TU Braunschweig, Institut für Halbleitertechnik / LENA
Langer Kamp 6a (Raum 211)
38106 Braunschweig
Tel.: 0531 391-65332
Fax: 0531 391-5844
e.peiner(at)tu-braunschweig.de
Scopus Author ID: 7003588121 Google Scholar
Arbeitsgebiete | Piezoresistive MEMS-Cantileversensoren, Taktile Mikrosonden für die Oberflächenmesstechnik (Form, Rauigkeit, Viskoelastizität), MEMS-Resonatoren für die Messung von Ultrafeinstaub und Gasen, Nanodraht-Arrays für Energy Harvesting |
---|---|
Lehre | Grundlagen der Elektronik (Ü), Halbleitersensoren - Grundlagen und Anwendungen (V), Halbleitermesstechnik (V), Aufbau- und Verbindungstechnik in der Elektronik (V) |
Geförderte Forschungsprojekte:
Promotionen:
M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, H. S. Wasisto, E. Uhde, E Peiner, "Analysis of asymmetric resonance response of thermally excited silicon micro-cantilevers for mass-sensitive nanoparticle detection", J. Micromech. Microeng. 27 (2017) 064001 (10pp); doi.org/10.1088/1361-6439/aa6b0d.
G. Hamdana, L. Caccamo, M. Bertke, T. Südkamp, H. Bracht, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Enhanced colloidal lithography for fabrication of well-defined-area silicon nanowires", Microelectronic Engineering 179 (2017) 74-82; dx.doi.org/10.1016/j.mee.2017.04.030.
G. Hamdana, M. Bertke, L. Doering, T. Frank, U. Brand, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Transferable micromachined piezoresistive force sensor with integrated double-meander spring system", J. Sens. Sens. Syst. 6 (2017) 121–133, doi:10.5194/jsss-6-121-2017.
F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Bakin, H. Schumacher, E. Peiner, H. S. Wasisto, A. Waag, "GaN nanowire arrays with nonpolar sidewalls for vertically integrated field-effect transistors", Nanotechnology 28 (2017) 095206 (9pp); doi: 10.1088/1361-6528/aa57b6.
L. Doering, U. Brand, S. Bütefisch, T. Ahbe, T. Weimann, E. Peiner, T. Frank, "High-speed microprobe for roughness measurements in high-aspect-ratio microstructures", Meas. Sci. Technol. 28 (2017) 034009 (9pp); doi:10.1088/1361-6501/28/3/034009.
G. Hamdana, H. S. Wasisto, L. Doering, C. Yan, L. Zhou, U. Brand, E. Peiner, "Double meander spring silicon piezoresistive sensors as micro force calibration standards", Opt. Eng. 55(9), 091409 (2016), doi:10.1117/1.OE.55.9.091409, open access.
H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Enhanced performance of pocket-sized nanoparticle exposure monitor for healthy indoor environment“, Build. Environ. 95 (2016) 13-20; doi: 10.1016/j.buildenv.2015.09.013.
A. Stranz, A. Waag, E. Peiner, "Investigation of thermoelectric parameters of Bi2Te3 - TEGs assembled using pressure-assisted silver powder sintering-based joining technology”, J. Electron. Mater. 44 (2015) 2055-2060; DOI: 10.1007/s11664-015-3655-2.
Dissertation/Habilitationschrift/Buchkapitel:
Jiushuai Xu und Erwin Peiner, "Dimensional-Nanopatterned Piezoresistive Silicon Microcantilever for Environmental Sensing", in "Advanced MEMS/NEMS Fabrication and Sensors", Editor: Dr. Zhuoqing Yang (Springer Nature Switzerland AG, 2022), 19-47; https://link.springer.com/chapter/10.1007%2F978-3-030-79749-2_2
Beiträge in internationalen, begutachteten Zeitschriften:
Veröffentlichungen in Zeitschriften und Forschungsberichten:
Beiträge zu internationalen, wissenschaftlichen Konferenzen:
Andi Setiono, Wilson Ombati Nyang’au, Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Maik Bertke, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, “Enhancement of unsteady frequency responses of electro-thermal resonance MEMS cantilever sensors”, J. Phys.: Conf. Ser. 1837 (2021) 012003; doi: 10.1088/1742-6596/1837/1/012003
Prabowo Puranto, Qiang Zhang, Wilson O. Nyang’au, Jannick Langfahl-Klabes, Jan Thiesler, Mutaib Zackaria, Zhi Li, Hutomo S. Wasisto, Erwin Peiner, Uwe Brand, "Influence of eccentric nanoindentation on top surface of silicon micropillar arrays”, J. Phys.: Conf. Ser. 1837 (2021) 012008; doi: 10.1088/1742-6596/1837/1/012008
Jiushuai Xu and Erwin Peiner, "Micromachined Silicon Cantilever Resonator-Based Humidity Sensors for Multifunctional Applications”, The 37th IEEE Intern. Conf. Micro Electro Mechanical Systems (MEMS 2021), 25-29 January, DOI: 10.1109/MEMS51782.2021.9375323.
M. Fahrbach, M. Xu, U. Brand und E. Peiner, “Self-excited Contact Resonance Operation of a Tactile Piezoresistive Cantilever Microprobe with Diamond Tip”, SMSI 2021 Conference – Sensor and Measurement Science International, pp. 73 – 74; DOI 10.5162/SMSI2021/A5.4; https://www.ama-science.org/proceedings/details/3948.
M. Fahrbach, W. O. Nyang’au, O. Domanov, C. H. Schwalb, M. Xu, Z. Li, C. Kuhlmann, U. Brand und E. Peiner, “Gedämpfte Silizium Mikrotaster für Hochgeschwindigkeits-Rauheitsmessungen, Damped silicon micro probes for high-speed roughness measurements”, Proc. MikroSystemTechnik Kongress 2021, 8.-10. November 2021, Stuttgart-Ludwigsburg, (VDE-Verlag, Berlin 2021); ISBN: 978-3-8007-5656-8; https://ieeexplore.ieee.org/abstract/document/9698292
Michael Fahrbach, Jiushuai Xu, Petr Klapetek, Jan Martinek, Erwin Peiner, "Contact Resonance Imaging with Vertical Nanowire Arrays", Sensoren und Messsysteme 2022 ∙ 10. – 11.05.2022, Nürnberg, (VDE-Verlag, Berlin, Offenbach, 2022), pp. 245 - 250, ISBN 978-3-8007-5835-7 245.
Beiträge zu nationalen, wissenschaftlichen Tagungen:
Patente/Patentanmeldungen:
Vorträge/Lectures:
Habilitation:
Dissertation:
Diplomarbeit:
1960 geb. in Bad Münstereifel, Rheinland
Schulausbildung:
1966-70 Katholische Volksschule, Antweiler, Kreis Euskirchen, Rheinland
1970-79 Abitur, Städt. Emil-Fischer-Gymnasium Euskirchen
Wehrdienst:
1979-80 Pionier-Batallion 610, Lübeck
Akademische Laufbahn:
1980-82 Vordiplom Physik/Mathematik, Rhein. Friedrich-Wilhelms-Univ. Bonn
1982-85 Diplom Physik, Universität Bonn, Wahlpflichtfach: Informatik
1985-88 Promotion Dr. rer. nat., Univ. Bonn bei Prof. Dr. Konrad Kopitzki
1986-88 Graduierten-Stipendium Land Nordrhein-Westfalen
Neuartige Legierungen durch Ionenstrahlmischen
Nebenfach: Theoretische Chemie
1989-2000 Habilitation, Halbleitertechnik, Technische Universität Braunschweig
Siliziumsensoren für die Maschinenüberwachung
seit 2015 außerplanmäßiger Professor
Berufliche Tätigkeiten:
1985-88 Wiss. Hilfskr./Angest., Univ. Bonn, Inst. f. Strahlen- und Kernphysik
seit 1989 Gruppenleiter, Akad. Dir. (seit 2008), TU Braunschweig
Halbleitersensorik/Mikrosystemtechnik
1992 Forschungsaufenthalt: Inst. f. Halbleiterphysik, Frankfurt (Oder)
Halbleitermesstechnik
2002 Industrietätigkeit: Volkswagen AG, Wolfsburg, Elektronik-Forschung
Zylinderdrucksensorik
Mitarbeit in Gremien:
seit 2008 ITG-GMM-Fachausschuss 4.7/Programmaussch. des Workshops
Mikro-Nano-Integration
2009-17 Programmausschuss der SPIE-Konferenz
Smart Sensors, Actuators and MEMS
2015-17 Co-Chair
2017 Co-Editor SPIE Proc. 10246: Smart Sens., Actuators, and MEMS VIII
2011-16 Kuratorium des St. Jakobushauses Goslar,
Akademie der Diözese Hildesheim
2018 Gast-Herausgeber (mit H. S. Wasisto) des Sonderbands
Cantilever Sensor in Sensors (mdpi)
2021 Gast-Herausgeber (mit U. Brand) des Sonderbands in Sensors (mdpi)
Cantilever Sensors for Industrial Applications
2022 Gast-Herausgeber (mit U. Brand) des Sonderbands in Sensors (mdpi)
Cantilever Sensors for Industrial Applications II
seit 2019 Editorial Board von Sensors (mdpi)
seit 2020 Editorial Board von Micromachines (mdpi)