apl. Prof. Dr. Erwin Peiner

Geförderte Forschungsprojekte:

• 10/2021 - 12/2022: "Photovoltaik mit kristallinem Silizium auf Fenster-Glas - PV-CSS", gefördert durch BMWi, 03THWNI009.
• 02/2021 - 01/2024: "3D-nanoskalige Siliziumanoden fur Lithium-lonen-Batterien mit hoher Energiedichte - SiNanoBatt; Herstellungstechnologien für 3D-Silizium-Nanoanoden mit hohem Aspektverhältnis", (Projektkoordinator, mit Dr.-Ing Hutomo Suryo Wasisto) gefördert durch BMBF, 01DP21003, Verbundprojekt mit Institut Teknologi Bandung (ITB), Indonesien (Dr. Afriyanti Sumboja) und Chulalongkorn University, Thailand (Dr. Vudhichai Parasuk).
• 09/2020 - 08/2023: "High throughput metrology for nanowire energy harvesting devices - Nanowires", gefördert durch EU/EURAMET/EMPIR, 19ENG05, Verbundprojekt mit PTB (Dr. Uwe Brand) und weiteren vierzehn Partnern.
• 12/2018 - 12/2020: "Perspektive zur Solarzelle aus der kristallinen Siliziumsynthese - CSS for solarcell", gefördert durch DBU, Az.: 32945/03, Verbundprojekt mit Fa. sameday media GmbH (Dr. Ingrid Schall).
• 06/2018 - 11/2021: "Multifunctional ultrafast microprobes for on-the-machine measurements - MicroProbes", (WP leader), gefördert durch EU/EURAMET/EMPIR, 17IND05, Verbundprojekt mit PTB (Dr. Uwe Brand) und weiteren zehn Partnern.
• 11/2016 – 10/2021: "Forschungslinie Quanten- und Nanometrologie - QUANOMET: Nachwuchsgruppe Nanopartikel Charakterisierung (NP2) (PI)", gefördert durch NMWK; ZN3245.
• 04/2017 – 09/2018: "Synthese von multikristallinem Dünnschicht-Silizium für die elektronische Anwendung - crystalline silicon synthesis (CSS)", gefördert durch DBU, Az.: 32945/2, Verbundprojekt mit Fa. sameday media GmbH (Dr. Ingrid Schall).
• 04/2015 – 12/2018: "Atomic transport in three-dimensional nanostructures of silicon and germanium - Nanodiff", gefördert durch DFG, PE 885/3-1, Verbundprojekt mit Univ. Münster (Prof. Hartmut Bracht).
• 09/2015 – 12/2016: "Synthese von kristallinem Silizium auf Quarzsubstrat - c-Si-on-Quartz", gefördert durch DBU, Az.: 32945/01- 24, Verbundprojekt mit Fa. sameday media GmbH (Dr. Ingrid Schall).
• 08/2013 – 01/2017: "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis - HmtS", (Projektkoordinator), gefördert durch BMBF, 03V0409, (Schlussbericht in TIB-Portal verfügbar), Verbundprojekt mit PTB (Dr. Uwe Brand, Schlussbericht in TIB-Portal verfügbar).
• 05/2010 – 10/2013: "Nanobalancedetektor für personenbezogene Messungen von Nanopartikel-Expositionen - NanoExpo" (Projektkoordinator) - Teilprojekt: "Nanopartikeldosimeter - Nosi", mit Prof. Andreas Waag, gefördert durch BMBF, 03X0098A, (Schlussbericht in TIB-Portal verfügbar), Verbundprojekt mit Fraunhofer-WKI (Dr. Erik Uhde, Prof. Tunga Salthammer).
• 06/2009 – 08/2012: "Nanostrukturierte Thermoelektrika: Silicon-based thermoelectric nanosystems - SiNanoTherm", mit Prof. Andreas Waag, gefördert durch DFG, SPP 1386/1, PE 885/2-1, mit Univ. Würzburg (Prof. Karl Brunner).
• 01/2009 – 11/2014: "Geothermie und Hochleistungsbohrtechnik - GeBo", - Teilprojekt T2: "Aufbau- und Verbindungstechnik für Hochtemperatur-Elektronik", mit Prof. Andreas Waag, gefördert durch Land Niedersachsen und Baker-Hughes-INTEQ GmbH, Verbundprojekt mit TU Clausthal, LU Hannover and LIAG.
• 01/2005 – 06/2008: "Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik - µgeoMess" - Teilprojekt: "Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters - µTast", gefördert durch BMBF, 16SV1944, Verbundprojekt mit Mahr GmbH (Dr. Andreas Beutler), PTB, CiS GmbH, Fraunhofer-ICT-IMM und Continental Automotive GmbH.
• 08/2003 – 03/2005: "Die Intelligente Kraftmessung: Innovativer diamantartiger Kraftsensor für die Verschraubungs- und Spanntechnik - DiaKra" - Teilprojekt: "Anwendungsbezogene Weiterentwicklung des Schichtmaterials", gefördert durch BMWA, 16IN0223, Verbundprojekt mit Fraunhofer-IST (Dipl.-Ing. Holger Lüthje), Fraunhofer-IMS, Univ. Erlangen and vier Industriepartner.

Promotionen:

• Dr.-Ing. Andi Setiono,
  "Parasitic-crosstalk elimination in electrothermal piezoresistive cantilever resonators for real-time frequency-tracking operation",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2021, gefördert durch ein Stipendium des Ministry of Research, Technology and Higher Education of the Republic of Indonesia (RISTEKDIKTI, Nr. 343/RISET-Pro/FGS/VII/2016).
• Dr.-Ing. Wilson Ombati Nyang‘au,
  "Microcantilever-based measurement of mass and magnetic moment of liquidborne magnetic micro and nanoparticles",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2021, gefördert durch ein Stipendium des Bundesministeriums für wirtschaftliche Zusammenarbeit und Entwicklung (BMZ, Nr. 27070024).
• Dr.-Ing. Maik Bertke,
  „MEMS/NEMS-basierte Sensoren für die Detektion und Charakterisierung von Nanopartikeln”,
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2020,
  ausgezeichnet mit einem Preis für eine besonders gute Abschlussarbeit durch die Stiftung der Ingenieurkammer Niedersachsen, 2021
• Dr.-Ing. Jiushuai Xu,
  "Wearable gas sensors based on silicon MEMS/NEMS-based resonators",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2020, gefördert durch ein Promotionsstipendium des China Scholarship Council (CSC, Nr. 201506300019)
• Dr.-Ing. Gerry Hamdana,
  "MEMs piezoresistive force sensors based on micro-/nanostructured silicon components",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2018
• Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto,
  "Direct-reading personal airborne nanoparticle detector based on micromechanical silicon cantilever resonators",
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2014,
  ausgezeichnet mit dem „Walter-Kertz-Studienpreis“ der Fakultät Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik, 2014
• Dr.-Ing. Andrej Stranz,
  „Untersuchung von einkristallinem Bulk-Silizium und Silizium-Nanosäulen für die thermoelektrische generatorische Energieumwandlung“,
  Fakultät für Elektrotechnik, Informationstechnik, Physik der TU Braunschweig, 2013
• Dr.-Ing. Arti Tibrewala,
  „Piezoresistive effect in diamond-like carbon films“,
  Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der TU Braunschweig, 2006

• Jan K. Prüßing, Tim Böckendorf, Felix Kipke, Jiushuai Xu, Prabowo Puranto, John Lundsgaard Hansen, Dominique Bougeard, Erwin Peiner, and Hartmut Bracht,
  "Retarded Boron and Phosphorus Diffusion in Silicon Nano Pillars due to Stress Induced Vacancy Injection",
  J. Appl. Phys. 131 075702 (2022); https://doi.org/10.1063/5.0078006.
• Min Xu, Ziqi Zhou, Thomas Ahbe, Erwin Peiner, Uwe Brand,
  "Using a Tip Characterizer to Investigate Microprobe Silicon Tip Geometry Variation in Roughness Measurements",
  Sensors 22 (2022) 1298 (15pp); https://doi.org/10.3390/s22031298.
• Andika Pandu Nugroho, Naufal Hanif Hawari, Bagas Prakoso, Andam Deatama Refino, Nursidik Yulianto, Ferry Iskandar, Evvy Kartini, Erwin Peiner, Hutomo Suryo Wasisto, Afriyanti Sumboja,
  "Vertically aligned n-type silicon nanowire array as a free-standing anode for lithium-ion batteries",
  Nanomaterials 11 (2021) 3137 (13pp); https://doi.org/10.3390/nano11113137.
• Andam Deatama Refino, Nursidik Yulianto, Iqbal Syamsu,
  Andika Pandu Nugroho, Naufal Hanif Hawari, Alina Syring, Evvy Kartini,
  Ferry Iskandar, Tobias Voss, Afriyanti Sumboja, Erwin Peiner,
  Hutomo Suryo Wasisto,
  "Versatilely tuned vertical silicon nanowire arrays by cryogenic
  reactive ion etching as a lithium‑ion battery anode",
  Scientific Reports 11 (2021) 19779 (15pp); https://doi.org/10.1038/s41598-021-99173-4.
• Linus Teir, Tuomas Lindstedt, Thomas Widmaier, Björn Hemming, Uwe Brand, Michael Fahrbach, Erwin Peiner and Antti Lassila,
  "In-line measurement of the surface texture of rolls using long slender piezoresistive microprobes",
  Sensors 21 (2021) 5955 (14pp); https://doi.org/10.3390/s21175955.
• Wilson Ombati Nyang’au, Tamara Kahmann, Thilo Viereck, Erwin Peiner,
  "MEMS-based cantilever sensor for simultaneous measurement of mass and magnetic moment of magnetic particles",
  Chemosensors 9 (2021) 207 (19pp); https://doi.org/10.3390/chemosensors9080207.
• Andi Setiono, Michael Fahrbach, Alexander Deutschinger, Ernest J. Fantner, Christian H. Schwalb, Iqbal Syamsu, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner,
  "Performance of an Electrothermal MEMS Cantilever Resonator with Fano-Resonance Annoyance under Cigarette Smoke Exposure",
  Sensors 21 (2021) 4088 (19pp); doi: 10.3390/s21124088.
• Maik Bertke, Ina Kirsch, Erik Uhde, Erwin Peiner,
  "Ultrafine Aerosol Particle Sizer Based on Piezoresistive Microcantilever Resonators with Integrated Air-Flow Channel",
  Sensors 21 (2021) 3731 (19pp); doi: 10.3390/s21113731.
• Michael Fahrbach, Sebastian Backes, Heinrich Behle, Min, Xu, Brunero Cappella, Uwe Brand, Erwin Peiner,
  "Customized piezoresistive microprobes for combined imaging of topography and mechanical properties",
  Measurement: Sensors 15 (2021) 100042 , https://doi.org/10.1016/j.measen.2021.100042; data available.
• Min Xu, Zhi Li, Michael Fahrbach, Erwin Peiner, Uwe Brand, “Investigating the trackability of silicon microprobes in high-speed surface measurements”, Sensors 21 (2021) 1557 (13pp); doi: 10.3390/s21051557.
• Michael Fahrbach, Sebastian Friedrich, Brunero Cappella, Erwin Peiner, “Calibrating a high-speed contact-resonance profilometer”, J. Sens. Sens. Syst. 9 (2020) 179–187, https://doi.org/10.5194/jsss-9-179-2020.
• Wilson Ombati Nyang’au, Andi Setiono, Angelika Schmidt, Harald Bosse, Erwin Peiner, "Sampling and Mass Detection of a Countable Number of Microparticles Using on-Cantilever Imprinting", Sensors 20(9) (2020) 2508; https://doi.org/10.3390/s20092508.
• Jan K. Prüßing, Tim Böckendorf, Gerry Hamdana, Erwin Peiner, Hartmut Bracht, “Defect distribution in boron doped silicon nanostructures characterized by means of scanning spreading resistance microscopy”, J. Appl. Phys. 127 (2020) 055703; doi: 10.1063/1.5134558.
• Andi Setiono, Maik Bertke, Wilson Ombati Nyang’au, Jiushuai Xu, Michael Fahrbach, Ina Kirsch, Erik Uhde, Alexander Deutschinger, Ernest J. Fantner, Christian H. Schwalb, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner,  “In-plane and out-of-plane MEMS piezoresistive cantilever sensors for nanoparticle mass detection”, Sensors 20(3) (2020) 618 (18pp); https://doi.org/10.3390/s20030618.
• Maik Bertke, Jiushuai Xu, Andi Setiono, Ina Kirsch, Erik Uhde, Erwin Peiner, "Fabrication of a micro-cantilever-based aerosol detector with integrated electrostatic on-chip ultrafine particle separation and collection”, J. Micromech. Microeng. 30 (2020) 014001 (13pp); DOI: 10.1088/1361-6439/ab4e56.
• Andi Setiono, Wilson Ombati Nyang’au, Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Improvement of frequency responses of an in-plane electro-thermal cantilever sensor for real-time measurement”, J. Micromech. Microeng. 29 (2019) 124006 (12pp); doi.org/10.1088/1361-6439/ab4e29.
• Wilson Ombati Nyang’au, Andi Setiono, Maik Bertke, Harald Bosse, Erwin Peiner, “Cantilever-droplet-based sensing of magnetic particle concentrations in liquids”, Sensors 19 (2019) 4758 (18pp); doi:10.3390/s19214758.
• Zhi Li, Sai Gao, Uwe Brand, Karla Hiller, Susann Hahn, Gerry Hamdana, Erwin Peiner, Helmut Wolff, Detlef Bergmann, “Nanomechanical characterization of vertically aligned nanopillars using a MEMS-SPM nano-bending testing platform”, Sensors 19 (2019) 4529 (13pp); doi:10.3390/s19204529.
• Dennis Zillmann, David Metz, Barbara Matheis, Andreas Dietzel, Andreas Waag, Erwin Peiner, “Thermoelectric generators fabricated from large-scale produced Zr-/Hf-based half-Heusler compounds using Ag sinter bonding”, J. Electron. Mater. 48 (2019) 5363-5374; https://doi.org/10.1007/s11664-019-07366-5.
• Mariana, J. Gülink, G. Hamdana, F. Yu, K. Strempel, H. Spende, N. Yulianto, T. Granz, J. D. Prades, E. Peiner, A. Waag, H. S. Wasisto,“Vertical GaN Nanowires and Nanoscale Light-Emitting-Diode Arrays for Lighting and Sensing Applications”, ACS Applied Nano Materials 2 (2019) 4133-4142; doi: an-2019-00587v.
• Erwin Peiner und Hutomo Suryo Wasisto, "Editorial: Cantilever Sensors", Sensors 19 (2019) 2043; doi:10.3390/s19092043.
• J. Xu, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner, Invited Topical Review: “Piezoresistive Microcantilevers for Humidity Sensing”,J. Micromech. Microeng. 29 (2019) 053003 (29pp), doi.org/10.1088/1361-6439/ab0cf5.
• U. Brand, M. Xu, L. Doering, J. Langfahl-Klabes, H. Behle, S. Bütefisch, T. Ahbe, E. Peiner, T. Frank, B. Mickan, I. Kisilev, M. Hauptmannl, M. Drexel, “Long slender piezoresistive silicon microprobes for fast measurements of roughness and mechanical properties inside microholes with diameters below 100 µm”, Sensors 19 (2019) 1410; doi:10.3390/s19061410.
• J. K. Prüßing, G. Hamdana, D. Bougeard, E. Peiner, H. Bracht, “Quantitative scanning spreading resistance microscopy on n-type dopant diffusion profiles in germanium and the origin of dopant deactivation”, J. Appl. Phys. 125 (2019) 085105; https://doi.org/10.1063/1.5066617.
• J. Toledo, V. Ruiz-Díez, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner, J. L. Sánchez-Rojas, "Piezoelectric MEMS resonators for cigarette particle detection”, Micromachines 10 (2019) 145; https://doi.org/10.3390/mi10020145.
• M. Bertke, J. Xu, M. Fahrbach, A. Setiono, H. S. Wasisto, E. Peiner, “Strategy toward miniaturized, self-out-readable resonant cantilever and integrated electrostatic microchannel separator for highly sensitive airborne nanoparticle detection”, Sensors 19 (2019) 901; doi:10.3390/s19040901.
• A. Setiono, J. Xu, M. Bertke, W. O. Nyang’au, M. Fahrbach, H. S. Wasisto, E. Peiner, “Real-time frequency tracking of an electro-thermal resonant cantilever sensor with ZnO nanorods for chemical sensing”, Chemosensors 7 (2019) 2; doi:10.3390/chemosensors7010002.
• A. Setiono, M. Fahrbach, M. Bertke, J. Xu, G. Hamdana, H. S. Wasisto, E. Peiner, “Phase optimization of thermally-actuated piezoresistive resonant MEMS cantilever sensors”, J. Sens. Sens. Syst. 8 (2019) 37–48; https://doi.org/10.5194/jsss-8-37-2019.
• S. Mariana, G. Hamdana, J. Dickmann, M. Bertke, C. Michel, J. Meyer, N. Yulianto, G. Cagnoli, E. Peiner, A. Waag, M. Granata, S. Kroker, H. S. Wasisto, "Fabrication of SiO2 microcantilever arrays for mechanical loss measurements”, Materials Research Express 6 (2019) 045206; doi.org/10.1088/2053-1591/aafab7.
• M. F. Fatahilah, P. Puranto, F. Yu, J. Langfahl-Klabes, A. Felgner, Z. Li, M. Xu, F. Pohlenz, T. Granz, K. Strempel, E. Peiner, U. Brand, A. Waag, H. S. Wasisto, “Traceable Nanomechanical Metrology of GaN Micropillar Array”, Adv. Eng. Mater. 20 (2018) 1800353; DOI: 10.1002/adem. 201800353.
• G. Hamdana, P. Puranto, J. Langfahl-Klabes, Z. Li, F. Pohlenz, Min Xu, T. Granz, M. Bertke, H. S. Wasisto, U. Brand, E. Peiner, “Determination of nanomechanical properties of crystalline silicon pillars by nanoindentation”, Sens. Actuat. A Phys. 283 (2018) 65–78; doi.org/10.1016/j.sna.2018.09.035.
• M. Bertke, M. Fahrbach, G. Hamdana, J. Xu, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Contact Resonance Spectroscopy for On-The-Machine Manufactory Monitoring”, Sens. Actuat. A 279 (2018) 501–508; doi: 10.1016/j.sna.2018.06.012.
• J. Xu, M. Bertke, X. Li, H. Mu, H. Zhou, F. Yu, G. Hamdana, A. Schmidt, H. Bremers, E. Peiner, "Fabrication of ZnO Nanorods and Chitosan@ZnO Nanorods on MEMS Piezoresistive Self-Actuating Silicon Microcantilever for Humidity Sensing”, Sensors & Actuators: B. Chemical 273 (2018) 276–287; doi: 10.1016/j.snb.2018.06.017.
• D. Zillmann, A. Waag, E. Peiner, M.-H. Feyand, A. Wolyniec, "Thermoelectric and structural properties of large-scale produced Zr-/Hf-based half-Heusler compounds”, J. Electron. Mater. 47 (2018), 1546-1554; https://doi.org/10.1007/s11664-017-5917-7.
• T. Südkamp, G. Hamdana, M. Descoins, D. Mangelinck, H. S. Wasisto, E. Peiner, H. Bracht, “Self-diffusion in single crystalline silicon nanowires”, J. Appl. Phys. 123 (2018) 161515; doi: dx.doi.org/10.1063/1.4996987.

• M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, H. S. Wasisto, E. Uhde, E Peiner, "Analysis of asymmetric resonance response of thermally excited silicon micro-cantilevers for mass-sensitive nanoparticle detection", J. Micromech. Microeng. 27 (2017) 064001 (10pp); doi.org/10.1088/1361-6439/aa6b0d.

• G. Hamdana, L. Caccamo, M.  Bertke, T.  Südkamp, H. Bracht, H. S.  Wasisto, E. Peiner, "Enhanced colloidal lithography for fabrication of well-defined-area silicon nanowires", Microelectronic Engineering 179 (2017) 74-82; dx.doi.org/10.1016/j.mee.2017.04.030.

• G. Hamdana, M. Bertke, L. Doering, T. Frank, U. Brand, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Transferable micromachined piezoresistive force sensor with integrated double-meander spring system", J. Sens. Sens. Syst. 6 (2017) 121–133, doi:10.5194/jsss-6-121-2017.

• F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Bakin, H. Schumacher, E. Peiner, H. S. Wasisto, A. Waag, "GaN nanowire arrays with nonpolar sidewalls for vertically integrated field-effect transistors", Nanotechnology 28 (2017) 095206 (9pp); doi: 10.1088/1361-6528/aa57b6.

• L. Doering, U. Brand, S. Bütefisch, T. Ahbe, T. Weimann, E. Peiner, T. Frank, "High-speed microprobe for roughness measurements in high-aspect-ratio microstructures", Meas. Sci. Technol. 28 (2017) 034009 (9pp); doi:10.1088/1361-6501/28/3/034009.

• G. Hamdana, H. S. Wasisto, L. Doering, C. Yan, L. Zhou, U. Brand, E. Peiner, "Double meander spring silicon piezoresistive sensors as micro force calibration standards", Opt. Eng. 55(9), 091409 (2016), doi:10.1117/1.OE.55.9.091409, open access.

• H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Enhanced performance of pocket-sized nanoparticle exposure monitor for healthy indoor environment“, Build. Environ. 95 (2016) 13-20; doi: 10.1016/j.buildenv.2015.09.013.

• A. Stranz, A. Waag, E. Peiner, "Investigation of thermoelectric parameters of Bi₂Te₃ - TEGs assembled using pressure-assisted silver powder sintering-based joining technology”, J. Electron. Mater. 44 (2015) 2055-2060; DOI: 10.1007/s11664-015-3655-2.

• H. S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner, "Handheld personal airborne nanoparticle detector based on microelectromechanical silicon resonant cantilever", Microelectron. Eng. 145 (2015) 96–103; doi: 10.1016/j.mee.2015.03.037.
• H. S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner, "Partially integrated cantilever-based airborne nanoparticle detector for continuous carbon aerosol mass  concentration monitoring", J. Sens. Sens. Syst. 4 (2015) 111–123; doi:10.5194/jsss-4-1-2015.

Dissertation/Habilitationschrift/Buchkapitel:

• E. Peiner: Herstellung metastabiler Legierungen binärer Systeme mit positiver Bildungsenthalpie mit Hilfe der ionenstrahl-induzierten Durchmischung, Universität Bonn (1988) 
• E. Peiner: Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung, Berichte aus der Halbleitertechnik, (Shaker-Verlag, Aachen, 2000)
• E. Peiner, "Compliant Tactile Sensors for High-Aspect-Ratio Form Metrology", in "Sensors - Focus on Tactile, Force and Stress Sensors" (I-Tech Education and Publication, Vienna, 2008, invited); DOI: 10.5772/6633.

• Jiushuai Xu und Erwin Peiner, "Dimensional-Nanopatterned Piezoresistive Silicon Microcantilever for Environmental Sensing", in "Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors", Editor: Dr. Zhuoqing Yang (Springer Nature Switzerland AG, 2022), 19-47; https://link.springer.com/chapter/10.1007%2F978-3-030-79749-2_2

Beiträge in internationalen, begutachteten Zeitschriften:

• J. Meissner, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Ion Beam Mixing of selected binary systems of metals of different crystalline structures", Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B 19/20 (1987) 669-672.
• E. Peiner, K. Kopitzki, "Metastable phases formed by Ion Beam Mixing of binary metal systems with positive heats of formation", Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B 34 (1988) 173-180.
• W. Hiller, M. Buchgeister, P. Eitner, K. Kopitzki, V. Lilienthal, E. Peiner, "Ion Beam Mixing of Selected Binary Metal Systems with Large Positive Heats of Formation", Mater. Sci. Eng. A 115 (1989) 151-154.
• M. Buchgeister, W. Hiller, W. Jager, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Different Crystalline Structures of Ruthenium-rich Metastable Phases Formed by Ion Beam Mixing of the Binary Systems Au-Ru and Ag-Ru", Mater. Sci. Eng. A 115 (1989) 155-160.
• E. Peiner, A. Schlachetzki, "Anodic Dissolution during Electrochemical Carrier-Concentration Profiling of Silicon", J. Electrochem. Soc. 139 (1992) 552-557.
• K. Hansen, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Burkhard, "Anisotropy and Lateral Homogeneity of InP-Mass Transport", Jpn. J. Appl. Phys. 31 (1992) L1153-L1156. 
• E. Peiner, A. Schlachetzki, "Automatic Counting of Etch Pits in InP", J. Electron. Mater. 21 (1992) 887-892; DOI: https://doi.org/10.1007/BF02665545. 
• G.-P. Tang, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Lubnow, G. Zwinge, A. Schlachetzki, J. Hergeth, "A new maskless selective-growth process for InP on (100) Si", J. Appl. Phys. 72 (1992) 4366-4368.
• K. Hansen, E. Peiner, A. Schlachetzki, W. Mohling, H. Menniger, "Zn-doped InGaAsP (1.3 µm) contact layer for an inverted DH laser structure", J. Cryst. Growth, 125 (1992) 465-476. 
• K. Hansen, E. Peiner, G.-P. Tang, A. Schlachetzki, "A Theoretical Model of InP Mass Transport", Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1993) 234-238. 
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• Li, Zhi;  Gao, Sai;  Pohlenz, Frank;  Brand, Uwe;  Koenders, Ludger;  Peiner, Erwin, “Determination of the Mechanical Properties of Nano-Pillars Using the Nanoindentation Technique”, Nanotechnology and Precision Engineering 12 (2014) 182-188; DOI: 10.13494/j.npe.20130018.

Veröffentlichungen in Zeitschriften und Forschungsberichten:

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• J. Meissner, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Ion Beam Mixing of Selected Binary Metal Systems of Different Crystalline Structures", ibid. 140,141.
• M. Buchgeister, W. Hiller, K. Kopitzki, E. Peiner, "Ion BeamMixing of the Binary Systems Au-Ru and Au-W", ibid. 141-143.
• S. Sacré, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Stability of Au₂₄Ru₇₆ metastable phases", ibid. 143.
• E. Peiner, R. Herwig, A. Schlachetzki, "Entwicklung eines Ätzverfahrens zur Erkennung von Versetzungen in Submikronbereichen an Indiumphosphid-Kristalloberflächen", Schlussbericht zum Forschungsvertrag mit der DBP Telekom (1991)
• H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A.Schlachetzki, "Neuartige mikromechanische resonante Vibrationssensoren", Sensormagazin 1/96 (1996) 5,6.
• D. Scholz, E. Peiner, H. Fritsch, R. Mikuta, "Mikromechanische Vibrationssensoren für den Einsatz im Maschinenbau", Forschungsbericht 7/96, (Deutsche Forschungsgesellschaft für die Anwendung der Mikroelektronik e. V. (DFAM), Frankfurt/Main, 1996). 
• K. Fricke, E. Peiner, T. Iwert, R. Mikuta, "Maschinendiagnose-Sensorsystem (MDS2)", Forschungsbericht 11/98, (Deutsche Forschungsgesellschaft für die Anwendung der Mikroelektronik e. V. (DFAM), Frankfurt/Main, 1998). 
• Erwin Peiner, Lutz Doering, Vladimir Nesterov, "Tactile Probes for High Aspect Ratio Micrometrology", mstnews 02/2004 41,42. 
• Erwin Peiner, "Mikrotastsonden für die Erfassung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik", ti Sensorik 2-2006 6.
• E. Peiner, "Winzlingen auf der Spur - Nanodetektoren sollen den Umgang mit Nanopartikeln sicherer machen", GIT Labor-Fachzeitschrift 11/2010 835.
• G. Palm, J. Kähler, A. Stranz, R. Neumann, N. Heuck, A. Bakin, E. Peiner, A. Waag, "Mikro-Nano-Integration unter Druck – Drucksintern als Lotersatz", PLUS 6/2010 1376-1382.
• Julian Kähler, Andreas Waag, and Erwin Peiner, "Sensors for data logging during deep drilling", SPIE Newsroom (2011), doi: 10.1117/2.1201105.003695.
• Hutomo Suryo Wasisto, Erik Uhde, Andreas Waag, and Erwin Peiner, "Sensor monitors exposure to airborne nanoparticles", SPIE Newsroom (2011), doi: 10.1117/2.1201105.003685.

Beiträge zu internationalen, wissenschaftlichen Konferenzen:

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• E. Peiner, S. Mo, H. Iber, G.-P. Tang, A. Schlachetzki, "SEM-based characterization techniques for strongly mismatched heteroepitaxy", in: Heterostructure Epitaxy and Devices, edited by J. Novák and A. Schlachetzki, NATO ASI Series 3, Vol. 11 (Kluwer, Dordrecht, The Netherlands, 1996), 147-151.
• H.-H. Wehmann, A. Bartels, R. Klockenbrink, G.-P. Tang, E. Peiner,A. Schlachetzki, L. Malacky, "Properties of InGaAs-MSM-Photodetectors on Si", Proc. 8^th Intern.Conf. InP And Related Materials (IPRM '96), April 21-25, 1996, Schwäbisch Gmünd, (IEEE, Piscataway, NJ, 1996), 207-210.
• D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Fritsch, R. Mikuta, P.Hauptmann, "A smart resonant sensor fabricated by Si MST for online vibration control of rotating machinery", Proc. 26^th Europ. Solid State Dev. Res. Conf. (ESSDERC '96), Bologna,Italy, 9.-11. Sept. 1996, (G. Baccarani and M. Rudan, eds.),(Editions Frontières, Gif-sur-Yvette, France, 1996), 721-724.
• D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Fritsch, R. Mikuta, P.Hauptmann, "An Online Vibration-Control System for Rotating Machinery based on Smart Sensors Fabricated by Si MST", Proc. 5^th Intern. Conf. and Exhibition on Micro Electro, Opto, Mechanical Systems and Components (Micro System Technologies '96), Berlin,17.-19. Sept. 1996 (H. Reichl and A. Heuberger, eds.), (VDE-Verlag,Berlin, 1996), 157-162.
• D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, "A micromechanical vibration sensor based on the variation of power coupling between optical fibres", 2^nd Congress and Exhibition for Optical Sensor Technology, MeasuringTechniques and Electronics (OPTO '96), Leipzig, 25.-28. Sept.1996 (ACS Organisations GmbH, Wunstorf, 1996), 291-296.
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• A. S. Bakin, D. Piester, I. Behrens, H.-H. Wehmann, D. Fehly, E.Peiner, A. A. Ivanov, A. Tamsir, A. Schlachetzki, H.-J. Rösler, "Novel approach to nanometer-scale patterning of siliconsubstrates", Abstr. MRS Spring Meeting, April 24-28, San Francisco, 2000, S. 190.
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• I. Behrens, E. Peiner, K. Fricke, A. Bakin, A. Schlachetzki,"Concept of a Gyroscope in Hetero-Micromachining", Proc.10^th Europ. Heterostructure Technol. Workshop & Europ. Seminar Adv. Heterostructure Technol. and Impact on Innovative Business, Ulm, 17.-19. Sept. 2000.
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• Erwin Peiner, Holger Fritsch, Thomas Iwert, "Condition Monitoring with Axle Box Bearings Using Microelectromechanical Vibration Sensors", 12^th Micromech. Eur. Workshop (MME 2001), Cork, Ireland, Sept. 16-18, 2001, (NMRC, Cork,2001), 293-296.
• A. Bakin, I. Behrens, A. Ivanov, E. Peiner, D. Piester, H.-H.Wehmann, A. Schlachetzki, "Growth of SiC on Si(100) by LPCVD and Patterning of the Grown Layers", Intern. Conf. Silicon Carbide Rel. Mater. (ICSCRM 2001), Tsukuba Intern. Congr. Cent. (Epochal Tsukuba), Tsukuba, Japan, Oct. 28-Nov. 2, 2001.
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• L. Doering, U. Brand, E. Peiner, J. Frühauf, E. Gärtner, "Development of micro force setting standards for stylus instruments", Proc. euspen Intern. Topic Conf. 2003, Aachen, 19.-20. Mai 2003.
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• L. Doering, E. Peiner, V. Nesterov, U. Brand, "Low Noise Piezoresistive Micro Force Sensor", Proc. Nansoscale Calibration Standards and Methods: Dimensions and Related Measurements in the Micro-and Nanometer Range (NanoScale 2004), Braunschweig, Mar. 25,26 (Wiley-VCH, Weinheim, 2005), 157-170. 
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• E. Peiner, M. Oehler, S. Dreyer, C. Jooss, A. C. Mofor, A. H. El-Shaer, A. Waag, L. Doering "Piezoresistive Cantilever Magnetic Field Sensor", Sensor 2005, 12th Intern. Conf. Nürnberg, 10.-12. Mai, 2005 (AMA, Wunstorf, 2005) 213-218. 
• A. Tibrewala, E. Peiner, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje, T. Rabe, "Transport and optical pro- perties of amorphous carbon and hydrogenated amorphous carbon films", 13th Intern. Congr. Thin Films / 8th Intern. Conf. Atomic. Contr. Surf. Interf. Nanostr. (ICTF 13/ACSIN 8), Stock- holm, 19-23 June, 2005, p. 83. 
• E. Peiner, A. Tibrewala, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje, L. Doering, "Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge", 13th Intern. Conf. Solid-State Sens., Actuat. Microsyst. (Transducers'05), Seoul, June 5-9, 2005, 551-554. 
• H. Lüthje, S. Biehl, R. Bandorf, J.-H. Sick, E. Peiner, A. Tibrewala, "Preparation and characterization of multifunctional thin film sensors based on amorphous diamond-like-carbon", 13th Intern. Conf. Solid-State Sens., Actuat. Microsyst. (Transducers'05), Seoul, June 5-9, 2005, 2111-2114. 
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• M. Balke, E. Peiner, L. Doering, "Tactile probes for micro metrology", Joint Intern. IMEKO TC1+TC7 Symp., Sept. 21-24, Ilmenau, 2005, 85-88. 
• H.-H. Wehmann, B. Postels, M. Kreye, A. Che Mofor, A. Bakin, K. Aljasem, E. Peiner, R. Kling, F. Reus, C. Kirchner, M. Albrecht, H. Ahlers, D. Fuhrmann, J. Bläsing, A. Waag, "ZnO- Nanostrukturen - Herstellung und zukünftige Anwendungen", 1st Leibniz-Conf. Adv. Sci. - Nanoscience 2005, Lichtenwalde, 6.-8. Okt., 2005. 
• V. Nesterov, L. Doering, U. Brand, E. Peiner, S. Büttgenbach, "Modelling and investigation of the temperature drift of tactile piezoresistive silicon force- and deflection nanosensors", Mikrosystemtechnik-Kongress 2005, Freiburg, 10.-12.Okt., 2005, (VDE, Berlin, 2005), 81-84. 
• E. Peiner, A. Tibrewala, H. Lüthje, R. Bandorf, S. Biehl, L. Doering, "MEMS-Kraftsensoren mit integrierten Dehnungsmessstreifen aus diamantartigem Kohlenstoff", 13. ITG-/GMA Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2006, Freiburg, 13./14. März 2006, (VDE, Berlin, 2006), 85-88. 
• E. Peiner, A. Tibrewala, H. Lüthje, R. Bandorf, S. Biehl, L. Doering, "Piezoresistive diamond-like carbon strain gauges for silicon MEMS", Materials Congress 2006 - Diamond, London, April 5,6, 2006. 
• A. Tibrewala, E. Peiner, R. Bandorf, H. Lüthje, S. Biehl, L. Doering, "Properties of sputtered amorphous carbon for micro strain gauges", Materials Congress 2006 - Diamond, London, April 5,6, 2006. 
• M. Kreye, B. Postels, K. Aljasem, H.-H. Wehmann, E. Peiner, A. Waag, "Advanced Chemical Bath Deposition and Application of ZnO Nanostructures on Various Substrate Materials, 2006 MRS Spring Meeting, San Francisco, April 17-21, 2006. 
• A. Christ, V. Dyachenko, G. Isenberg, L. Doering, E. Peiner, "Cardiomyocytes: glass pipettes of calibrated stiffness can measure apparent elastic moduli", Acta Physiologica 2006, Vol. 186, Suppl. 650, PW02P-10. 
• H. Lüthje, R. Bandorf, S. Biehl, J.-H. Sick, E. Peiner, A. Tibrewala, "Investigations of the Piezoresistive Properties of Nano Structured Amorphous Carbon for Sensor Applications", Techn. Proc. of the 2006 NSTI Nanotechnology Conf. and Trade Show, Vol. 1 (Nanotech 2006) Boston, May 7-11, 2006, pp. 800-803. 
• Michael Balke, Erwin Peiner, Lutz Doering, "Cantilever structures for measuring microstructured surfaces of macro and micro components ", XVIII IMEKO World Congress - Metrology for a Sustainable Development, Rio de Janeiro, September 17-22, 2006. 
• E. Peiner, A. Tibrewala, H. Lüthje, R. Bandorf, S. Biehl, L. Doering, "Piezoresistive diamond-like carbon micro strain gauges", XVIII IMEKO World Congress - Metrology for a Sustainable Development, Rio de Janeiro, September 17-22, 2006. 
• Erwin Peiner, Lutz Doering, Uwe Brand, Andreas Christ, Gerrit Isenberg, Michal Balke, "Force calibration of micro pipettes for single-cell probing", XVIII IMEKO World Congress - Metrology for a Sustainable Development, Rio de Janeiro, September 17-22, 2006. 
• Lutz Doering, Uwe Brand, Michal Balke, Erwin Peiner, "Calibration of low-force stylus probes", XVIII IMEKO World Congress - Metrology for a Sustainable Development, Rio de Janeiro, September 17-22, 2006. 
• Erwin Peiner, Arti Tibrewala, Ralf Bandorf, Holger Lüthje, Lutz Doering, "Diamond-like Carbon for MEMS", Proc. MicroMechanics Europe 2006 (MME 06), Southampton, 3-5 Sept., 2006, pp. 137-140. 
• A. Tibrewala, E. Peiner, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje, "Longitudinal and Transversal Piezoresistive Effect in a-C:H films", Proc. MicroMechanics Europe 2006 (MME 06), Southampton, 3-5 Sept., 2006, pp.185-188. 
• R. Bandorf, H. Lüthje, S. Biehl, J.-H. Sick, E. Peiner, A. Tibrewala, "Piezoresistive Properties of Nanocomposite Amorphous Carbon Films", International Meeting on Developments in Materials, Processes and Applications of Nanotechnology MPA 2007, Poster 078, Belfast, Jan 13-15, 2007. 
• Erwin Peiner, Michael Balke, Lutz Doering, Uwe Brand, "Tactile Probes for Dimensional Metrology with Micro Components at Nano Resolution", 10th CIRP Conference on Computer Aided Tolerancing Specification and Verification for Assemblies (21.-23.03.2007, Erlangen). In: Weckenmann, A. (Hrsg.): Book of Abstracts * Berichte aus dem Lehrstuhl Qualitätsmanagement und Fertigungsmesstechnik der Universität Erlangen-Nürnberg; Band 16, Aachen: Shaker, 2007, p. 27 and CD-ROM. ISBN 978-83222-6036-1 
• Erwin Peiner, Arti Tibrewala, Ralf Bandorf, Saskia Biehl, Holger Lüthje, Lutz Doering, "Mechanical and piezoresistive properties of diamond-like carbon for MEMS", Proc. Intern. Conf. Smart Syst. Int. 2007, Paris, March 28./29., 2007 (VDE-Verlag, Berlin, 2007), pp. 257-264. 
• Erwin Peiner, Lutz Doering, Michael Balke, "Traceable metrology with micro components at nano resolution using cantilever probes", Proc. Intern. Conf. Smart Syst. Int. 2007, Paris, March 28./29., 2007 (VDE-Verlag, Berlin, 2007), pp. 577-580. 
• M. Balke, E. Peiner, L. Doering, "Tactile probing device for high aspect ratio structures", Proc. Intern. Conf. Smart Syst. Int. 2007, Paris, March 28./29., 2007 (VDE-Verlag, Berlin, 2007), pp. 419-421. 
• M. Balke, E. Peiner, L. Doering, "New micromachined sensor system for tactile measurements of high-aspect ratio microstructures", SPIE Conf. "Microtechnologies for the New Millennium 2007", Maspalomas, Gran Canaria, May 2-4, 2007, Proc. SPIE Vol. 6589, 65890J (May. 15, 2007). 
• E. Peiner, L. Doering, M. Balke, A. Christ, "Silicon cantilever sensor for micro-/nanoscale dimension and force metrology", SPIE Conf. "Microtechnologies for the New Millennium 2007", Maspalomas, Gran Canaria, May 2-4, 2007, Proc. SPIE Vol. 6589, 65890M (May, 15, 2007). 
• Arti Tibrewala, Anurak Phataralaoha, Erwin Peiner, Ralf Bandorf, Stephanus Büttgenbach, "Piezoresistive effect in DLC Films and Silicon", Techn. Proc. of the 2007 NSTI Nanotechnology Conf. and Trade Show, Vol. 3 (Nanotech 2007), Santa Clara, CA, May 20-24, pp. 17-20.
• E. Peiner, M. Balke, L. Doering, "Micro-/Nanoscale Dimension and Force Metrology Using Silicon Cantilever Probes", Proc. SENSOR Cof. 2007, 13th Intern. Conf., Nürnberg, May 22- 24, 2007, Vol. I, (AMA, Wunstorf, 2007, ISBN 978-3-9810993-1-7), A3.2, pp. 81-86. 
• E. Peiner, M. Balke, L. Doering, U. Brand, H. Bartuch, S. Völlmeke, "Fabrication and test of piezoresistive cantilever sensors for high-aspect-ratio micro metrology" Mikrosystemtechnik Kongress 2007, 15. - 17. Oktober, Dresden, 2007, (VDE-Verlag, Berlin-Offenbach, 2007), pp. 857-860. 
• Erwin Peiner, Lutz Doering, Michael Balke, "Slender Tactile Sensor for High-Aspect-Ratio Micro Metrology", Proc. IEEE Sensors 2007, Oct., 28-31, Atlanta, USA, 2007, pp.760-763. 
• Michael Balke, Erwin Peiner, Lutz Doering, "A Micromachined Sensor System with Integrated Probing Tip for Tactile Measurements of High Aspect Ratio Microstructures", Proc. Micromechanics & Microengineering Europe 2007 (MME 07), Guimaraes, 16-18 Sept., 2007 (Univ. Minho, Guimaraes, 2007), ISBN 978-972-98603-3-1, pp. 265-268. 
• E. Peiner, M. Balke, L. Doering, "Taktile Sensoren für Kontur- und Rauheitsmessungen an Mikrosystemen und -komponenten mit Nanometerauflösung", 14. GMA/ITG-Fachtagung "Sensoren und Messsysteme 2008", 11. und 12. März 2008, Ludwigsburg, VDI-Ber. 2011, S. 169-178,Best Paper Award. 
• José Luis Sánchez-Rojas, J. Hernando, J. Vázquez, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Ababneh and U. Schmid, "Nanoelectromechanical characterization of piezoelectric microcantilevers", Intern. congr. & exhib. nanobiotechnology (Nanobioeurope2008), June 09-13, 2008, Barcelona. 
• U. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid, "Dry Etching of Sputter-Deposited AlN-Thin Films for the Realization of Piezoelectric MEMS", Proc. 19th MicroMecha- nics Europe Workshop, (MME 08), September 28-30, 2008, Aachen. 
• U. Sökmen, M. Balke, A. Stranz, E. Peiner, S. Fündling, H.-H. Wehmann, A. Waag, "Optimization of ICP Deep Cryogenic Dry Etching of Silicon", Proc. 19th MicroMechanics Europe Workshop, (MME 08), September 28-30, 2008, Aachen. 
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• T. Granz, S. Mariana, G. Hamdana, F. Yu, M. F. Fatahilah, I. M. Clavero, P. Puranto, Z. Li, U. Brand, D. Prades, E. Peiner, A. Waag, H. S. Wasisto, “Nanofabrication of vertically aligned 3D GaN nanowire arrays with sub-50 nm feature sizes using nanosphere lift-off lithography”, 31^th European Conf. Solid-State Transducers (Eurosensors 2017), Paris, France, Sept., 3-6; Proceedings 1 (2017) 309; doi:10.3390/proceedings1040309.
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• T. Granz, M. Temming, J. Xu, Qomaruddin, C. Fàbrega, N. Majid, G. Lilienkamp, W. Daum, E. Peiner, J. D. Prades, A. Waag, H. S. Wasisto, “UV-LED photo-activated room temperature NO₂ sensors based on nanostructured ZnO/AlN thin films”, 32th European Conf. Solid-State Transducers (Eurosensors 2018), Granz, Österreich, Sept., 9-12; Proceedings 2018, 2, 888; doi:10.3390/proceedings2130888.
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• N. Markiewicz, O. Casals, J. Xu, M. F. Fatahilah, A. Schmidt, H. S. Wasisto, E. Peiner, A. Waag, J. D Prades, “Ultra Low Power Mass-Producible Gas Sensor based on Efficient Self-Heated GaN Nanorods”, 20^th Intern. Conf. Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2019), Berlin, 23 - 27 June 2019, DOI: 10.1109/TRANSDUCERS.2019.8808234.
• Nicolai Markiewicz, Olga Casals, Jiushuai Xu, Muhammad Fahlesa Fatahilah, Angelika Schmidt, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, Andreas Waag, Joan Daniel Prades, “Efficient Self-Heating in Gallium Nitride Nanopillars for Ultra-Low-Power Mass-Producible Gas Sensors”, Proc. 2019 IEEE International Symposium on Olfaction and Electronic Nose (ISOEN), Fukuoka, Japan, 26-29 May 2019; DOI: 10.1109/ISOEN.2019.8823455
• Maik Bertke, Jiushuai Xu, Andi Setiono, Erwin Peiner, Ina Kirsch, Erik Uhde, "Piezoresistive Microcantilever for Gravimetric Particulate Matter Monitoring”, Proc. MikroSystemTechnik Kongress 2019, 28.-30. Oktober 2019, Berlin, (VDE-Verlag, Berlin 2019); ISBN: 978-3-8007-5090-0, https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/9012771.

• Andi Setiono, Wilson Ombati Nyang’au, Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors”, J. Phys.: Conf. Ser. 1837 (2021) 012003; doi: 10.1088/1742-6596/1837/1/012003

• Prabowo Puranto, Qiang Zhang, Wilson O. Nyang’au, Jannick Langfahl-Klabes, Jan Thiesler, Mutaib Zackaria, Zhi Li, Hutomo S. Wasisto, Erwin Peiner, Uwe Brand, "Influence of eccentric nanoindentation on top surface of silicon micropillar arrays”, J. Phys.: Conf. Ser. 1837 (2021) 012008; doi: 10.1088/1742-6596/1837/1/012008

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• M. Fahrbach, W. O. Nyang’au, O. Domanov, C. H. Schwalb, M. Xu, Z. Li, C. Kuhlmann, U. Brand und E. Peiner, “Gedämpfte Silizium Mikrotaster für Hochgeschwindigkeits-Rauheitsmessungen, Damped silicon micro probes for high-speed roughness measurements”, Proc. MikroSystemTechnik Kongress 2021, 8.-10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, (VDE-Verlag, Berlin 2021); ISBN: 978-3-8007-5656-8; https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/9698292

• Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Petr Klapetek, Jan Martinek, Erwin Peiner, "Contact Resonance Imaging with Vertical Nanowire Arrays", Sensoren und Messsysteme 2022 ∙ 10. – 11.05.2022, Nürnberg, (VDE-Verlag, Berlin, Offenbach, 2022), pp. 245 - 250, ISBN 978-3-8007-5835-7 245.

Beiträge zu nationalen, wissenschaftlichen Tagungen:

• R. Mikuta, P. Hauptmann, H. Fritsch, D. Scholz, E. Peiner, A.Schlachetzki, L. Kempen, H. Neuhäuser, "Strukturenmikromechanischer Vibrationssensoren auf der Basis des Resonanzeffekts für die Anwendung im Maschinen- und Anlagenbau", Tagungsband der Fachtagung"Sensoren-Aktoren-Bussysteme" Magdeburg, 23.-24. März1995, 152-158.
• L. Kempen, H. Neuhäuser, J. Graßmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Charakterisierung beschichteter Siliziumzungen durch Messung der inneren Reibung", Hauptversammlung der Deutschen Gesellschaft für Materialkunde, Bochum, 6.-9. Juni 1995.
• H. Fritsch. R. Mikuta, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Mikromechanische resonante Vibrationssensoren - Neue Möglichkeiten für die Maschinen- und Produktzustandsdiagnostik", MIicro-Engineering '95, Stuttgart, 27.-29. September 1995.
• R. Mikuta, P. Hauptmann, H. Fritsch, D. Scholz, E. Peiner, A.Schlachetzki, "Verschleiß- und Maschinenzustandsdiagnosemittels mikromechanischer Vibrationssensoren unter Nutzung eines mechanischen Resonators", Tagungsband der 9. Kongressmesse für industrielle Messtechnik, MessComp '95, Wiesbaden, 5.-7.Sept. 1995, (Network, Hagenburg, 1995), 28-32.
• P. Hauptmann, R. Mikuta, H. Fritsch, E. Peiner, D. Scholz, A.Schlachetzki, "Vibrationssensoren auf der Basis des Resonanzeffekts für die Anwendung im Maschinen- und Anlagenbau", Tagungsband II der 2. Magdeburger Maschinenbau-Tage: Mechatronische Systeme im Maschinenbau - Quelle der Innovation, 14. u. 15. Sept.1995, 1-6.
• H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Mikromechanische resonante Vibrationssensoren für den Einsatz im Maschinen- und Anlagenbau", Innovationsmarkt SteP, Hannovermesse '96, 27. April 1996.
• D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, "Simulation und Fertigung mikromechanischer Strukturen für resonante Vibrationssensoren", Tagungsband zum 41. intern. wissenschaftl. Kolloq., (VDI/VDE Mikro- und Feinwerktechnik), Ilmenau, 23.-26. Sept. 1996, (W. Gens, ed.), (Technische Universität Ilmenau, 1996, ISSN 0943-7207) 141-146.
• R. Mikuta, H. Fritsch, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Realisierter mikromechanischer resonanter Vibrationssensor zur Maschinendiagnose", Tagungsband zum 41. intern. wissenschaftl. Kolloq., (VDI/VDE Mikro- und Feinwerktechnik), Ilmenau, 23.-26. Sept. 1996, (W. Gens, ed.), (Technische Universität Ilmenau, 1996, ISSN 0943-7207)502-506.
• K. Fricke, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Vibrationssensor mit optoelektronischer Schnittstelle", Tagungsband zur 4. SICAN-Herbsttagung "Mikroelektronik-Mikrosysteme", Hannover, 11./12. Nov., 1997, (SICAN, Hannover, 1997), 167-171.
• T. Iwert, H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Diagnosesystem auf der Basis mikromechanischer Resonatoren zur Zustandsüberwachung von Wälzlagern", Tagungsband II der 3. Magdeburger Maschinenbau-Tage "Mechatronische Systeme im Maschinenbau - Quelle der Innovation", (Univ. Magdeburg,1997), 177-184.
• R. Mikuta, T. Iwert, H. Fritsch, P. Hauptmann, L. Rauchhaupt, E. Peiner, K. Fricke, A. Schlachetzki, "Diagnosesystem zur on-line-Überwachung prozess- und maschinentypischer Körperschallspektren mit CAN-Interface", Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik, Univ. Magdeburg, 25.-27. März 1998, Tagungsband.
• R. Mikuta, E. Peiner, H. Fritsch, K. Fricke, P. Hauptmann, A.Schlachetzki, "Mikromechanischer Vibrationssensor mit sensornaher monolithisch integrierter Signalkonditionierung", 43. Intern. Kolloq., TU Ilmenau, 21.-24. Sept. 1998, Tagungsband.
• E. Peiner, M. Balke, H. Bartuch, S. Völlmeke, L. Doering, U. Brand, "Mikrotastsonden für die Erfassung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik", Cluster-Meeting "Mess- und Prüftechnik für den Test von Mikrosystemen (MSTPrüf)", Nürnberg, 31.5./1.6. 2006, Tagungsband (VDI, 2006), ISBN 978-3-89750-144-7. 
• A. Stranz, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, "NTV-Verbindung von nanostrukturiertem Silizium auf Saphir und auf Silber", 1. GMM-Workshop "Mikro-Nano-Integration", 12./13. März, 2009, Seeheim, GMM-Fachbericht 60, (VDE, Berlin, 2009). 
• Ü. Sökmen, M. Suleiman, A. Waag, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid and E. Peiner, "AlN on Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE", 248. PTB-Seminar, "Nanopartikelcharakterisierung", Braunschweig, 18.-19. Mai 2009.
• E. Peiner, Lutz Doering, "Cantilever tactile sensors for characterization of diesel injectors", Vortrag und Poster, 3. Innovation forum for Micro Technology, Villingen, 3. Feb. 2011.
• Uwe Brand, Erwin Peiner, “Robustes und hochpräzises Tastsystem für Rauheitsmessungen in Mikrobohrungen”, Fachtagung “Bohren in anspruchsvollen Dimensionen”, 11. und 12. 11. 2014, Mannheim, (Hanser, München, 2014).
• L. Doering, U. Brand, H.S. Wasisto, E. Peiner, „Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis“, Kolloquium Mikroproduktion, IKV RWTH Aachen, 16. - 17. November 2015, Aachen.
• G. Hamdana, M. Bertke, T. Südkamp, H. Bracht, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Hoch geordnete Nanodrähte hergestellt durch Self-Assembly von Nanopartikeln", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
• M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, M. Marks, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Asymmetrische Resonanzfrequenzanalyse von in-plane elektrothermischeSiliziumcantilever für Nanopartikelsensoren",Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
• J. Xu, J. Yang, W. Wu, G. Hamdana, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner, "ZnO nanorods-patterned piezoresistive Si cantilevers for humidity sensors", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
• Uwe Brand, Lutz Doering, Sai Gao, Thomas Ahbe, Sebastian Bütefisch, Zhi Li, André Felgner, Rudolf Meeß, Karla Hiller, Erwin Peiner, Thomas Frank, Stefan Reusch, "Sensors and calibration standards for precise hardness and topography measurements in micro- and nanotechnology", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
• W. Wu, H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Autarkes MEMS-Dosimeter für personenbezogenes Nanopartikel-Monitoring - Autarkic MEMS Dosimeter for Personal Nanoparticle Monitoring”, Proc. VDE-Kongress 2016, Mannheim.

Patente/Patentanmeldungen:

• C. Metz, A. Jacob, G. Oberschmidt, E. Lissel, A. Schlachetzki, H. Schröter, E. Peiner, H.-H. Wehmann, "Radarsensor und Radarantenne für ein Überwachen der Umgebung eines Kraftfahrzeuges", Deutsches Patent Nr. 199 51 123 vom 23. Oktober 1999, 13. November 2003. 
•  E. Lissel, A. Jacob, A. Schlachetzki, H.-H. Wehmann, E. Peiner, H. Schröter, G. Oberschmidt, C. Metz, "Radar sensor and radar antenna for monitoring the environment of a motor vehicle", internationale Patentanmeldung PCT/EP00/06010 am 28. Juni 2000, Veröffentlichung unter WO 01/09975 A2 am 8. Februar 2001. 
• ibid., gesonderte Anmeldung in den USA unter U.S. Serial No. 10/048,425 am 20. Juni 2000, Erteilung unter US 6,686,867 B1 am 3. Februar 2004. 
• E. Peiner, I. Behrens, L. Doering, "Vorrichtung zur Bestimmung topologischer und elektrischer Eigenschaften eines Probenkörpers", Deutsches Patent Nr. 103 00 988 vom 14. Januar 2003, 24. März 2005. 
• Lutz Doering, Erwin Peiner, Ingo Behrens, Björn Herold, "Scansonden-Mikroskop zur Bestimmung topologischer oder elektrischer Eigenschaften eines Probenkörpers sowie Verfahren zur Herstellung eines Sondenkörpers", Deutsches Patent Nr. 103 26 379 vom 12. Juni 2003, 5. April 2007.
• L. Doering, V. Nesterov, E. Peiner, "Mikrokraftsensor", Deutsches Patent Nr. 10 2010 012 701 vom 24. 3. 2010, erteilt am 17. 10. 2013.
• J. Kähler, E. Peiner, A. Stranz, A. Waag, "High temperature piezoresistive strain gauges made of Silicon-On-Insulator", US 2013/0068008 A1, WO 2012/141843 A3.
• Julian Kähler, Thomas Kruspe, Sebastian Jung, Gerhard Palm, Andrej Stranz, Andreas Waag, Erwin Peiner, "Method and Apparatus for Joining Members for Downhole and High Temperature Applications", US 2012/0292009 A1; WO 2012/161987 A1; GB000002511394A; NO000020131653A.
• Julian Kähler, Thomas Kruspe, Sebastian Jung, Andrej Stranz, Andreas Waag, Erwin Peiner, "Thermoelectric devices using sintered bonding", US 2012/0291454 A1; WO 2012/116107 A1; EP 2 810 310 A1.
• Stephan Merzsch, Gerhard Palm, Erwin Peiner, Andreas Waag, Frederik Steib,“Verfahren zur Herstellung eines oberflächenstrukturierten Gegenstands und Verwendung einer adhäsiven Folie”, DE 10 2013 111 372 B4.
• Erwin Peiner, Stephan Merzsch, Hutomo Suryo Wasisto, Andreas Waag, Erik Uhde, "Gerät und Verfahren zur Messung einer Aerosolkonzentration in einem gasförmigen Medium", DE 10 2014 007 977 A1; EP 2 952 875 A1.
• Erwin Peiner, Andreas Waag, Gerhard Palm, Ingrid Schall, Heinz Schall, "Verfahren zur Herstellung einer kristallinen Siliziumschicht und siliziumbasiertes Halbleiterbauelement”, DE 10 2016 117 182 A1; WO2018/050565 A1.

Vorträge/Lectures:

• E. Peiner, "Mikromechanischer Vibrationssensor für die Maschinenüberwachung", Vortrag im Rahmen des Graduiertenkollegseminars über nanoelektronische, mikromechanische und mikrooptische Systeme der Ruhr-Universität Bochum am 20. Januar1998, (eingeladen).
• E. Peiner, "Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung", Vortrag vor der Habilitationskommission, Gemeinsame Fakultät für Maschinenbau und Elektrotechnik der TU Braunschweig, am 7. Juni 1999.
• E. Peiner, "Nanostrukturen in Halbleitern",Wissenschaftlicher Vortrag vor der Gemeinsamen Fakultät für Maschinenbau und Elektrotechnik der TU Braunschweig im Rahmen des Habilitationsverfahrens am 7. Februar 2000.
• E. Peiner, "Heteromikromechanik auf Silizium", Vortrag im Rahmen des Graduiertenkollegseminars über Laser- und Teilchenspektroskopie der Universität Kaiserslautern am 9. Juni 2000, (eingeladen).
• E. Peiner, "Sensorik mit Halbleitern", Antrittsvorlesungan der TU Braunschweig am 30. Juni 2000.
• E. Peiner, "Hetero-micromachining (HMM) - a novel technology", Vortragim Rahmen des Workshops "Entwicklungstendenzen in der Sensor- und Mikrosystemtechnik", Fa. µ-Sen Mikrosystemtechnik GmbH, TU Ilmenau Fachgebiet Mikrosystemtechnik, Saale-Net GmbH, 10.Juli 2000, (eingeladen).
• E. Peiner, "Vibrationssensoren mit faseroptischer Auslesung für die Maschinenüberwachung", Workshop "OptischeTechnologien" im Rahmen der Veranstaltungsreihe zur"Mikrosystemtechnik in Niedersachsen", Göttingen, 20.September 2000.
• E. Peiner, "Mikromechanische Halbleiter-Sensoren",Vortrag bei der European Aeronautic Defense and Space Company (EADS) Airbus am 29. September 2000, (eingeladen).
• E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", Zweites Fachforum "Mechatronik - Funktions- und kosten-optimierte Systemlösungen", Regensburg, 21./22. Nov. 2001, (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2001), 137-158 (eingeladen). 
• E. Peiner "Halbleitersensorik für die Maschinenüberwachung", Kolloquium des Fachbereichs Elektrotechnik und Informationstechnik der Universität Kaiserslautern, Kaiserslautern, 14. Feb. 2002, (eingeladen). 
• E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", Drittes Fachforum des OTTI Technik Kollegs "Mechatronik - Funktions- und kostenoptimierte Systemlösungen", Würzburg, 13./14. Nov. 2002 (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2002) (eingeladen). 
• E. Peiner, "Professoren-Praktikum bei VW", 5. Treffen des Industrieberaterkreises der gemeinsamen Fakultät Maschinenbau und Elektrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Wolfsburg, 30. Okt. 2002, (eingeladen). 
• E. Peiner, "Tastsonden für die Mikrometrologie", Technische Universität Ilmenau, 31. Feb. 2004, (eingeladen). 
• E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", OTTI-Profiforum "Mechatronik - Funktions- und kostenoptimierte Systemlösungen", Regensburg, 2./3. Feb. 2004 (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2004) (eingeladen). 
• E. Peiner, "Tastsonden für die Mikro- und Nanomesstechnik, Univ. Ulm, Abt. Halbleiterphysik, 27. Apr. 2004 (eingeladen). 
• E. Peiner, "Mikromechanische Kragbalkensensoren", Technische Universität Bergakademie Freiberg, 22. April 2005, (eingeladen). 
• E. Peiner, "Cantileverbauelemente für die Mikro-/Nanomesstechnik", Universität Dortmund, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, 3. Oktober 2006 (eingeladen). 
• E. Peiner, "Neue Technologien zur Erzeugung von Pyramidenstrukturen", Workshop "Fertigungstechnologien für Mikrosysteme", Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen, TU Braunschweig, 23. Okt. 2006 (eingeladen). 
• E. Peiner, "Nanopartikelanalytik", 1. JOMC Statusseminar und 231. Helmholtzseminar, PTB, Braunschweig, 26. April 2007 (eingeladen).
• E. Peiner, "Cantileversensoren für die Mikro-/Nanomesstechnik", Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, Univ. d. Saarlandes, Saarbrücken, 14. Feb. 2008 (eingeladen).
• E. Peiner, "Piezoresistive Tastsensoren für die Fertigungsmesstechnik", Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, 9. Jan. 2009 (eingeladen). 
• E. Peiner, "Silizium-Tastsensoren für die Fertigungsmesstechnik", Fakultät für Maschinenbau der Leibniz Universität Hannover, 15. Jan. 2009 (eingeladen). 
• E. Peiner, Lectures "Applications of MEMS Sensors" und "Basics of Electronic Devices, Circuits and Sensors" incl. Tutorial für die DAAD-Sommerschule "School on Fundamentals and Materials for Novel Sensors", 13.-24. Juli 2009, Rio de Janeiro (eingeladen).
• E. Peiner, "Tastsensoren für die Erfassung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik", Mikrosystemtechnik-Kolloquium, Technische Universität Hamburg-Harburg, 11. Nov. 2009 (eingeladen).
• E. Peiner, "Cantilever Sensors for Micro-/Nanometrology", GMe Forum 2012, Society for Micro- and Nanoelectronics, c/o Inst. of Sensors and Actuator Systems, Vienna Univ. of Technol., March 29 and 30, 2012 (invited).
• E. Peiner, "Micro-/Nanostructured Silicon for Transducers", Kolloquium über aktuelle Fragen der Materialphysik, Inst. f. Materialphysik, Univ. Münster, 13. Nov. 2012 (eingeladen).
• E. Peiner, "Chipmontage mit Drucksintertechnik/Die Attach using Pressure-Assisted Sintering for High-Temperature Applications", Vortrag im Rahmen der Eröffnung des neuen Standorts der Fa. Elsold GmbH & Co. KG in Ilsenburg, 27. Juni 2013 (eingeladen).
• E. Peiner, "Piezoresistive microcantilevers for industrial micro/nanoscale sensing applications", Keynote Lecture auf dem 7th Intern. Symp. Precision Mechanical Measurements (ISPMM2015), August 7-12, 2015, Xia’men, Fujian, China (eingeladen).
• H. S. Wasisto, W. Wu, E. Uhde, E. Peiner, "MEMS Sensor for Personal Nanoparticle Monitoring", Lecture on 7^th Forum on New Materials (CIMTEC 2016), Symp. M, June 5th - 9th, 2016, Perugia, Italy (eingeladen).
• M. Bertke, J. Xu, H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Resonant MEMS Sensors for Personal Air Quality Monitoring”, Vortrag in Session "MEMS Sensoren", SENSOR-Kongress 2017, 30. Mai – 01. Juni, Nürnberg (eingeladen).
• E. Peiner, “Vertical semiconductor nanowire arrays: from thermoelectric generator to multi sensor platform”, Keynote Lecture on 4^th International Symposium on Frontier Applied Physics (ISFAP 2018), ICE BSD, 1-2 November 2018, Tangerang, Banten, Indonesia (eingeladen).
• M. Fahrbach, J. Xu, B. Bodermann, Z. Li, U. Brand, J. K. Prüßing, H. Bracht, E. Peiner, “Semiconductor Nanowire Arrays for Energy Harvesting – Fabrication and Characterization”, SOTA Lecture on euspen Special Interest Group (SIG) meeting: Structured & Freeform Surfaces, PTB, Germany, 6-8 October 2020 (eingeladen).
• Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Andam Deatama Refino, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Nanowire arrays for energy harvesting and storage”, Physikalisches Kolloquium Sommersemester 2022, TU Kaiserslautern, 25. April 2022 (eingeladen).
• M. Fahrbach, J. Xu, E. Peiner, "MEMS Cantilever Sensors", Lecture on 9^th Forum on New Materials (CIMTEC 2022), Symp. FC, Session FC-1 "Physical MEMS/NEMS; MOEMS/NOEMS", June 27th, 2022, Perugia, Italy (eingeladen).

Habilitation:

• Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung, (Shaker-Verlag, Aachen, 2000)
• Wissenschaftlicher Vortrag: Nanostrukturen in Halbleitern, TU Braunschweig (7. 2. 2000)
• Antrittsvorlesung: Sensorik mit Halbleitern, TU Braunschweig (30. 6. 2000)

Dissertation:

• Herstellung metastabiler Legierungen binärer Systeme mit positiver Bildungsenthalpie mit Hilfe der ionenstrahl-induzierten Durchmischung, Universität Bonn (1988) 

Diplomarbeit:

• Ionenstrahl-induzierte Durchmischungsexperimente an den Systemen Al-Os und Al-Au unter Verwendung einer neu errichteten Ultrahochvakuum-Aufdampfanlage, Institut für Strahlen- und Kernphysik, Universität Bonn (1985)

1960         geb. in Bad Münstereifel, Rheinland

Schulausbildung:

1966-70   Katholische Volksschule, Antweiler, Kreis Euskirchen, Rheinland
1970-79   Abitur, Städt. Emil-Fischer-Gymnasium Euskirchen

Wehrdienst:

1979-80   Pionier-Batallion 610, Lübeck

Akademische Laufbahn:

1980-82    Vordiplom Physik/Mathematik, Rhein. Friedrich-Wilhelms-Univ. Bonn
1982-85    Diplom Physik, Universität Bonn, Wahlpflichtfach: Informatik

1985-88    Promotion Dr. rer. nat., Univ. Bonn bei Prof. Dr. Konrad Kopitzki
1986-88    Graduierten-Stipendium Land Nordrhein-Westfalen
                   Neuartige Legierungen durch Ionenstrahlmischen
                   Nebenfach: Theoretische Chemie

1989-2000  Habilitation, Halbleitertechnik, Technische Universität Braunschweig
                     Siliziumsensoren für die Maschinenüberwachung

seit 2015     außerplanmäßiger Professor

Berufliche Tätigkeiten:

1985-88   Wiss. Hilfskr./Angest., Univ. Bonn, Inst. f. Strahlen- und Kernphysik

seit 1989 Gruppenleiter, Akad. Dir. (seit 2008), TU Braunschweig
                 Halbleitersensorik/Mikrosystemtechnik 

1992        Forschungsaufenthalt: Inst. f. Halbleiterphysik, Frankfurt (Oder)
                 Halbleitermesstechnik            

2002        Industrietätigkeit: Volkswagen AG, Wolfsburg, Elektronik-Forschung
                 Zylinderdrucksensorik  

Mitarbeit in Gremien:

seit 2008  ITG-GMM-Fachausschuss 4.7/Programmaussch. des Workshops
                  Mikro-Nano-Integration

2009-17   Programmausschuss der SPIE-Konferenz
                  Smart Sensors, Actuators and MEMS
2015-17   Co-Chair
2017         Co-Editor SPIE Proc. 10246: Smart Sens., Actuators, and MEMS VIII

2011-16   Kuratorium des St. Jakobushauses Goslar,
                 Akademie der Diözese Hildesheim

2018        Gast-Herausgeber (mit H. S. Wasisto) des Sonderbands
                 Cantilever Sensor in Sensors (mdpi)
2021        Gast-Herausgeber (mit U. Brand) des Sonderbands in Sensors (mdpi)
                 Cantilever Sensors for Industrial Applications
2022        Gast-Herausgeber (mit U. Brand) des Sonderbands in Sensors (mdpi)
                 Cantilever Sensors for Industrial Applications II

seit 2019   Editorial Board von Sensors (mdpi)
seit 2020   Editorial Board von Micromachines (mdpi)