisation of vertical nanowires used for energy harvesting",
  Measurement: Sensors 2025; https://doi.org/10.1016/j.measen.2024.101671.
• Andam Deatama Refino, Nursidik Yulianto, Slamet Priyono, Maykel Manawan, Rahmandhika Firdauzha, Hary Hernandha, Egy Adhitama, Jonathan Kottmeier, Andreas Dietzel, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto,
  "Carbon-coating effect on the performance of photolithographically-structured Si nanowires for lithium-ion microbattery anodes",
  Communications Materials 6:32 (2025) (12pp); https://doi.org/10.1038/s43246-025-00755-w.
• Tianran Ma, Michael Fahrbach, Erwin Peiner,
  "Piezoresistive Cantilever Microprobe with Integrated Actuator for Contact Resonance Imaging",
  Sensors 2025, 25, 332 (36pp); https://doi.org/10.3390/s25020332.
• Frank Eric Boye Anang, Andam Deatama Refino, Gunilla Harm, Defang Li, Jiushuai Xu, Markys Cain, Uwe Brand, Zhi Li, Marion Görke, Georg Garnweitner, Erwin Peiner,
  "Thermo-Convective Solution Growth of Vertically Aligned Zinc Oxide Nanowire Arrays for Piezoelectric Energy Harvesting",
  Micromachines 2024, 15, 1179 (23pp); https://doi.org/10.3390/mi15101179.
• Hutomo Suryo Wasisto, Sebastian Anzinger, Giovanni Acanfora, Valentina Sabatini, Elisa Grimoldi, Vasco Marelli, Nikita Ovsiannikov, Konstantin Tkachuk, Giordano Tosolini, Guangzhao Zhang, Carmine Lucignano, Marco Mietta, Marc Fueldner, Erwin Peiner,
  "Acoustically semitransparent nanofibrous meshes appraised by high signal-to-noise-ratio MEMS microphone",
  Commun. Eng. 3 (2024) 136; https://doi.org/10.1038/s44172-024-00283-4.
• Ingrid Schall, Guobin Jia, Uwe Brückner, Annett Gawlik, Christian Strelow, Jan Krügener, Ditian Tan, Michael Fahrbach, Stefan G. Ebbinghaus, Jonathan Plentz, and Erwin Peiner,
  "Solar Cells on Multicrystalline Silicon Thin Films converted from low-cost Soda-lime Glass",
  Adv. Mater. Interfaces 2024 2400170 (8pp), https://onlinelibrary.wiley.com/doi/10.1002/admi.202400170.
• Jiushuai Xu, Andam Deatama Refino, Alexandra Delvallée, Sebastian Seibert, Christian Schwalb, Poul Erik Hansen, Martin Foldyna, Lauryna Siaudinyte, Gerry Hamdana, Hutomo Suryo Wasisto, Jonathan Kottmeier, Andreas Dietzel, Thomas Weimann, Jan Kristen Prüssing, Hartmut Bracht, Erwin Peiner,
  "Deep Reactive Ion Etching of Silicon Nanowire Arrays at Cryogenic Temperatures",
  Appl. Phys. Rev. 11 (2024) 021411 (28pp), https://doi.org/10.1063/5.0166284.
• Tianran Ma, Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Frank Eric Boye Anang, Maximilian Vergin, Florian Meierhofer, Uwe Brand, Andreas Waag, Erwin Peiner,
  "Imaging the Mechanical Properties of Nanowire Arrays",
  Technisches Messen (2024), https://www.degruyter.com/document/doi/10.1515/teme-2023-0159/html.
• Andi Setiono, Nelfyenny, Wilson Ombati Nyang’au, Erwin Peiner,
  "Replicating Spectral Baseline for Unambiguous Frequency Locking in Resonant Sensors",
  Sensors 2024, 24(7), 2318 (11pp); https://doi.org/10.3390/s24072318.
• Andam Deatama Refino, Calvin Eldona, Rahmandhika Firdauzha Hary Hernandha, Egy Adhitama, Afriyanti Sumboja, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto,
  "Advances in 3D silicon-based lithium-ion microbatteries",
  Communications Materials 5 (2024) (22pp), https://doi.org/10.1038/s43246-024-00459-7.
• Muhammad Arief Firdaus, Naufal Hanif Hawari, Celfi Gustine Adios, Paramadina Masihi Nasution, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, Afriyanti Sumboja,
  "Unlocking High-Current Performance in Silicon Anode: Synergistic Phosphorus Doping and Nitrogen-Doped Carbon Encapsulation to Enhance Lithium Diffusivity",
  Chem. Asian J. 2024, e202400036-e202400036; https://doi.org/10.1002/asia.202400036.
• Frank Eric Boye Anang, Xuanwei Wei, Jiushuai Xu, Markys Cain, Zhi Li, Uwe Brand, Erwin Peiner,
  "Area-Selective Growth of Zinc Oxide Nanowire Arrays for Piezoelectric Energy Harvesting",
  Micromachines 2024, 15(2), 261 (20pp); https://doi.org/10.3390/mi15020261.
• Giovanni Acanfora, Sebastian Anzinger, Bernhard Winkler, Marc Fueldner, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto,
  "Laser-Processed Protective Glass Micromesh Chips for Acoustic MEMS Sensors",
  IEEE Sens. J. 23 (2023) 30194-30201; ieeexplore.ieee.org/document/10309998.
• Faiq Haidar Hamid, Jotti Karunawan, Yuyun Irmawati, Basuki Tri Laksono, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, Ferry Iskandar, Afriyanti Sumboja,
  "Cationic Surfactant Assisted Electrostatic Self-Assembly of Nitrogen-rich Carbon Enwrapped Silicon Anode: Unlocking High Lithium Storage Performance",
  Electrochimica Acta 471 (2023) 143384; www.sciencedirect.com/science/article/abs/pii/S0013468623015566.
• Ingrid Schall, Stefan G. Ebbinghaus, Christian Strelow, and Erwin Peiner,
  "Multicrystalline, Highly Oriented Thick-Film Silicon from Reduction of Soda-Lime Glass",
  Adv. Mater. Interfaces 2023, 2300681 (9pp); https://doi.org/10.1002/admi.202300681.
• Andam Deatama Refino, Egy Adhitama, Marlena M. Bela, Sumesh Sadhujan, Sherina Harilal, Calvin Eldona, Heiko Bremers, Muhammad Bashouti, Afriyanti Sumboja, Marian C. Stan, Martin Winter, Tobias Placke, Erwin Peiner, and Hutomo Suryo Wasisto,
  "Impact of exposing lithium metal to monocrystalline vertical silicon nanowires for lithium-ion microbatteries",
  Communications Materials 4 (2023) 58 (11pp); https://doi.org/10.1038/s43246-023-00385-0.
• Lauryna Siaudinyte, R. Koops, P.E. Hansen, J. Xu, E. Peiner,
  "Hybrid metrology for nanometric energy harvesting devices",
  Meas Sci. Technol. 34 (2023) 094008 (8pp); DOI 10.1088/1361-6501/acdf08.
• Defang Li, Jinying Zhang, Jiushuai Xu, Erwin Peiner,
  "A linear extrapolation method based on multiple equiproportional models for thermal performance prediction of ultra-large array",
  Optics Express 31 (2023) 15118-15130; https://doi.org/10.1364/OE.486394.
• E. Adhitama, A. D. Refino, T. Brake, J. Pleie, C. Schmidt, F. Demelash, K. Neuhaus, S. Bornemann, S. Wiemers-Meyer, E. Peiner, M. Winter, H. S. Wasisto, T. Placke,
  "On the Direct Correlation between the Copper Current Collector Surface Area and ‘Dead Li’ Formation in Zero-Excess Li Metal Batteries",
  Journal of Materials Chemistry A 11 (2023) 7724-7734; DOI: 10.1039/d3ta00097d.
• Michael Fahrbach, Min Xu, Wilson Ombati Nyang’au, Oleg Domanov, Christian H. Schwalb, Zhi Li, Christian Kuhlmann, Uwe Brand, Erwin Peiner,
  "Damped Cantilever Microprobes for High-Speed Contact Metrology with 3D Surface Topography",
  Sensors 23 (2023) (14pp), 2003; https://doi.org/10.3390/s23042003.
• Calvin Eldona, Naufal Hanif Hawari, Faiq Haidar Hamid, Wibke Dempwolf, Ferry Iskandar, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, and Afriyanti Sumboja,
  "A Free-Standing Polyaniline/Silicon Nanowire Forest as the Anode for Lithium-ion Batteries",
  Chem. Asian J. 2022, e202200946 (8pp); https://doi.org/10.1002/asia.202200946.
• Pierre Yosia Edward Koraag, Arief Muhammad Firdaus, Naufal Hanif Hawari, Andam Deatama Refino, Wibke Dempwolf, Ferry Iskandar, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, Afriyanti Sumboja,
  "Covalently Bonded Ball-Milled Silicon/CNT Nanocomposite as Lithium-Ion Battery Anode Material",
  Batteries 8 (2022) 165 (13pp); https://doi.org/10.3390/batteries8100165.
• Defang Li, Jinying Zhang, Jiushuai Xu, Erwin Peiner,
  "Single-step fabricated disordered pyramidal nanostructures for large-scale broadband visible light absorber with high-temperature stability",
  Applied Surface Science 601 (2022) 154279 (12pp); https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2022.154279.
• Jan K. Prüßing, Tim Böckendorf, Felix Kipke, Jiushuai Xu, Prabowo Puranto, John Lundsgaard Hansen, Dominique Bougeard, Erwin Peiner, and Hartmut Bracht,
  "Retarded Boron and Phosphorus Diffusion in Silicon Nano Pillars due to Stress Induced Vacancy Injection",
  J. Appl. Phys. 131 075702 (2022); https://doi.org/10.1063/5.0078006.
• Min Xu, Ziqi Zhou, Thomas Ahbe, Erwin Peiner, Uwe Brand,
  "Using a Tip Characterizer to Investigate Microprobe Silicon Tip Geometry Variation in Roughness Measurements",
  Sensors 22 (2022) 1298 (15pp); https://doi.org/10.3390/s22031298.
• Andika Pandu Nugroho, Naufal Hanif Hawari, Bagas Prakoso, Andam Deatama Refino, Nursidik Yulianto, Ferry Iskandar, Evvy Kartini, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, Afriyanti Sumboja,
  "Vertically aligned n-type silicon nanowire array as a free-standing anode for lithium-ion batteries",
  Nanomaterials 11 (2021) 3137 (13pp); https://doi.org/10.3390/nano11113137.
• Andam Deatama Refino, Nursidik Yulianto, Iqbal Syamsu, Andika Pandu Nugroho, Naufal Hanif Hawari, Alina Syring, Evvy Kartini, Ferry Iskandar, Tobias Voss, Afriyanti Sumboja, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto,
  "Versatilely tuned vertical silicon nanowire arrays by cryogenic reactive ion etching as a lithium‑ion battery anode",
  Scientific Reports 11 (2021) 19779 (15pp); https://doi.org/10.1038/s41598-021-99173-4.
• Linus Teir, Tuomas Lindstedt, Thomas Widmaier, Björn Hemming, Uwe Brand, Michael Fahrbach, Erwin Peiner and Antti Lassila,
  "In-line measurement of the surface texture of rolls using long slender piezoresistive microprobes",
  Sensors 21 (2021) 5955 (14pp); https://doi.org/10.3390/s21175955.
• Wilson Ombati Nyang’au, Tamara Kahmann, Thilo Viereck, Erwin Peiner,
  "MEMS-based cantilever sensor for simultaneous measurement of mass and magnetic moment of magnetic particles",
  Chemosensors 9 (2021) 207 (19pp); https://doi.org/10.3390/chemosensors9080207.
• Andi Setiono, Michael Fahrbach, Alexander Deutschinger, Ernest J. Fantner, Christian H. Schwalb, Iqbal Syamsu, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner,
  "Performance of an Electrothermal MEMS Cantilever Resonator with Fano-Resonance Annoyance under Cigarette Smoke Exposure",
  Sensors 21 (2021) 4088 (19pp); doi: 10.3390/s21124088.
• Maik Bertke, Ina Kirsch, Erik Uhde, Erwin Peiner,
  "Ultrafine Aerosol Particle Sizer Based on Piezoresistive Microcantilever Resonators with Integrated Air-Flow Channel",
  Sensors 21 (2021) 3731 (19pp); doi: 10.3390/s21113731.
• Michael Fahrbach, Sebastian Backes, Heinrich Behle, Min, Xu, Brunero Cappella, Uwe Brand, Erwin Peiner,
  "Customized piezoresistive microprobes for combined imaging of topography and mechanical properties",
  Measurement: Sensors 15 (2021) 100042 , https://doi.org/10.1016/j.measen.2021.100042; data available.
• Min Xu, Zhi Li, Michael Fahrbach, Erwin Peiner, Uwe Brand, “Investigating the trackability of silicon microprobes in high-speed surface measurements”, Sensors 21 (2021) 1557 (13pp); doi: 10.3390/s21051557.
• Jiushuai Xu, Andi Setiono, Erwin Peiner,
  "Piezoresistive Microcantilever with SAM-Modified ZnO-Nanorods@Silicon-Nanopillars for Room-Temperature Parts-Per-Billion NO2 Detection",
  ACS Appl. Nano Mater. 3 (2020) 6609−6620; DOI: 10.1021/acsanm.0c01055.
• Michael Fahrbach, Sebastian Friedrich, Brunero Cappella, Erwin Peiner, “Calibrating a high-speed contact-resonance profilometer”, J. Sens. Sens. Syst. 9 (2020) 179–187, https://doi.org/10.5194/jsss-9-179-2020.
• Wilson Ombati Nyang’au, Andi Setiono, Angelika Schmidt, Harald Bosse, Erwin Peiner, "Sampling and Mass Detection of a Countable Number of Microparticles Using on-Cantilever Imprinting", Sensors 20(9) (2020) 2508; https://doi.org/10.3390/s20092508.
• Jan K. Prüßing, Tim Böckendorf, Gerry Hamdana, Erwin Peiner, Hartmut Bracht, “Defect distribution in boron doped silicon nanostructures characterized by means of scanning spreading resistance microscopy”, J. Appl. Phys. 127 (2020) 055703; doi: 10.1063/1.5134558.
• Andi Setiono, Maik Bertke, Wilson Ombati Nyang’au, Jiushuai Xu, Michael Fahrbach, Ina Kirsch, Erik Uhde, Alexander Deutschinger, Ernest J. Fantner, Christian H. Schwalb, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner,  “In-plane and out-of-plane MEMS piezoresistive cantilever sensors for nanoparticle mass detection”, Sensors 20(3) (2020) 618 (18pp); https://doi.org/10.3390/s20030618.
• Maik Bertke, Jiushuai Xu, Andi Setiono, Ina Kirsch, Erik Uhde, Erwin Peiner, "Fabrication of a micro-cantilever-based aerosol detector with integrated electrostatic on-chip ultrafine particle separation and collection”, J. Micromech. Microeng. 30 (2020) 014001 (13pp); DOI: 10.1088/1361-6439/ab4e56.
• Andi Setiono, Wilson Ombati Nyang’au, Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Improvement of frequency responses of an in-plane electro-thermal cantilever sensor for real-time measurement”, J. Micromech. Microeng. 29 (2019) 124006 (12pp); https://doi.org/10.1088/1361-6439/ab4e29.
• Wilson Ombati Nyang’au, Andi Setiono, Maik Bertke, Harald Bosse, Erwin Peiner, “Cantilever-droplet-based sensing of magnetic particle concentrations in liquids”, Sensors 19 (2019) 4758 (18pp); doi:10.3390/s19214758.
• Zhi Li, Sai Gao, Uwe Brand, Karla Hiller, Susann Hahn, Gerry Hamdana, Erwin Peiner, Helmut Wolff, Detlef Bergmann, “Nanomechanical characterization of vertically aligned nanopillars using a MEMS-SPM nano-bending testing platform”, Sensors 19 (2019) 4529 (13pp); doi:10.3390/s19204529.
• Dennis Zillmann, David Metz, Barbara Matheis, Andreas Dietzel, Andreas Waag, Erwin Peiner, “Thermoelectric generators fabricated from large-scale produced Zr-/Hf-based half-Heusler compounds using Ag sinter bonding”, J. Electron. Mater. 48 (2019) 5363-5374; https://doi.org/10.1007/s11664-019-07366-5.
• Mariana, J. Gülink, G. Hamdana, F. Yu, K. Strempel, H. Spende, N. Yulianto, T. Granz, J. D. Prades, E. Peiner, A. Waag, H. S. Wasisto,“Vertical GaN Nanowires and Nanoscale Light-Emitting-Diode Arrays for Lighting and Sensing Applications”, ACS Applied Nano Materials 2 (2019) 4133-4142; doi: an-2019-00587v.
• Erwin Peiner und Hutomo Suryo Wasisto, "Editorial: Cantilever Sensors", Sensors 19 (2019) 2043; doi:10.3390/s19092043.
• J. Xu, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner, Invited Topical Review: “Piezoresistive Microcantilevers for Humidity Sensing”, J. Micromech. Microeng. 29 (2019) 053003 (29pp), https://doi.org/10.1088/1361-6439/ab0cf5.
• U. Brand, M. Xu, L. Doering, J. Langfahl-Klabes, H. Behle, S. Bütefisch, T. Ahbe, E. Peiner, T. Frank, B. Mickan, I. Kisilev, M. Hauptmannl, M. Drexel, “Long slender piezoresistive silicon microprobes for fast measurements of roughness and mechanical properties inside microholes with diameters below 100 µm”, Sensors 19 (2019) 1410; doi:10.3390/s19061410.
• J. K. Prüßing, G. Hamdana, D. Bougeard, E. Peiner, H. Bracht, “Quantitative scanning spreading resistance microscopy on n-type dopant diffusion profiles in germanium and the origin of dopant deactivation”, J. Appl. Phys. 125 (2019) 085105; https://doi.org/10.1063/1.5066617.
• J. Toledo, V. Ruiz-Díez, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner, J. L. Sánchez-Rojas, "Piezoelectric MEMS resonators for cigarette particle detection”, Micromachines 10 (2019) 145; https://doi.org/10.3390/mi10020145.
• M. Bertke, J. Xu, M. Fahrbach, A. Setiono, H. S. Wasisto, E. Peiner, “Strategy toward miniaturized, self-out-readable resonant cantilever and integrated electrostatic microchannel separator for highly sensitive airborne nanoparticle detection”, Sensors 19 (2019) 901; doi:10.3390/s19040901.
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• Gerry Hamdana, Tobias Südkamp, Marion Descoins, Dominique Mangelinck, Lorenzo Caccamo, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Hartmut Bracht, Erwin Peiner, "Towards fabrication of 3D isotopically modulated vertical silicon nanowires in selective areas by nanosphere lithography", Microelectronic Engineering 179 (2017) 74-82; http://dx.doi.org/10.1016/j.mee.2017.04.030.

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• F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Bakin, H. Schumacher, E. Peiner, H. S. Wasisto, A. Waag, "GaN nanowire arrays with nonpolar sidewalls for vertically integrated field-effect transistors", Nanotechnology 28 (2017) 095206 (9pp); doi: 10.1088/1361-6528/aa57b6.

• L. Doering, U. Brand, S. Bütefisch, T. Ahbe, T. Weimann, E. Peiner, T. Frank, "High-speed microprobe for roughness measurements in high-aspect-ratio microstructures", Meas. Sci. Technol. 28 (2017) 034009 (9pp); doi:10.1088/1361-6501/28/3/034009.

• G. Hamdana, H. S. Wasisto, L. Doering, C. Yan, L. Zhou, U. Brand, E. Peiner, "Double meander spring silicon piezoresistive sensors as micro force calibration standards", Opt. Eng. 55(9), 091409 (2016), doi:10.1117/1.OE.55.9.091409, open access.

• H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Enhanced performance of pocket-sized nanoparticle exposure monitor for healthy indoor environment“, Build. Environ. 95 (2016) 13-20; doi: 10.1016/j.buildenv.2015.09.013.

• A. Stranz, A. Waag, E. Peiner, "Investigation of thermoelectric parameters of Bi₂Te₃ - TEGs assembled using pressure-assisted silver powder sintering-based joining technology”, J. Electron. Mater. 44 (2015) 2055-2060; DOI: 10.1007/s11664-015-3655-2.

• H. S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner, "Handheld personal airborne nanoparticle detector based on microelectromechanical silicon resonant cantilever", Microelectron. Eng. 145 (2015) 96–103; doi: 10.1016/j.mee.2015.03.037.
• H. S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner, "Partially integrated cantilever-based airborne nanoparticle detector for continuous carbon aerosol mass  concentration monitoring", J. Sens. Sens. Syst. 4 (2015) 111–123; doi:10.5194/jsss-4-1-2015.

Dissertation/Habilitationschrift/Buchkapitel:

• E. Peiner: Herstellung metastabiler Legierungen binärer Systeme mit positiver Bildungsenthalpie mit Hilfe der ionenstrahl-induzierten Durchmischung, Universität Bonn (1988) 
• E. Peiner: Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung, Berichte aus der Halbleitertechnik, (Shaker-Verlag, Aachen, 2000)
• E. Peiner, "Compliant Tactile Sensors for High-Aspect-Ratio Form Metrology", in "Sensors - Focus on Tactile, Force and Stress Sensors" (I-Tech Education and Publication, Vienna, 2008, invited); DOI: 10.5772/6633.

• Jiushuai Xu und Erwin Peiner, "Dimensional-Nanopatterned Piezoresistive Silicon Microcantilever for Environmental Sensing", in "Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors", Editor: Dr. Zhuoqing Yang (Springer Nature Switzerland AG, 2022), 19-47; https://link.springer.com/chapter/10.1007%2F978-3-030-79749-2_2.

• Jiushuai Xu and Erwin Peiner,
  "Resonant Silicon Microcantilevers for Particle and Gas Sensing",
  in "Piezoelectric Sensors", Editor: Prof. Dr. Peter Lieberzeit, in Springer Series on Chemical Sensors and Biosensors 18: Methods and Applications, Series Editor: Gerald Urban (Springer Nature Switzerland AG, Cham, Switzerland, 2024), pp. 291-338; https://link.springer.com/chapter/10.1007/5346_2023_33.

Beiträge in internationalen, begutachteten Zeitschriften:

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• E. Peiner, K. Kopitzki, "Metastable phases formed by Ion Beam Mixing of binary metal systems with positive heats of formation", Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B 34 (1988) 173-180.
• W. Hiller, M. Buchgeister, P. Eitner, K. Kopitzki, V. Lilienthal, E. Peiner, "Ion Beam Mixing of Selected Binary Metal Systems with Large Positive Heats of Formation", Mater. Sci. Eng. A 115 (1989) 151-154.
• M. Buchgeister, W. Hiller, W. Jager, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Different Crystalline Structures of Ruthenium-rich Metastable Phases Formed by Ion Beam Mixing of the Binary Systems Au-Ru and Ag-Ru", Mater. Sci. Eng. A 115 (1989) 155-160.
• E. Peiner, A. Schlachetzki, "Anodic Dissolution during Electrochemical Carrier-Concentration Profiling of Silicon", J. Electrochem. Soc. 139 (1992) 552-557.
• K. Hansen, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Burkhard, "Anisotropy and Lateral Homogeneity of InP-Mass Transport", Jpn. J. Appl. Phys. 31 (1992) L1153-L1156. 
• E. Peiner, A. Schlachetzki, "Automatic Counting of Etch Pits in InP", J. Electron. Mater. 21 (1992) 887-892; DOI: https://doi.org/10.1007/BF02665545. 
• G.-P. Tang, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Lubnow, G. Zwinge, A. Schlachetzki, J. Hergeth, "A new maskless selective-growth process for InP on (100) Si", J. Appl. Phys. 72 (1992) 4366-4368.
• K. Hansen, E. Peiner, A. Schlachetzki, W. Mohling, H. Menniger, "Zn-doped InGaAsP (1.3 µm) contact layer for an inverted DH laser structure", J. Cryst. Growth, 125 (1992) 465-476. 
• K. Hansen, E. Peiner, G.-P. Tang, A. Schlachetzki, "A Theoretical Model of InP Mass Transport", Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1993) 234-238. 
• R. Klockenbrink, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Schlachetzki, "Wet Chemical Etching of Alignment V-Grooves in (100) InP through Titanium or In0.53Ga0.47As Masks", J. Electrochem. Soc. 141 (1994) 1594-1599. 
• A. Lubnow, G.-P. Tang, H.-H. Wehmann, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Effect of III/V-Compound Epitaxy on Si Metal-Oxide-Semiconductor Circuits", Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 3628-3634. 
• K. Hansen, E. Peiner, A. Schlachetzki, M. von Ortenberg, "Dopant Activation Energy and Hole Effective Mass in Heavily Zn-Doped InP", J. Electron. Mater. 23 (1994) 935-941; DOI: https://doi.org/10.1007/BF02655368. 
• K. Hansen, E. Peiner, G.-P. Tang, A. Bartels, A. Schlachetzki, "Scattering mechanisms and defects in InP epitaxially grown on (001) Si substrates", J. Appl. Phys. 76 (1994) 4705-4712. 
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• L. Malacký, R. Kúdela, M. Morvic, M. Cernianský, E. Peiner, H.-H. Wehmann, "Delta-doped InGaP grown by low pressure metalorganic chemical vapor deposition", Appl. Phys. Lett. 69 (1996) 1731-1733. 
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Veröffentlichungen in Zeitschriften und Forschungsberichten:

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• S. Sacré, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Stability of Au₂₄Ru₇₆ metastable phases", ibid. 143.
• E. Peiner, R. Herwig, A. Schlachetzki, "Entwicklung eines Ätzverfahrens zur Erkennung von Versetzungen in Submikronbereichen an Indiumphosphid-Kristalloberflächen", Schlussbericht zum Forschungsvertrag mit der DBP Telekom (1991)
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• K. Fricke, E. Peiner, T. Iwert, R. Mikuta, "Maschinendiagnose-Sensorsystem (MDS2)", Forschungsbericht 11/98, (Deutsche Forschungsgesellschaft für die Anwendung der Mikroelektronik e. V. (DFAM), Frankfurt/Main, 1998). 
• Erwin Peiner, Lutz Doering, Vladimir Nesterov, "Tactile Probes for High Aspect Ratio Micrometrology", mstnews 02/2004 41,42. 
• Erwin Peiner, "Mikrotastsonden für die Erfassung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik", ti Sensorik 2-2006 6.
• E. Peiner, "Winzlingen auf der Spur - Nanodetektoren sollen den Umgang mit Nanopartikeln sicherer machen", GIT Labor-Fachzeitschrift 11/2010 835.
• G. Palm, J. Kähler, A. Stranz, R. Neumann, N. Heuck, A. Bakin, E. Peiner, A. Waag, "Mikro-Nano-Integration unter Druck – Drucksintern als Lotersatz", PLUS 6/2010 1376-1382.
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Beiträge zu internationalen, wissenschaftlichen Konferenzen:

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• Michael Balke, Erwin Peiner, Lutz Doering, "A Micromachined Sensor System with Integrated Probing Tip for Tactile Measurements of High Aspect Ratio Microstructures", Proc. Micromechanics & Microengineering Europe 2007 (MME 07), Guimaraes, 16-18 Sept., 2007 (Univ. Minho, Guimaraes, 2007), ISBN 978-972-98603-3-1, pp. 265-268. 
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• José Luis Sánchez-Rojas, J. Hernando, J. Vázquez, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Ababneh and U. Schmid, "Nanoelectromechanical characterization of piezoelectric microcantilevers", Intern. congr. & exhib. nanobiotechnology (Nanobioeurope2008), June 09-13, 2008, Barcelona. 
• U. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid, "Dry Etching of Sputter-Deposited AlN-Thin Films for the Realization of Piezoelectric MEMS", Proc. 19th MicroMecha- nics Europe Workshop, (MME 08), September 28-30, 2008, Aachen. 
• U. Sökmen, M. Balke, A. Stranz, E. Peiner, S. Fündling, H.-H. Wehmann, A. Waag, "Optimization of ICP Deep Cryogenic Dry Etching of Silicon", Proc. 19th MicroMechanics Europe Workshop, (MME 08), September 28-30, 2008, Aachen. 
• Erwin Peiner, Michael Balke, Lutz Doering, "Form Measurement Inside Fuel Injector Nozzle Spray Holes", Proc. 34th Intern. Conf. Micro&Nano Engineering (MNE 2008), 15-18 September 2008, Athen, NMT-P09. 
• Sönke Fündling, Shunfeng Li, Ünsal Sökmen, Peter Hinze, Thomas Weimann, Uwe Jahn, Achim Trampert, Henning Riechert, Erwin Peiner, Hergo-Heinrich Wehmann, Andreas Waag, "3D Structured Silicon as a Substrate for the MOVPE Growth of GaN NanoLEDs", Intern. Workshop Nitride Semicond. (IWN 2008), Oct. 6-10, 2008, Montreux (invited). 
• Shunfeng Li, Sönke Fündling, Ünsal Sökmen, Erwin Peiner, Hergo-Heinrich Wehmann, An- dreas Waag, Peter Hinze, Thomas Weimann, Uwe Jahn, Achim Trampert, Henning Riechert, "Growth of GaN NanoLED structures on 3D patterned Silicon substrates by MOVPE", 3rd Intern. Workshop Nanowire Growth Mechanisms, 15.-16.09. 2008, Duisburg. 
• A. Stranz, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, "Sapphire on silicon assembly using a nanostructured compliant interface", Techn. Dig. 22nd Intern. Conf. Eurosensors XXII, 7.-10.9. 2008, Dresden. 
• Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid, "ICP Cryogenic Dry Etching of AlN Thin Films Deposited Freestanding Silicon Cantilevers for the Realisation of a Resonator for Mass Sensing", Proc. Intern. Conf. Smart Syst. Int. 2009, Bruxelles, March 10./11., 2009, CD-ROM, (AKA, Heidelberg, 2009) ISBN 978-3-89838-616-6.
• Erwin Peiner, Lutz Doering, "MEMS cantilever sensor for non-destructive metrology within high-aspect-ratio micro holes", Proc. Intern. Conf. Design, Technol., Integr., Packaging of MEMS/MOEMS (DITP 2009), Rome, 1-3 April 2009 (EDA Publishing/DTIP 2009, ISBN: 978-2-35500-009-6), pp. 369-374. 
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• Sönke Fündling, Shunfeng Li, Ünsal Sökmen, Stephan Merzsch, Richard Neumann, Erwin Peiner, Hergo-Heinrich Wehmann, Andreas Waag, Peter Hinze, Thomas Weimann, Uwe Jahn, Achim Trampert, Henning Riechert, "MOVPE Grown GaN Structures on Silicon Pillar Arrays", Ext. Abstr. EW-MOVPE XIII, Ulm, 7-10. June 2009, S. 159-162 
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• H. Bartuch, S. Völlmeke, L. Doering, U. Brand, E. Peiner, "Wafer Scale Fabrication of Piezoresistive Cantilever Sensors", Mikrosystemtechnik-Kongress 2009, 12. - 14. Oktober, Berlin, 2009, (VDE-Verlag, Berlin-Offenbach, 2009). 
• A. Stranz, Ü. Sökmen, A. Waag, E. Peiner, "Fabrication and Characterization of Nanopillars for Silicon-based Thermoelectrics", 28th Intern. Conf. Thermoelectrics and 7th Europ. Conf. Thermoelectrics, Freiburg, July 26 - 30, 2009. 
• Ünsal Sökmen, Andrej Stranz, Andreas Waag, Abdallah Ababneh, Helmut Seidel, Ulrich Schmid, Erwin Peiner, "Realization of AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing", Proc. Micromechanics & Microengineering Europe 2009 (MME 09), Toulouse, 20-22 Sept., 2009. 
• Shunfeng Li, Sönke Fündling, Ünsal Sökmen, Richard Neumann, Stephan Merzsch1, Johannes Ledig, Peter Hinze, Thomas Weimann, Uwe Jahn, Achim Trampert, Henning Riechert, Erwin Peiner, Hergo-Heinrich Wehmann, Andreas Waag, "GaN Nanorods and LED Structures Grown on Patterned Si and AlN/Si Substrates by Selective Area Growth", Intern. Conf. Nitride Semicond., 2009, ICC Jeju, Jeju, Korea, October 18-23. 
• Richard Neumann, Sönke Fündling, Shunfeng Li, Ünsal Sökmen, Stephan Merzsch, Andrej Stranz, Hergo-Heinrich Wehmann, Erwin Peiner, Andreas Waag, "Planarisation, Contacting and Electrical Characterisation of Nanoscale GaN LEDs Grown on Silicon", Intern. Conf. Nitride Semicond., 2009, ICC Jeju, Jeju, Korea, October 18-23. 
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• J. Xu, M. Bertke, A. Setiono, A. Schmidt, E. Peiner, “ZnO Nanostructures functionalized Piezoresistive Silicon Microcantilever Platform for Portable Gas Sensing”, IEEE MEMS 2019, Seoul, KOREA, 27 - 31 January, 2019, pp. 456-459; DOI: 10.1109/MEMSYS.2019.8870852.
• Wilson Ombati Nyang’au, Andi Setiono, Maik Bertke, Prabowo Puranto, Hutomo Suryo Wasisto, Thilo Viereck, Harald Bosse, Erwin Peiner, “Droplet –based evaporative approach for determining the mass of magnetic particles”, 20. ITG/GMA-Fachtagung „Sensoren und Messsysteme 2019”, 25.-26. Juni 2019, Kongresszentrum Nürnberg, (AMA Service GmbH, Wunstorf, 2019); DOI: 10.5162/sensoren2019/3.2.1.
• Michael Fahrbach, Erwin Peiner, “Entwicklung eines taktilen Mikrotaster-Messystems für Hochgeschwindigkeitsmessung von Form, Rauheit und mechanischen Eigenschaften”, 20. ITG/GMA-Fachtagung „Sensoren und Messsysteme 2019”, 25.-26. Juni 2019, Kongresszentrum Nürnberg, (AMA Service GmbH, Wunstorf, 2019); DOI: 10.5162/sensoren2019/P2.10.
• Andi Setiono, Jiushuai Xu, Michael Fahrbach, Maik Bertke, Wilson Ombati Nyangau, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Enhancement of real-time resonance tracking in electro-thermally actuated cantilever sensor with optimized phase characteristic”, J. Phys.: Conf. Ser. 1319 (2019) 012003 (7pp); doi:10.1088/1742-6596/1319/1/012003. 
• Prabowo Puranto, Gerry Hamdana, Frank Pohlenz, Jannick Langfahl-Klabes, Lars Daul, Zhi Li, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner and Uwe Brand, “Indentation modulus and hardness investigation of crystalline silicon surfaces treated by inductively coupled plasma reactive ion etching”, J. Phys.: Conf. Ser. 1319 (2019) 012008 (6pp); doi:10.1088/1742-6596/1319/1/012008.
• W. O. Nyang’au, G. Hamdana, A. Setiono, M. Bertke, J. Xu, M. Fahrbach, P. Puranto, H. S. Wasisto and E. Peiner, “Adsorption and detection of mass of microparticles using silicon microcantilever”, J. Phys.: Conf. Ser. 1319 (2019) 012010 (7pp); doi:10.1088/1742-6596/1319/1/012010.
• Iqbal Syamsu, Tony Granz, Gregor Scholz, Shinta Mariana, Nursidik Yulianto, Lars Daul, Ludger Koenders, Joan Daniel Prades, Erwin Peiner, Andreas Waag, Hutomo Suryo Wasisto, “Design and fabrication of AlN-on-Si chirped surface acoustic wave resonator for label-free cell detection”, J. Phys.: Conf. Ser. 1319 (2019) 012011 (6pp); doi:10.1088/1742-6596/1319/1/012011.
• Maik Bertke, Jiushuai Xu, Andi Setiono, Gerry Hamdana, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Self-reading femtogram microbalance for highly sensitive airborne nanoparticle detection”, J. Phys.: Conf. Ser. 1319 (2019) 012004 (6pp); doi:10.1088/1742-6596/1319/1/012004.
• J. Xu, M. Bertke, A. Setiono, K. Strempel, N. Markiewicz, A. Schmidt, A. Waag, J. D. Prades, E. Peiner, “Piezoresistive Microcantilevers 3D-patterned using ZNO-Nanorods@Silicon-Nanopillars for Room-Temperature Ethanol Detection”, 20^th Intern. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019), Berlin, 23 - 27 June 2019, DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808821.
• J. Xu, M. Bertke, S. Bornemann, S. Mariana, C. Fan, A. Schmidt, H. S. Wasisto, A. Waag, E. Peiner, “Silicon Nanopillars with ZnO Nanorods by Nanosphere Lithography on a Piezoresistive Microcantilever, 20^th Intern. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019), Berlin, 23 - 27 June 2019; DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808435. 
• N. Markiewicz, O. Casals, J. Xu, M. F. Fatahilah, A. Schmidt, H. S. Wasisto, E. Peiner, A. Waag, J. D Prades, “Ultra Low Power Mass-Producible Gas Sensor based on Efficient Self-Heated GaN Nanorods”, 20^th Intern. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019), Berlin, 23 - 27 June 2019, DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808234.
• Nicolai Markiewicz, Olga Casals, Jiushuai Xu, Muhammad Fahlesa Fatahilah, Angelika Schmidt, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, Andreas Waag, Joan Daniel Prades, “Efficient Self-Heating in Gallium Nitride Nanopillars for Ultra-Low-Power Mass-Producible Gas Sensors”, Proc. 2019 IEEE International Symposium on Olfaction and Electronic Nose (ISOEN), Fukuoka, Japan, 26-29 May 2019; DOI: 10.1109/ISOEN.2019.8823455
• Maik Bertke, Jiushuai Xu, Andi Setiono, Erwin Peiner, Ina Kirsch, Erik Uhde, "Piezoresistive Microcantilever for Gravimetric Particulate Matter Monitoring”, Proc. MikroSystemTechnik Kongress 2019, 28.-30. Oktober 2019, Berlin, (VDE-Verlag, Berlin 2019); ISBN: 978-3-8007-5090-0, https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/9012771.

• Andi Setiono, Wilson Ombati Nyang’au, Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors”, J. Phys.: Conf. Ser. 1837 (2021) 012003; doi: 10.1088/1742-6596/1837/1/012003

• Prabowo Puranto, Qiang Zhang, Wilson O. Nyang’au, Jannick Langfahl-Klabes, Jan Thiesler, Mutaib Zackaria, Zhi Li, Hutomo S. Wasisto, Erwin Peiner, Uwe Brand, "Influence of eccentric nanoindentation on top surface of silicon micropillar arrays”, J. Phys.: Conf. Ser. 1837 (2021) 012008; doi: 10.1088/1742-6596/1837/1/012008

• Jiushuai Xu and Erwin Peiner, "Micromachined Silicon Cantilever Resonator-Based Humidity Sensors for Multifunctional Applications”, The 37th IEEE Intern. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2021), 25-29 January, DOI: 10.1109/MEMS51782.2021.9375323.

• M. Fahrbach, M. Xu, U. Brand und E. Peiner, “Self-excited Contact Resonance Operation of a Tactile Piezoresistive Cantilever Microprobe with Diamond Tip”, SMSI 2021 Conference – Sensor and Measurement Science International, pp. 73 – 74; DOI 10.5162/SMSI2021/A5.4; https://www.ama-science.org/proceedings/details/3948.

• M. Fahrbach, W. O. Nyang’au, O. Domanov, C. H. Schwalb, M. Xu, Z. Li, C. Kuhlmann, U. Brand und E. Peiner, “Gedämpfte Silizium Mikrotaster für Hochgeschwindigkeits-Rauheitsmessungen, Damped silicon micro probes for high-speed roughness measurements”, Proc. MikroSystemTechnik Kongress 2021, 8.-10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, (VDE-Verlag, Berlin 2021); ISBN: 978-3-8007-5656-8; https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/9698292

• Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Petr Klapetek, Jan Martinek, Erwin Peiner, "Contact Resonance Imaging with Vertical Nanowire Arrays", Sensoren und Messsysteme 2022 ∙ 10. – 11.05.2022, Nürnberg, (VDE-Verlag, Berlin, Offenbach, 2022), pp. 245 - 250, ISBN 978-3-8007-5835-7 245; https://ieeexplore.ieee.org/document/9861903.

• Andam Deatama Refino, Jiushuai Xu, Jonathan Kottmeier, Andreas Dietzel, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “High-aspect-ratio silicon nanowire arrays by cryogenic and chemical etching”, International Workshop on Plasma Cryo Etching Processes (PlaCEP 2022), Orleans, France, 16th to 19th of May 2022, sciencesconf.org:placep:399205; https://hal.archives-ouvertes.fr/hal-03669219/document#page=38.

• Frank Eric Anang, Jiushuai Xu, Angelika Schmidt, Markys Cain, Erwin Peiner, “Zinc Oxide Nanowire Arrays Growth on Patterned Silicon Substrate for Piezoelectric Energy Harvesting”, 9. GMM-Workshop “Mikro-Nano-Integration”, RWTH Aachen, 21. – 22. November 2022, (VDE-Verlag, Berlin, Offenbach, 2022), pp. 66 - 70; https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/10025931.

• Defang Li, Jinying Zhang, Jiushuai Xu, Erwin Peiner, Zhuo Li, Xin Wang, Suhui Yang, Yanze Gao, “Ultra-Large Pixel Array Photothermal Transducer and its Thermal Performance Prediction Strategy”, Proc. 36^th Intern. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2023), Munich, 15 – 19 January 2023 (IEEE, 2023), pp. 1147 - 1150; DOI: 10.1109/MEMS49605.2023.10052516.

• Jiushuai Xu, Entian Cao, Michael Fahrbach, Vladislav Agluschewitsch, Andreas Waag, Erwin Peiner, “Real-Time Operation of Microcantilever-based In-plane Resonators Partially Immersed in a Microfluidic Sampler”, Proc. 36^th Intern. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (IEEE MEMS 2023), Munich, 15 – 19 January 2023 (IEEE, 2023), pp. 1037 – 1040; DOI: 10.1109/MEMS49605.2023.10052263.

Beiträge zu nationalen, wissenschaftlichen Tagungen:

• R. Mikuta, P. Hauptmann, H. Fritsch, D. Scholz, E. Peiner, A.Schlachetzki, L. Kempen, H. Neuhäuser, "Strukturenmikromechanischer Vibrationssensoren auf der Basis des Resonanzeffekts für die Anwendung im Maschinen- und Anlagenbau", Tagungsband der Fachtagung"Sensoren-Aktoren-Bussysteme" Magdeburg, 23.-24. März1995, 152-158.
• L. Kempen, H. Neuhäuser, J. Graßmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Charakterisierung beschichteter Siliziumzungen durch Messung der inneren Reibung", Hauptversammlung der Deutschen Gesellschaft für Materialkunde, Bochum, 6.-9. Juni 1995.
• H. Fritsch. R. Mikuta, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Mikromechanische resonante Vibrationssensoren - Neue Möglichkeiten für die Maschinen- und Produktzustandsdiagnostik", MIicro-Engineering '95, Stuttgart, 27.-29. September 1995.
• R. Mikuta, P. Hauptmann, H. Fritsch, D. Scholz, E. Peiner, A.Schlachetzki, "Verschleiß- und Maschinenzustandsdiagnosemittels mikromechanischer Vibrationssensoren unter Nutzung eines mechanischen Resonators", Tagungsband der 9. Kongressmesse für industrielle Messtechnik, MessComp '95, Wiesbaden, 5.-7.Sept. 1995, (Network, Hagenburg, 1995), 28-32.
• P. Hauptmann, R. Mikuta, H. Fritsch, E. Peiner, D. Scholz, A.Schlachetzki, "Vibrationssensoren auf der Basis des Resonanzeffekts für die Anwendung im Maschinen- und Anlagenbau", Tagungsband II der 2. Magdeburger Maschinenbau-Tage: Mechatronische Systeme im Maschinenbau - Quelle der Innovation, 14. u. 15. Sept.1995, 1-6.
• H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Mikromechanische resonante Vibrationssensoren für den Einsatz im Maschinen- und Anlagenbau", Innovationsmarkt SteP, Hannovermesse '96, 27. April 1996.
• D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, "Simulation und Fertigung mikromechanischer Strukturen für resonante Vibrationssensoren", Tagungsband zum 41. intern. wissenschaftl. Kolloq., (VDI/VDE Mikro- und Feinwerktechnik), Ilmenau, 23.-26. Sept. 1996, (W. Gens, ed.), (Technische Universität Ilmenau, 1996, ISSN 0943-7207) 141-146.
• R. Mikuta, H. Fritsch, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Realisierter mikromechanischer resonanter Vibrationssensor zur Maschinendiagnose", Tagungsband zum 41. intern. wissenschaftl. Kolloq., (VDI/VDE Mikro- und Feinwerktechnik), Ilmenau, 23.-26. Sept. 1996, (W. Gens, ed.), (Technische Universität Ilmenau, 1996, ISSN 0943-7207)502-506.
• K. Fricke, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Vibrationssensor mit optoelektronischer Schnittstelle", Tagungsband zur 4. SICAN-Herbsttagung "Mikroelektronik-Mikrosysteme", Hannover, 11./12. Nov., 1997, (SICAN, Hannover, 1997), 167-171.
• T. Iwert, H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Diagnosesystem auf der Basis mikromechanischer Resonatoren zur Zustandsüberwachung von Wälzlagern", Tagungsband II der 3. Magdeburger Maschinenbau-Tage "Mechatronische Systeme im Maschinenbau - Quelle der Innovation", (Univ. Magdeburg,1997), 177-184.
• R. Mikuta, T. Iwert, H. Fritsch, P. Hauptmann, L. Rauchhaupt, E. Peiner, K. Fricke, A. Schlachetzki, "Diagnosesystem zur on-line-Überwachung prozess- und maschinentypischer Körperschallspektren mit CAN-Interface", Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik, Univ. Magdeburg, 25.-27. März 1998, Tagungsband.
• R. Mikuta, E. Peiner, H. Fritsch, K. Fricke, P. Hauptmann, A.Schlachetzki, "Mikromechanischer Vibrationssensor mit sensornaher monolithisch integrierter Signalkonditionierung", 43. Intern. Kolloq., TU Ilmenau, 21.-24. Sept. 1998, Tagungsband.
• E. Peiner, M. Balke, H. Bartuch, S. Völlmeke, L. Doering, U. Brand, "Mikrotastsonden für die Erfassung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik", Cluster-Meeting "Mess- und Prüftechnik für den Test von Mikrosystemen (MSTPrüf)", Nürnberg, 31.5./1.6. 2006, Tagungsband (VDI, 2006), ISBN 978-3-89750-144-7. 
• A. Stranz, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, "NTV-Verbindung von nanostrukturiertem Silizium auf Saphir und auf Silber", 1. GMM-Workshop "Mikro-Nano-Integration", 12./13. März, 2009, Seeheim, GMM-Fachbericht 60, (VDE, Berlin, 2009). 
• Ü. Sökmen, M. Suleiman, A. Waag, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid and E. Peiner, "AlN on Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE", 248. PTB-Seminar, "Nanopartikelcharakterisierung", Braunschweig, 18.-19. Mai 2009.
• E. Peiner, Lutz Doering, "Cantilever tactile sensors for characterization of diesel injectors", Vortrag und Poster, 3. Innovation forum for Micro Technology, Villingen, 3. Feb. 2011.
• Uwe Brand, Erwin Peiner, “Robustes und hochpräzises Tastsystem für Rauheitsmessungen in Mikrobohrungen”, Fachtagung “Bohren in anspruchsvollen Dimensionen”, 11. und 12. 11. 2014, Mannheim, (Hanser, München, 2014).
• L. Doering, U. Brand, H.S. Wasisto, E. Peiner, „Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis“, Kolloquium Mikroproduktion, IKV RWTH Aachen, 16. - 17. November 2015, Aachen.
• G. Hamdana, M. Bertke, T. Südkamp, H. Bracht, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Hoch geordnete Nanodrähte hergestellt durch Self-Assembly von Nanopartikeln", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
• M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, M. Marks, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Asymmetrische Resonanzfrequenzanalyse von in-plane elektrothermischeSiliziumcantilever für Nanopartikelsensoren",Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
• J. Xu, J. Yang, W. Wu, G. Hamdana, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner, "ZnO nanorods-patterned piezoresistive Si cantilevers for humidity sensors", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
• Uwe Brand, Lutz Doering, Sai Gao, Thomas Ahbe, Sebastian Bütefisch, Zhi Li, André Felgner, Rudolf Meeß, Karla Hiller, Erwin Peiner, Thomas Frank, Stefan Reusch, "Sensors and calibration standards for precise hardness and topography measurements in micro- and nanotechnology", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
• W. Wu, H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Autarkes MEMS-Dosimeter für personenbezogenes Nanopartikel-Monitoring - Autarkic MEMS Dosimeter for Personal Nanoparticle Monitoring”, Proc. VDE-Kongress 2016, Mannheim.

Patente/Patentanmeldungen:

• C. Metz, A. Jacob, G. Oberschmidt, E. Lissel, A. Schlachetzki, H. Schröter, E. Peiner, H.-H. Wehmann, "Radarsensor und Radarantenne für ein Überwachen der Umgebung eines Kraftfahrzeuges", Deutsches Patent Nr. 199 51 123 vom 23. Oktober 1999, 13. November 2003. 
•  E. Lissel, A. Jacob, A. Schlachetzki, H.-H. Wehmann, E. Peiner, H. Schröter, G. Oberschmidt, C. Metz, "Radar sensor and radar antenna for monitoring the environment of a motor vehicle", internationale Patentanmeldung PCT/EP00/06010 am 28. Juni 2000, Veröffentlichung unter WO 01/09975 A2 am 8. Februar 2001. 
• ibid., gesonderte Anmeldung in den USA unter U.S. Serial No. 10/048,425 am 20. Juni 2000, Erteilung unter US 6,686,867 B1 am 3. Februar 2004. 
• E. Peiner, I. Behrens, L. Doering, "Vorrichtung zur Bestimmung topologischer und elektrischer Eigenschaften eines Probenkörpers", Deutsches Patent Nr. 103 00 988 vom 14. Januar 2003, 24. März 2005. 
• Lutz Doering, Erwin Peiner, Ingo Behrens, Björn Herold, "Scansonden-Mikroskop zur Bestimmung topologischer oder elektrischer Eigenschaften eines Probenkörpers sowie Verfahren zur Herstellung eines Sondenkörpers", Deutsches Patent Nr. 103 26 379 vom 12. Juni 2003, 5. April 2007.
• L. Doering, V. Nesterov, E. Peiner, "Mikrokraftsensor", Deutsches Patent Nr. 10 2010 012 701 vom 24. 3. 2010, erteilt am 17. 10. 2013.
• J. Kähler, E. Peiner, A. Stranz, A. Waag, "High temperature piezoresistive strain gauges made of Silicon-On-Insulator", US 2013/0068008 A1, WO 2012/141843 A3.
• Julian Kähler, Thomas Kruspe, Sebastian Jung, Gerhard Palm, Andrej Stranz, Andreas Waag, Erwin Peiner, "Method and Apparatus for Joining Members for Downhole and High Temperature Applications", US 2012/0292009 A1; WO 2012/161987 A1; GB000002511394A; NO000020131653A.
• Julian Kähler, Thomas Kruspe, Sebastian Jung, Andrej Stranz, Andreas Waag, Erwin Peiner, "Thermoelectric devices using sintered bonding", US 2012/0291454 A1; WO 2012/116107 A1; EP 2 810 310 A1.
• Stephan Merzsch, Gerhard Palm, Erwin Peiner, Andreas Waag, Frederik Steib,“Verfahren zur Herstellung eines oberflächenstrukturierten Gegenstands und Verwendung einer adhäsiven Folie”, DE 10 2013 111 372 B4.
• Erwin Peiner, Stephan Merzsch, Hutomo Suryo Wasisto, Andreas Waag, Erik Uhde, "Gerät und Verfahren zur Messung einer Aerosolkonzentration in einem gasförmigen Medium", DE 10 2014 007 977 A1; EP 2 952 875 A1.
• Gerhard Palm, Erwin Peiner, Heinz Schall, Ingrid Schall, Andreas Waag, "Verfahren zur Herstellung einer kristallinen Siliziumschicht und siliziumbasiertes Halbleiterbauelement”, DE 10 2016 117 182 A1; WO2018/050565 A1, erteilt unter EP3513425 am 16. 11. 2022; https://depatisnet.dpma.de/DepatisNet/depatisnet?window=1&space=main&content=familie&action=treffer&fromResultList=1&docid=WO002018050565A1&so=asc&sf=vn&firstdoc=1&famSearchFromHitlist=1.

Vorträge/Lectures:

• E. Peiner, "Mikromechanischer Vibrationssensor für die Maschinenüberwachung", Vortrag im Rahmen des Graduiertenkollegseminars über nanoelektronische, mikromechanische und mikrooptische Systeme der Ruhr-Universität Bochum am 20. Januar1998, (eingeladen).
• E. Peiner, "Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung", Vortrag vor der Habilitationskommission, Gemeinsame Fakultät für Maschinenbau und Elektrotechnik der TU Braunschweig, am 7. Juni 1999.
• E. Peiner, "Nanostrukturen in Halbleitern",Wissenschaftlicher Vortrag vor der Gemeinsamen Fakultät für Maschinenbau und Elektrotechnik der TU Braunschweig im Rahmen des Habilitationsverfahrens am 7. Februar 2000.
• E. Peiner, "Heteromikromechanik auf Silizium", Vortrag im Rahmen des Graduiertenkollegseminars über Laser- und Teilchenspektroskopie der Universität Kaiserslautern am 9. Juni 2000, (eingeladen).
• E. Peiner, "Sensorik mit Halbleitern", Antrittsvorlesungan der TU Braunschweig am 30. Juni 2000.
• E. Peiner, "Hetero-micromachining (HMM) - a novel technology", Vortragim Rahmen des Workshops "Entwicklungstendenzen in der Sensor- und Mikrosystemtechnik", Fa. µ-Sen Mikrosystemtechnik GmbH, TU Ilmenau Fachgebiet Mikrosystemtechnik, Saale-Net GmbH, 10.Juli 2000, (eingeladen).
• E. Peiner, "Vibrationssensoren mit faseroptischer Auslesung für die Maschinenüberwachung", Workshop "OptischeTechnologien" im Rahmen der Veranstaltungsreihe zur"Mikrosystemtechnik in Niedersachsen", Göttingen, 20.September 2000.
• E. Peiner, "Mikromechanische Halbleiter-Sensoren",Vortrag bei der European Aeronautic Defense and Space Company (EADS) Airbus am 29. September 2000, (eingeladen).
• E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", Zweites Fachforum "Mechatronik - Funktions- und kosten-optimierte Systemlösungen", Regensburg, 21./22. Nov. 2001, (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2001), 137-158 (eingeladen). 
• E. Peiner "Halbleitersensorik für die Maschinenüberwachung", Kolloquium des Fachbereichs Elektrotechnik und Informationstechnik der Universität Kaiserslautern, Kaiserslautern, 14. Feb. 2002, (eingeladen). 
• E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", Drittes Fachforum des OTTI Technik Kollegs "Mechatronik - Funktions- und kostenoptimierte Systemlösungen", Würzburg, 13./14. Nov. 2002 (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2002) (eingeladen). 
• E. Peiner, "Professoren-Praktikum bei VW", 5. Treffen des Industrieberaterkreises der gemeinsamen Fakultät Maschinenbau und Elektrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Wolfsburg, 30. Okt. 2002, (eingeladen). 
• E. Peiner, "Tastsonden für die Mikrometrologie", Technische Universität Ilmenau, 31. Feb. 2004, (eingeladen). 
• E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", OTTI-Profiforum "Mechatronik - Funktions- und kostenoptimierte Systemlösungen", Regensburg, 2./3. Feb. 2004 (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2004) (eingeladen). 
• E. Peiner, "Tastsonden für die Mikro- und Nanomesstechnik, Univ. Ulm, Abt. Halbleiterphysik, 27. Apr. 2004 (eingeladen). 
• E. Peiner, "Mikromechanische Kragbalkensensoren", Technische Universität Bergakademie Freiberg, 22. April 2005, (eingeladen). 
• E. Peiner, "Cantileverbauelemente für die Mikro-/Nanomesstechnik", Universität Dortmund, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, 3. Oktober 2006 (eingeladen). 
• E. Peiner, "Neue Technologien zur Erzeugung von Pyramidenstrukturen", Workshop "Fertigungstechnologien für Mikrosysteme", Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen, TU Braunschweig, 23. Okt. 2006 (eingeladen). 
• E. Peiner, "Nanopartikelanalytik", 1. JOMC Statusseminar und 231. Helmholtzseminar, PTB, Braunschweig, 26. April 2007 (eingeladen).
• E. Peiner, "Cantileversensoren für die Mikro-/Nanomesstechnik", Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, Univ. d. Saarlandes, Saarbrücken, 14. Feb. 2008 (eingeladen).
• E. Peiner, "Piezoresistive Tastsensoren für die Fertigungsmesstechnik", Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, 9. Jan. 2009 (eingeladen). 
• E. Peiner, "Silizium-Tastsensoren für die Fertigungsmesstechnik", Fakultät für Maschinenbau der Leibniz Universität Hannover, 15. Jan. 2009 (eingeladen). 
• E. Peiner, Lectures "Applications of MEMS Sensors" und "Basics of Electronic Devices, Circuits and Sensors" incl. Tutorial für die DAAD-Sommerschule "School on Fundamentals and Materials for Novel Sensors", 13.-24. Juli 2009, Rio de Janeiro (eingeladen).
• E. Peiner, "Tastsensoren für die Erfassung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik", Mikrosystemtechnik-Kolloquium, Technische Universität Hamburg-Harburg, 11. Nov. 2009 (eingeladen).
• E. Peiner, "Cantilever Sensors for Micro-/Nanometrology", GMe Forum 2012, Society for Micro- and Nanoelectronics, c/o Inst. of Sensors and Actuator Systems, Vienna Univ. of Technol., March 29 and 30, 2012 (invited).
• E. Peiner, "Micro-/Nanostructured Silicon for Transducers", Kolloquium über aktuelle Fragen der Materialphysik, Inst. f. Materialphysik, Univ. Münster, 13. Nov. 2012 (eingeladen).
• E. Peiner, "Chipmontage mit Drucksintertechnik/Die Attach using Pressure-Assisted Sintering for High-Temperature Applications", Vortrag im Rahmen der Eröffnung des neuen Standorts der Fa. Elsold GmbH & Co. KG in Ilsenburg, 27. Juni 2013 (eingeladen).
• E. Peiner, "Piezoresistive microcantilevers for industrial micro/nanoscale sensing applications", Keynote Lecture auf dem 7th Intern. Symp. Precision Mechanical Measurements (ISPMM2015), August 7-12, 2015, Xia’men, Fujian, China (eingeladen).
• H. S. Wasisto, W. Wu, E. Uhde, E. Peiner, "MEMS Sensor for Personal Nanoparticle Monitoring", Lecture on 7^th Forum on New Materials (CIMTEC 2016), Symp. M, June 5th - 9th, 2016, Perugia, Italy (eingeladen).
• M. Bertke, J. Xu, H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Resonant MEMS Sensors for Personal Air Quality Monitoring”, Vortrag in Session "MEMS Sensoren", SENSOR-Kongress 2017, 30. Mai – 01. Juni, Nürnberg (eingeladen).
• E. Peiner, “Vertical semiconductor nanowire arrays: from thermoelectric generator to multi sensor platform”, Keynote Lecture on 4^th International Symposium on Frontier Applied Physics (ISFAP 2018), ICE BSD, 1-2 November 2018, Tangerang, Banten, Indonesia (eingeladen).
• M. Fahrbach, J. Xu, B. Bodermann, Z. Li, U. Brand, J. K. Prüßing, H. Bracht, E. Peiner, “Semiconductor Nanowire Arrays for Energy Harvesting – Fabrication and Characterization”, SOTA Lecture on euspen Special Interest Group (SIG) meeting: Structured & Freeform Surfaces, PTB, Germany, 6-8 October 2020 (eingeladen).
• Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Andam Deatama Refino, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Nanowire arrays for energy harvesting and storage”, Physikalisches Kolloquium Sommersemester 2022, TU Kaiserslautern, 25. April 2022 (eingeladen).
• M. Fahrbach, J. Xu, E. Peiner, "MEMS Cantilever Sensors", Lecture on 9^th Forum on New Materials (CIMTEC 2022), Symp. FC, Session FC-1 "Physical MEMS/NEMS; MOEMS/NOEMS", June 27th, 2022, Perugia, Italy (eingeladen).

Habilitation:

• Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung, (Shaker-Verlag, Aachen, 2000)
• Wissenschaftlicher Vortrag: Nanostrukturen in Halbleitern, TU Braunschweig (7. 2. 2000)
• Antrittsvorlesung: Sensorik mit Halbleitern, TU Braunschweig (30. 6. 2000)

Dissertation:

• Herstellung metastabiler Legierungen binärer Systeme mit positiver Bildungsenthalpie mit Hilfe der ionenstrahl-induzierten Durchmischung, Universität Bonn (1988) 

Diplomarbeit:

• Ionenstrahl-induzierte Durchmischungsexperimente an den Systemen Al-Os und Al-Au unter Verwendung einer neu errichteten Ultrahochvakuum-Aufdampfanlage, Institut für Strahlen- und Kernphysik, Universität Bonn (1985)

1960         geb. in Bad Münstereifel, Rheinland

Schulausbildung:

1966-70   Katholische Volksschule, Antweiler, Kreis Euskirchen, Rheinland
1970-79   Abitur, Städt. Emil-Fischer-Gymnasium Euskirchen

Wehrdienst:

1979-80   Pionier-Batallion 610, Lübeck

Akademische Laufbahn:

1980-82    Vordiplom Physik/Mathematik, Rhein. Friedrich-Wilhelms-Univ. Bonn
1982-85    Diplom Physik, Universität Bonn, Wahlpflichtfach: Informatik

1985-88    Promotion Dr. rer. nat., Univ. Bonn bei Prof. Dr. Konrad Kopitzki
                   Neuartige Legierungen durch Ionenstrahlmischen
                   Nebenfach: Theoretische Chemie
1986-88    Graduierten-Stipendium Land Nordrhein-Westfalen

1989-2000  Habilitation, Halbleitertechnik, Technische Universität Braunschweig
                     Siliziumsensoren für die Maschinenüberwachung

seit 2015     außerplanmäßiger Professor
seit 2023     Professor

Berufliche Tätigkeiten:

1985-88   Wiss. Hilfskr./Angest., Univ. Bonn, Inst. f. Strahlen- und Kernphysik

seit 1989 Gruppenleiter, Akad. Dir. (seit 2008), TU Braunschweig
                 Halbleitersensorik/Mikrosystemtechnik 

1992        Forschungsaufenthalt: Inst. f. Halbleiterphysik, Frankfurt (Oder)
                 Halbleitermesstechnik            

2002        Industrietätigkeit: Volkswagen AG, Wolfsburg, Elektronik-Forschung
                 Zylinderdrucksensorik  

Mitarbeit in Gremien:

seit 2008  ITG-GMM-Fachausschuss 4.7/Programmaussch. des Workshops
                  Mikro-Nano-Integration

2009-17   Programmausschuss der SPIE-Konferenz
                  Smart Sensors, Actuators and MEMS
2015-17   Co-Chair
2017         Co-Editor SPIE Proc. 10246: Smart Sens., Actuators, and MEMS VIII

2011-16   Kuratorium des St. Jakobushauses Goslar,
                 Akademie der Diözese Hildesheim

2018        Gast-Herausgeber (mit H. S. Wasisto) des Sonderbands
                 Cantilever Sensor in Sensors (mdpi)
2021        Gast-Herausgeber (mit U. Brand) des Sonderbands in Sensors (mdpi)
                 Cantilever Sensors for Industrial Applications
2022        Gast-Herausgeber (mit U. Brand) des Sonderbands in Sensors (mdpi)
                 Cantilever Sensors for Industrial Applications II

seit 2019   Editorial Board von Sensors (mdpi)
seit 2020   Editorial Board von Micromachines (mdpi)