TU BRAUNSCHWEIG

OptoSense

 

Über uns

 

Willkommen auf der Website der Nachwuchsforschergruppe „Optoelektromechanische integrierte Nanosysteme für Sensorik (OptoSense)“ von Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto im Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Braunschweig, Deutschland. Die OptoSense Gruppe ist außerdem eine Abteilung des Instituts für Halbleitertechnik (IHT) an der Technischen Universität Braunschweig (TU Braunschweig).

Die Forschung von OptoSense beschäftigt sich mit dem Design, der Herstellung und Charakterisierung verschiedener Nano-Bauelemente und integrierter Nanosysteme:

  • Nano-opto-elektro-mechanische Systeme (NOEMS)
  • Biochemische Sensoren für Gesundheits- und Umwelt-Messungen (e.g., tragbare Nanopartikel-Sensoren, kabellose Gassensor-Systeme und lab-on-chip für die kontinuierliche in-situ Messung von Biofilmen)
  • Nano Leuchtdioden (nanoLEDs) hochauflösende Mikroskopie
  • Nanoelektronische Bauelemente (e.g., vertikale Nano-Feldeffekttransistoren (nanoFETs) und Hochfrequenz Nano-Bauelemente)
  • Nanogeneratoren
  • Nanometrologische Messstandards (e.g., Strom, Photonen und Kraft Nanostandards)

 

Um die Qualität der integrierten Nanostruktur-Bauelemente zu untersuchen charakterisieren die Mitglieder der OptoSense Gruppe die hergestellten 3D GaN Nanostrukturen mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM).

 

Forschung

 

Die OptoSense Gruppe beschäftigt sich mit mehreren spannenden Forschungsprojekten im Bereich Nano-Bauelemente und Integrierte Nanosysteme. Im Folgenden wird ein Überblick über die Forschungsschwerpunkte sowie der zugehörigen Publikationen gegeben.

 

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Integrierte vertikale 3D GaN Nanostrukturen für Leistungselektronik und Gassensorik

Kollaborationen

Prof. Dr. Andreas Waag (TU Braunschweig), Prof. Dr. Bernd Witzigmann (University of Kassel), Dir. u. Prof. PD Dr. Hans Werner Schumacher (PTB), Prof. Dr. Joan Daniel Prades (University of Barcelona), Prof. Dr. Winfried Daum (TU Clausthal), Dr. Leonhard Mayrhofer, Prof. Dr. Michael Moseler (Fraunhofer IWM, University of Freiburg)

Beschreibung des Forschungsvorhabens

Aufgrund der Vielzahl potentieller Anwendungen haben sich GaN-basierte Nanosäulen (NWs) sowie ähnliche 3D GaN Nanostrukturen mit hohem Aspekt-Verhältnis zu einem sehr aktiven Forschungsbereich innerhalb der Halbleitertechnik entwickelt. Beispielsweise werden Leuchtdioden (LEDs) aus GaN-basierten Kern-Hülle NW als potentielle Kandidaten für eine zukünftige Lichttechnik angesehen. Darüber hinaus stellen Felder regelmäßig angeordneter GaN Nanosäulen aufgrund ihrer zahlreichen Vorteile gegenüber der herkömmlichen planaren Anordnung (z.B. große Oberfläche an den Seitenwänden mit unpolarer Kristallorientierung, potentiell defektfreies Material hoher Qualität, Möglichkeit des Wachstums auf Fremdsubstraten mit geringerer Beeinträchtigung durch Verspannung) eine vielversprechende Plattform für vertikale Leistungselektronik und Gassensoren dar.

Die konventionelle Methode zur Herstellung NW-basierter Feldeffekttransistoren (FETs) oder Gassensoren erfolgt durch Prozessierung „geernteter“ Nanosäulen, die zunächst von ihrem Wachstumssubstrat entfernt und auf ein Trägersubstrat transferiert werden, wo anschließend die weitere Verarbeitung in planarer Anordnung mit Elektronenstrahllithographie (EBL) stattfindet.

Wir führen die gesamte Prozessierung stattdessen direkt auf dem ursprünglichen Wafer durch, wodurch sich das Verfahren deutlich besser für eine potentielle industrielle Produktion eignet. Die vertikale Architektur für Nano-FETs und Sensoren ermöglicht die massive Parallelisierung sehr vieler NW auf großflächigen Substraten sowie höhere Stromdichte bei FETs im Vergleich zur planaren Geometrie.

Mit der guten Kontrolle von Größe, Position und Oberflächenfunktionalisierung der vertikal angeordneten Nanostrukturen ist ein wichtiger Schritt in Richtung realer industrieller Anwendung erreicht.

Bei unseren Nano-FETs haben wir die Skalierbarkeit des Stroms durch Parallelisierung mehrerer NW gezeigt. Durch Nutzung der unpolaren Seitenwände (a-Ebene) konnten Transistoren vom Anreicherungstyp (enhancement-mode) realisiert werden, die für sicheres Schalten bevorzugt werden. Es wird außerdem kein hochohmiges GaN:Fe benötigt, welches in planaren GaN High-Electron-Mobility Transistoren (HEMT) zu nachteiligen Effekten wie Current Collapse führt. Im Bereich der Sensorik haben wir die Strategie für eine neuartige verbrauchsarme Sensorplattform demonstriert, die höchstgradig selektiv auf NO2 Gas reagiert. Zur Unterstützung des Sensorik Konzepts wird eine hybride Kombination organischer und anorganischer Nanostrukturen verwendet. Simulationen dienen dem genaueren Verständnis des Ladungsaustausches auf der NW-Oberfläche. Zahlreiche Methoden sowohl mit top-down als auch mit bottom-up Ansatz werden untersucht, um eine effiziente Prozedur zur Herstellung vertikaler 3D GaN Nanostrukturen mit präziser Kontrolle zu etablieren, die als multifunktionale Plattform für Leistungselektronik und Gas Sensorik verwendet werden kann.

Zugehörige Publikationen

  • F. Yu, D. Rümmler, J. Hartmann, L. Caccamo, T. Schimpke, M. Strassburg, A.E. Gad, A. Bakin, H.-H. Wehmann, B. Witzigmann, H.S. Wasisto, A. Waag (2016) Vertical architecture for enhancement mode power transistor based on GaN nanowires. Appl. Phys. Lett. 108, 213503.
  • F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Bakin, H.W. Schumacher, E. Peiner, H.S. Wasisto, A. Waag (2017) GaN nanowire arrays with nonpolar sidewalls for vertically integrated field-effect transistors. Nanotechnology 28(9), 095206 (9pp).

 

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Hybride organisch/anorganische Halbleiter-Nanosensoren für biochemische Anwendungen

Kollaborationen

Prof. Dr. Andreas Waag, Prof. Dr. Henning Menzel (TU Braunschweig), Prof. Dr. Joan Daniel Prades (University of Barcelona), Prof. Dr. Winfried Daum (TU Clausthal), Dr. Leonhard Mayrhofer, Prof. Dr. Michael Moseler (Fraunhofer IWM, University of Freiburg)

Beschreibung des Forschungsvorhabens

Anorganische leitfähige Gassensoren haben Mühe Einschränkungen bezüglich hoher Leistungsaufnahme und schlechter Selektivität zu überwinden. Hier werden die jüngsten Fortschritte bei der Entwicklung von selbstbetriebenen Gassensoren mit abstimmbarer Selektivität vorgestellt. Alternative allgemeine Ansätze zur Stromversorgung von Gassensoren wurden durch eine passende Integration komplementärer Funktionalitäten (nämlich Stromversorgung und Sensorik) in einer einzigartigen Heterostruktur realisiert. Diese mittels Sonnenlicht angetriebenen Gassensoren, die bei Raumtemperatur ohne zusätzliche externe Stromquellen arbeiten, werden vergleichend diskutiert. Der TYP-1-Gassensor, der auf der Integration von reinen anorganischen Grenzflächen (z.B. CdS / n-ZnO / p-Si) basiert, ist in der Lage, eine selbsttragende Sensorantwort zu liefern, während er eine nichtselektive Wechselwirkung mit oxidierenden und reduzierenden Gasen zeigt. Die strukturellen und die optischen Verdienste des TYP-1-Sensors werden untersucht, was einen Einblick in die Rolle der Lichtaktivierung bei der Modulation der selbstbetriebenen Sensorantwort gibt. Im TYP-2-Sensor wird die Selektivität von anorganischen Materialien durch Oberflächenfunktionalisierung mit selbstorganisierten organischen Monolagen (SAMs) festgelegt. Solche hybriden Grenzflächen (z.B. SAMs / ZnO / p-Si) haben spezifische Oberflächenwechselwirkungen mit den Zielgasen im Gegensatz zu den unspezifischen Oxidations-Reduktions-Wechselwirkungen, die den Sensormechanismus einfacher anorganischer Sensoren regeln. Die theoretische Modellierung mittels Dichtefunktionaltheorie (DFT) wurde verwendet, um das Sensorverhalten von anorganisch / organischen / Gas-Grenzflächen zu simulieren, was zeigt, dass die Ausrichtung von organischen / gasgrenzenden molekularen Orbitalen in Bezug auf die anorganische Fermi-Ebene der Schlüsselfaktor für die Abstimmung der Selektivität ist. Diese Plattformen eröffnen neue Wege für die Entwicklung fortschrittlicher energieneutraler Gasmessgeräte und -konzepte. In der aktuellen OptoSense-Forschung werden die Gas-Nanosensor-Plattformen hauptsächlich auf der Basis von vertikalen 3D-GaN-Nanostrukturen (d.h. GaN-Nanodrähte und Nanofins) entwickelt.

Zugehörige Publikation

  • A. Gad, M.W.G. Hoffmann, O. Casals, L. Mayrhofer, C. Fàbrega, L. Caccamo, F. Hernández-Ramírez, M.S. Mohajerani, M. Moseler, H. Shen, A. Waag, J.D. Prades (2016) Integrated strategy toward self-powering and selectivity tuning of semiconductor gas sensors. ACS Sens. 1(10), 1256–1264.

 

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Nano-optoelektronische Plattform zur in-situ Diagnose von elektrochemisch aktiven Biofilmen

Kollaborationen

Prof. Dr. Andreas Waag, Prof. Dr. Uwe Schröder (TU Braunschweig)

Beschreibung des Forschungsvorhabens

GaN-basierte Leuchtdioden (LEDs) sind aufgrund ihrer Fähigkeit, einen breiten Bereich von Wellenlängen im sichtbaren Spektrum mit hoher Lichtumwandlungseffizienz zu emittieren, zunehmend zu einer tragfähigen Lichtquelle für Beleuchtungs- und Sensorik Anwendungen geworden. In der LENA-OptoSense Forschungsgruppe wird eine vertikale dreidimensionale GaN-basierte nano-optoelektronische Plattform entwickelt, die für zerstörungsfreie In-situ-Diagnostik von elektrochemisch aktiven Bakterien, die als Biokatalysatoren in mikrobiellen Brennstoffzellen (MFCs) zum Einsatz kommen, dient. Für den Aufbau dieses Systems, verwenden wir GaN-LEDs als Lichtquelle und eine Photodiode als Detektor für das vom Biofilm transmittierte Licht. Aus den optischen In-situ-Messungen können damit Erkenntnisse bezüglich der biochemischen und physikalischen Vorgänge im Innern der Biofilme, einschließlich der Biofilmdickenprofile, gewonnen werden. Da die direkte Kopplung des Biofilms an die Sensorplattform die Umwelteinflüsse minimiert, wird die Biokompatibilität einer GaN-Arbeitselektrode als Oberfläche für die Biofilmkultivierung, die gleichzeitig auch als LED verwendet wird, untersucht. Außerdem werden vertikale 3D-GaN-Nanostrukturen mit unterschiedlichen Größen verwendet (d.h. Nanosäulen- und Nanofin-Arrays), um das Biofilmwachstum und die produzierte Stromdichte der MFCs zu verbessern. Abhängig von deren Geometrie, können die Bakterien (Geobacter sulfurreducens) / Biofilme entweder in den Räumen zwischen den GaN-Mikro- / Nanostruktur-Seitenwänden oder direkt auf ihren oberen Teilen wachsen. Schließlich wird ein optoelektronisches Lab-on-Chip mit einem Mikrobiofilmreaktor für die In-situ-Diagnostik von elektrochemisch aktiven Biofilmen integriert werden.

Zugehörige Publikation

  • I. Schmidt, A. Gad, G. Scholz, H. Boht, M. Martens, M. Schilling, H.S. Wasisto, A. Waag, U. Schröder (2017) Gold-modified indium tin oxide as a transparent window in optoelectronic diagnostics of electrochemically active biofilms. Biosensors and Bioelectronics 94, 74–80.

 

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Ein portables digital-holographisches Mikroskop für opto-biomedizinische Sensorik-Anwendungen

Kollaborationen

Prof. Dr. Andreas Waag, Prof. Dr. Uwe Schröder, Prof. Dr. Ingo Rustenbeck  (TU Braunschweig), Prof. Dr. Joan Daniel Prades (University of Barcelona)

Beschreibung des Forschungsvorhabens

Digital-holographische Mikroskopie (DHM) bietet eine einfache und kostengünstige Methode zur linsenlose mikroskopischen Abbildung semitransparenter Materialien (z.B. biologische Zellen und Gewebe). Für die in-situ Beobachtung von elektroaktivem Biofilm wurde ein tragbares digital-holographisches Mikroskop gebaut, dass aus einer RGB LED-Lichtquellenmatrix, einem CMOS-Detektor und einem 3D-gedruckten Probenhalter besteht. Die Aufnahme der Messdaten wird durch einen Mikrokontroller gesteuert und ihre Weiterverarbeitung erfolgt durch nummerische Methoden am PC. Der Prototyp wurde mit verschiedenen Test-Proben getestet, darunter Zwiebelhaut und einer Mikrotom-Sektion von Mäuse-Milz Gewebe. Durch eine Lichtquelle mit verschiedenen Wellenlängen können Phasenrekonstruktionsmethoden als Erweiterung zur klassischen inline-holographischen Rekonstruktion angewendet werden. Eine der möglichen Anwendungen dieser Technologie, Mikrobielle Brennstoffzellen (engl. microbial fuel cells, MFC), hat jüngst verstärkt Aufmerksamkeit als vielseitige und kostengünstige Methode zur Energiegewinnung aus Abwasser erregt. Um dieses biologische System besser zu verstehen, muss eine in situ Beobachtung der lebenden Mikroorganismen und der Morphologie der Biofilme realisiert werden. Dazu werden zerstörungsfreie optische Methoden benötigt. Digital-holographische Mikroskopie ist durch die kleinen Abmessungen des Setups, ihrer Kosteneffizienz und Leistungsfähigkeit eine vielversprechende Alternative zum konventionellen Lichtmikroskop, das aufgrund seiner Größe nur schwer in einen Mikro-Bioreaktor integriert werden kann. Moderne Bildsensoren verfügen über eine große Pixel-Anzahl und einen kleinen Pixel-Abstand, was zu einer hohen intrinsischen Auflösung führt, ohne das eine weitere Vergrößerung benötigt wird. Durch die Kombination mit einer LED mit geringer optischer Bandbreite entsteht ein kostengünstiges aber leistungsfähiges inline-holographisches Mikroskop. Die Anforderungen an die nummerische Datenaufbereitung kann durch moderne Desktop-Computer gut bewältigt werden, was schnelle und qualitativ hochwertige Bildrekonstruktion erlaubt. Darüber hinaus können die benötigten optischen Komponenten durch ihre geringen Abmessungen einfach in einen miniaturisierten Bioreaktor integriert werden. Das verbessert die Durchführbarkeit von in situ Biofilm Untersuchungen ohne Unterbrechung des Wachstumsprozesses, was sich positiv auf die MFC Entwicklung auswirken sollte.

Zugehörige Publikation

  • I. Schmidt, A. Gad, G. Scholz, H. Boht, M. Martens, M. Schilling, H.S. Wasisto, A. Waag, U. Schröder (2017) Gold-modified indium tin oxide as a transparent window in optoelectronic diagnostics of electrochemically active biofilms. Biosensors and Bioelectronics 94, 74–80.

 

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Entwicklung eines superauflösenden nanoLED Chipmikroskops

Kollaborationen

Prof. Dr. Andreas Waag, Prof. Dr. Philip Tinnefeld (TU Braunschweig), Prof. Dr. Angel Dieguez, Prof. Dr. Joan Daniel Prades (University of Barcelona), Dr. Rudolf Heer (Austrian Institute of Technology),  Dr. Matthias Auf der Maur, Prof. Dr. Aldo di Carlo (University of Rome Tor Vergata), Prof. Dr. Silvana Geleff (Medical University of Vienna)

Beschreibung des Forschungsvorhabens

In einem gemeinsamen Forschungsvorhaben mit Prof. Andreas Waag und anderen Partnern des EU-Projektes “Chipscope”, entwickelt Optosense eine wissenschaftliche und technologische Basis für eine komplett neue Umsetzung der optischen superauflösenden Mikroskopie. Basierend auf Halbleiter LED Feldern mit minimalen Strukturgrößen der LEDs unter 50nm und individueller Pixelansteuerung führt dieser chipbasierte Ansatz zu einer extremen Miniaturisierung, Vereinfachung und Kostenersparnis. Die örtliche Auslösung wird hierbei, anderes als bei der herkömmlichen optischen Mikroskopie, nicht von dem Detektionssystem, sondern von der Lichtquelle bereitgestellt. Die nanoLEDS ermöglichen dabei nicht nur eine chipbasierte optische Mikroskopie von Strukturen unterhalb der Beugungsgrenze ohne aufwendige optische Komponenten, sondern können auch für Fluoreszenzaufnahmen verwendet werden. Unser nanoLED Feld besteht aus einer zweidimensionalen Anordnung von individuellen und unabhängigen nanoLEDs mit einem gleichmäßigen Abstand im Nanometerbereich. Dies ermöglicht ein separates Ein- und Ausschalten jeder einzelnen nanoLED mit einer hohen Wiederholungsrate. Ein hochsensibler Fotodetektor liest anschließend die optischen Signale, deren räumlicher Ursprung gut bekannt sind, in jedem Zeitfenster sequenziell aus und kann somit das zeitliche Signal in eine realitätsgetreue räumliche Abbildung übertragen. Diese Abbildung zeigt das „Schattenbild“ des zu untersuchenden Objektes, welches sich im engen Kontakt mit dem nanoLED Feld an einer bestimmten Stelle befindet. Da im Gegensatz zu konventionellen optischen Mikroskopen die örtliche Auflösung von der Lichtquelle und nicht vom Detektionssystem geliefert wird, benötigt dieses Mikroskop keine speziellen Komponenten für die Ausrichtung, komplexe optische Fokussiervorrichtungen oder örtliche auflösende Detektoren. Auf lange Sicht wird diese Technologie die superauflösende optische Mikroskopie durch ihre Miniaturisierung auf Chipgröße revolutionieren, indem es sie handlich, günstig und flächendeckend für eine Vielzahl von Labore und den alltäglichen Gebrauch verfügbar macht.

Zugehörige Publikationen

  • http://www.chipscope.eu/

 

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Tragbare micro-/nanoelektromechanische Systeme (M/NEMS) für luftgetragene Nanopartikelsensoren

Kollaborationen

apl. Prof. Dr. Erwin Peiner, Prof. Dr. Andreas Waag (TU Braunschweig), Dr. Erik Uhde, Prof. Dr. Tunga Salthammer (Fraunhofer WKI)

Beschreibung des Forschungsvorhabens

In enger Zusammenarbeit mit Prof. Dr. Erwin Peiner, wird innerhalb der LENA-OptoSense Gruppe auch weiterhin die Entwicklung und Echtzeitleistungsauswertung von vollintegrierten, kostengünstigen Nanopartikeldetektoren (CANTOR-2), basierend auf Cantilevern, durchgeführt.  Das Gerät ist der Nachfolger des zuvor entwickelten zylindrisch-electrophretischen Nanopartikelsammlers (CANTOR-1), welcher für die Direktablesung luftgetragenen Kohlenstoffnanopartikelkonzentrationen an Innenraumarbeitsplätzen benutzt wurde. Alle Komponenten des vorgestellten Detektors können je nach ihrer Platzierung im Gehäuse in zwei Hauptgruppen unterteilt werden (z.B.  Integration des Nanopartikelsammlers und der Elektronik im handygroßen Gehäuse). Der Nanopartikelsammler wurde als miniaturisierter elektrophoretischer Luftpartikelsammler umgesetzt, der durch seine kubische Form und einen elektrothermischen angeregten piezoresistiven Siliziumbiegebalken, die Masse, der sich an der Biegebalkenoberfläche ablagernden Kohlenstoffnanopartikel, detektieren kann. Um eine Echtzeitmessung mit dem Gerät durchführen zu können wurde ein Frequenzaufnahmesystem, basierend auf einem Phasenregelkreis (PLL) aufgebaut und in das Gerät integriert. Die CANTOR-2 Messdaten korrelieren mit einer Genauigkeit von 8-14% gut mit denen des fast mobility particle sizer (FMPS, TSI 3091). Mit einem Gesamtvolumen von 540 cm³, Gewicht von 375 g und Leistungsverbrauch von 1,25 W der aktuellen Version bietet der CANTOR-2 eine gute Grundlage für die Nutzung als tragbares, persönliches Nanopartikeldetektiergerät, welches leicht von Arbeiter während ihrer Aktivitäten gehalten oder getragen werden kann. Momentan wird bereits an einer neuen CANTOR Generation (CANTOR-3) gearbeitet, in der sowohl die MEMS Sensoren als auch die Elektronik verbessert werden soll.

Zugehörige Publikationen

  • H.S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner (2016) Enhanced performance of pocket-sized nanoparticle exposure monitor for healthy indoor environment. Build. Environ. 95, 13–20.
  • H.S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2015) Handheld personal airborne nanoparticle detector based on microelectromechanical silicon resonant cantilever. Microelectron. Eng. 145, 96–103.
  • H.S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2015) Partially integrated cantilever-based airborne nanoparticle detector for continuous carbon aerosol mass concentration monitoring. J. Sens. Sens. Syst. 4, 111–123.
  • H.S. Wasisto, S. Merzsch, F. Steib, A. Waag, E. Peiner (2014) Vertical silicon nanowire array-patterned microcantilever resonators for enhanced detection of cigarette smoke aerosols. Micro Nano Lett. 9(10), 676–679.
  • H.S. Wasisto, Q. Zhang, S. Merzsch, A. Waag, E. Peiner (2014) A phase-locked loop frequency tracking system for portable microelectromechanical piezoresistive cantilever mass sensors. Microsyst. Technol. 20(4), 559–569.
  • H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Airborne engineered nanoparticle mass sensor based on a silicon resonant cantilever. Sens. Actuator B Chem. 180, 77–89.

 

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Vertikale nanoelektromechanische Systeme (NEMS) für Nanopartikelwaagen (Femtogramm)

Kollaborationen

apl. Prof. Dr. Erwin Peiner, Prof. Dr. Andreas Waag (TU Braunschweig), Dr. Erik Uhde, Prof. Dr. Tunga Salthammer (Fraunhofer WKI)

Beschreibung des Forschungsvorhabens

LENA-OptoSense in enger Zusammenarbeit mit Prof. Dr. Erwin Peiner fertigt und verwendet vertikal angeordnete Nanodrahtresonatoren aus Silizium für die Detektion von luftgetragenen Nanopartikeln (NPs) mittels Frequenzänderung, die durch die zusätzliche Masse der eingefangenen NPs entsteht. Die Siliziumnanodrähte (SiNW) werden mit induktiv gekoppelten Plasma kryogenisch trocken geätzt und mehrfacher thermischer Oxidation hergestellt. Anschließend werden sie, für die Kontaktierung mit dem selbstgebauten elektrostatischen NP Sammler, mit einer dünnen Lage Gold beschichtet, um die umherfliegenden NP einzusammeln. Für einen dynamischen Resonanzbetrieb im Frequenzmesssystem, wird ein piezoelektrischer Scheraktor auf den SiNW installiert. Die Verwendung des Nanopartikelsensors als Nanowaage wurde mit TiO Luftpartikel Experimenten mit einer Konzentration von ~8500 NP/cm3bestätigt. Die Empfindlichkeit der Nanowaage befindet sich im Femtogrammbereich und beträgt 7.1 Hz/fg bei einer Masseauflösung von 31.6 fg, was ungefähr einem NP entspricht. Die Aufnahmeeffizienz des entwickelten miniaturisierten NP Sammlers ist dreimal höher als die von momentan kommerziell erhältlichen Nanoluftpartikelsammlern (NAS, TSI 3089). Für die Entfernung der abgelagerten NPs, und der damit verbundenen Betriebszeitverlängerung des Sensors, kann eine Ultraschallreinigung verwendet werden.

Zugehörige Publikationen

  • H.S. Wasisto, K. Huang, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Peiner (2014) Finite element modeling and experimental proof of NEMS-based silicon pillar resonators for nanoparticle mass sensing applications. Microsyst. Technol.   20(4), 571–584.
  • S. Merzsch, F. Steib, H.S. Wasisto, A. Stranz, P. Hinze, T. Weimann, E. Peiner, A. Waag (2014) Production of vertical nanowire resonators by cryogenic-ICP–DRIE.  Microsyst. Technol. 20(4), 759–767.
  • H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Femtogram aerosol nanoparticle mass sensing utilising vertical silicon nanowire resonators. Micro Nano Lett. 8(10), 554–558.
  • H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Silicon resonant nanopillar sensors for airborne titanium dioxide engineered nanoparticle mass detection. Sens. Actuator B Chem. 189, 146–156.
  • H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Silicon nanowire resonators: aerosol nanoparticle mass sensing in the workplace. IEEE Nanotechnology Magazine 7, 18–23. (Eingeladen)

 

 

Beteiligte Forscherinnen und Forscher

 

 

Gruppenleiter und Projektleiter (PL)

» Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto

Forschungsschwerpunkte

  • Nano-Opto-Elektromechanischen Systemen (NOEMS)
  • biochemischen Nanosensoren für Gesundheits- und Umweltüberwachung (z.B. tragbare Nanopartikel-Sensoren, drahtlose Gas-Nanosensor Systeme und lab-on-chip für kontinuierliche in-situ Überwachung von Biofilmen)
  • Nano Leuchtdioden (nanoLEDs) für hochauflösende Mikroskopie
  • Nanoelektronische Bauelemente (z.B. vertikale Nano-Feldeffekttransistoren (nanoFETs) und Hochfrequenz-Nanobauelemente)
  • Nanogeneratoren
  • Nanometrologische Standarte (z.B. Strom, Photonen, und Kraft Nanostandarte)


Kontakt

E-Mail:  h.wasisto@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3167

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 801, 38106 Braunschweig, Germany

Biographie

Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto wurde 1987 in Yogyakarta, Indonesien geboren. Er erhielt in 2008, 2010 und 2014 seinen Bachelor of Engineering in Elektrotechnik (Cum Laude) von Gadjah Mada University in Indonesien, Master of Engineering in Halbleitertechnik (Cum Laude) von Asia University in Taiwan, sowie den Titel Doktor-Ingenieur (Dr.-Ing.) von der Fakultät Elektrotechnik, Informationstechnik und Physik (Summa Cum Laude mit Auszeichnung) der Technischen Universität Braunschweig (TU Braunschweig). Zwischen 2015 und 2016 war er tätig als Post-Doctoral Research Fellow bei der School of Electrical and Computer Engineering (ECE), Georgia Institute of Technology in Atlanta, USA. Seit 2016 leitet er die Nachwuchsgruppe Optoelectromechanical Integrated Nanosystems for Sensing (OptoSense) bei der Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA) in Braunschweig. Zu seinen Forschungsschwerpunkten zählen Nano-Opto-Elektromechanische Systeme (NOEMS), Nanosensoren, Nanoelektronik, Nano-LED, Nanogeneratoren und Nanometrologie. Er hat mehr als 60 Beiträge in internationalen wissenschaftlichen Peer-Review-Zeitschriften und –Konferenzen, sowie zwei europäische und deutsche Patente veröffentlicht. Seine Beiträge werden bereits mehr als 270-mal zitiert.

Während seine wissenschaftliche Karriere erhielt Dr. Wasisto „The Best Paper Award“ bei der 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2013) in Suzhou, China und „The Best Young Scientist Award“ bei der 26th European Conference on Solid-State Transducers (Eurosensors 2012) in Krakow, Polen. Er erwarb in 2014 den Walter-Kertz-Studienpreis für seine hervorragende Doktorarbeit und seine wissenschaftlichen Leistungen im multidisziplinären Bereich zwischen Physik, Elektrotechnik und Informationstechnik von der TU Braunschweig. Er bekam in 2015 „Travel Grant Award“ von Transducer Research Foundation (TRF) bei dem 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2015). Seit 2013 ist er ebenfalls aktiv als Begutachter von mehr als 20 wissenschaftliche Zeitschriften und internationale Forschungsaktivitäten (z.B. IEEE Journal of Microelectromechanical Systems, IEEE Sensors Journal, IEEE Transactions on Industrial Electronics, ACS Analytical Chemistry, IOP Journal of Micromechanics and Microengineering, Sensors and Actuators A: Physical, International Journal of Electronics, Sensors, Applied Surface Science, and Journal of Hazardous Materials).

Veröffentlichungen

All publications in:
Google Scholar, ResearchGate, and Scopus


 

Doktoranden

» Tony Granz, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • Nano-Opto-Elektromechanischen Systemen (NOEMS)
  • biochemischen Nanosensoren für Gesundheits- und Umweltüberwachung
  • vertikale Nanostrukturierung von III-V-Verbindungshalbleiter
  • Oberflächenfunktionalisierung von III-V-Verbindungshalbleiter (SAMs, Polymere …)
  • piezoelektrische Energierückgewinnung


Kontakt

E-Mail:  t.granz@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3872

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 903, 38106 Braunschweig, Germany

Tony Granz

Biographie

Tony Granz wurde 1987 in Schmalkalden, Deutschland, geboren. Er erhielt sowohl seinen „Bachelor of Science“ (Note 2,3) in Elektrotechnik und seinen „Master of Science“ Abschluss (Note 1,2) Nano-Systems-Engineering von der Technischen Universität Braunschweig in Deutschland, in den Jahren 2014 und 2016. Während seiner Masterarbeit beschäftigte er sich mit dem Entwurf, der Simulation und der Herstellung von hochtemperaturstabilen multidirektionalen Beschleunigungssensoren auf Silicon-on-Insulator Basis. Seit Oktober 2016 ist er Mitglied der Nachwuchsforschungsgruppe “Optoelectromechanical Integrated Nanosystems for Sensing (OptoSense)” im Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA) und dem Institut für Halbleitertechnik (IHT), TU Braunschweig. Als Doktorand sind seine Forschungsschwerpunkte Nano-Opto-Elektromechanischen Systeme (NOEMS), nanosystembasierende Sensoren für die Gesundheits- und Umweltüberwachung, vertikale 3D GaN Nanostrukturen, nanosystembasierende Energierückgewinnung und autonome Sensornetzwerke für das Internet der Dinge (IoT).

 

» Gregor Scholz, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • Tragbare Linsenlose Mikroskopie
  • Optische Sensoren für Biomedizinische Anwendungen
  • Nano Leuchtdioden (nanoLEDs) für hochauflösende Mikroskopie


Kontakt

E-Mail:  gregor.scholz@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3784

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 921, 38106 Braunschweig, Germany

Gregor Scholz

Biographie

Gregor Scholz wurde 1989 in Wolfsburg, Deutschland, geboren. Er erhielt sowohl seinen „Bachelor of Science“ (Note 1,4) und seinen „Master of Science“ Abschluss (Note 1,0) in Elektrotechnik von der Technischen Universität Braunschweig, Deutschland, in den Jahren 2012 und 2015. Im Jahr 2015 arbeitete er als Wissenschaftlicher Mitarbeiter am Institut für Hochfrequenztechnik (IHF) an der TU Braunschweig. Seit Januar 2016 arbeitet er am Institut für Halbleitertechnik (IHT), wo er auch der Gruppe Optoelektromechanische integrierte Nanosysteme für Sensorik (OptoSense) beitrat. Zurzeit arbeitet er als Promotionsstudent unter der Leitung von Prof. Dr. Andreas Waag und Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto. Seine Forschungsschwerpunkte sind Linsenlose Mikroskopie, optische Sensoren für biomedizinische Anwendungen und hocheffiziente mikro- und nanoLEDs.

Veröffentlichung

I. Schmidt, A. Gad, G. Scholz, H. Boht, M. Martens, M. Schilling, H.S. Wasisto, A. Waag, U. Schröder (2017) Gold-modified indium tin oxide as a transparent window in optoelectronic diagnostics of electrochemically active biofilms. Biosensors and Bioelectronics 94, 74–80.

 

» Klaas Strempel, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • Nanoelektronische Bauelemente (insbesondere vertikale GaN Nano-Feldeffekttransistoren (nanoFETs))
  • Metallorganische Gasphasenabscheidung (MOVPE) und Prozessierung vertikaler 3D GaN FETs
  • GaN Einzelelektronentransistoren (SEPs)


Kontakt

E-Mail:  k.strempel@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3785

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 922, 38106 Braunschweig, Germany

Klaas Strempel

Biographie

Klaas Strempel wurde 1990 in Hannover, Deutschland, geboren. Er hat Physik mit dem Schwerpunkt Festkörperphysik an der Georg-August-Universität Göttingen studiert und 2016 als Master of Science abgeschlossen. Während seiner Masterarbeit hat er das Wachstum von InGaN/GaN Nano- und Heterostrukturen mittels Molekularstrahlepitaxie (MBE) untersucht. Seit 2016 ist er Doktorand im Bereich GaN Nanoelektronik in der Forschungsgruppe von Prof. Dr. Andreas Waag und Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto am Laboratory of Emerging Nanometrology (LENA) sowie am Institut für Halbleitertechnik (IHT) der Technischen Universität Braunschweig. Im Rahmen seiner Promotion entwickelt er  vertikale GaN Nano-Feldeffekttransistoren (nanoFETs).

 

» Feng Yu, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • Top-down Verfahren für vertikale GaN Nanosäulen
  • 3D GaN Nanoelektronik
  • Nanoelektromechanische Bauelemente


Kontakt

E-Mail:  f.yu@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3785

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 922, 38106 Braunschweig, Germany

Feng Yu

Biographie

Feng Yu wurde 1986 in Zhejiang, China, geboren. Er erhielt seinen „Bachelor of Science“ Abschluss in Physik und seinen „Master of Science“ Abschluss in Physik kondensierter Materie 2009 bzw. 2012 an der Peking University, China. Seit 2012 ist er Doktorand in Elektrotechnik am Institut für Halbleitertechnik (IHT) der Technischen Universität Braunschweig mit finanzieller Unterstützung des Chinese Scholarship Council (CSC) unter Betreuung von Prof. Dr. Andreas Waag und Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto. Sein Forschungsinteresse liegt überwiegend im Bereich 3D GaN Elektronik Technologieentwicklung und Design (z.B. 3D Nano-Feldeffekttransistoren (nanoFETs) und Nanoelektromechanische Devices

Veröffentlichungen

  • F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Bakin, H.W. Schumacher, E. Peiner, H.S. Wasisto, A. Waag (2017) GaN nanowire arrays with nonpolar sidewalls for vertically integrated field-effect transistors. Nanotechnology 28(9), 095206 (9pp).
  • F. Yu, D. Rümmler, J. Hartmann, L. Caccamo, T. Schimpke, M. Strassburg, A.E. Gad, A. Bakin, H.-H. Wehmann, B. Witzigmann, H.S. Wasisto, A. Waag (2016) Vertical architecture for enhancement mode power transistor based on GaN nanowires. Appl. Phys. Lett. 108, 213503.

 

» Muhammad Fahlesa Fatahilah, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • GaN/Si-basierte Einzelelektronentransistoren (SEPs)
  • GaN/AlGaN-basierte vertikale high electron mobility transistor (HEMT)
  • Nanoelektromechanische Bauelemente


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E-Mail:  m.fatahilah@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3785

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 922, 38106 Braunschweig, Germany

Muhammad Fahlesa Fatahilah

Biographie

Muhammad Fahlesa Fatahilah wurde 1988 in Lebak, Indonesien, geboren. 2012 erhielt er seinen Bachelor of Science in Chemie am Bandung Institute of Technology (ITB), Indonesien, und 2016 seinen Master of Science in Organischer und Molekularer Elektronik an der Technischen Universität Dresden. Während seiner Masterarbeit mit dem Thema „white organic light-emitting diodes (WOLEDs) based on step-graded emission layer structure“ am Integrated Center for Applied Physics (IAPP) Dresden wurde er vom LPDP Stipendium (Indonesia Endowment Fund for Education) gefördert. Seit Oktober 2016 ist der Teil der OptoSense Gruppe am Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA) der TU Braunschweig und arbeitet dort an seiner Doktorarbeit im Bereich vertikaler GaN/Si Single-Electron Pumps (SEPs) und High-Mobility Electron Transistoren (HEMTs).

 

» Heidi Boht, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • Nano-opto-elektromechanische Systeme (NOEMS)
  • Mikrobielle Brennstoffzellen (MFCs)
  • Lab-on-chip für Biosensoren


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E-Mail:  h.boht@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3784

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 921, 38106 Braunschweig, Germany

Heidi Boht

Biographie

Heidi Boht wurde 1987 in Köthen (Anhalt), Deutschland, geboren. Sie beendete ihr Studium der Physik an der Martin-Luther-Universität Halle-Wittenberg erfolgreich mit dem Abschluss Bachelor (2013) beziehungsweise Master of Science (2016 mit Spezialisierung auf Photovoltaik und Halbleiterphysik). Während ihrer Masterarbeit stellte sie mittels physikalischer Dampfabscheidung organisch/anorganische Perowskitabsorber für Solarzellen her, die sie in-situ per Röntgenbeugung näher untersuchte. Seit 2016 ist sie Doktorandin am Institut für Halbleitertechnik (IHT) der Technischen Universität Braunschweig unter Betreuung von Prof. Dr. Andreas Waag und Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto. Sie ist außerdem Mitglied der Nachwuchsgruppe Optoelectromechanical Integrated Nanosystems for Sensing (OptoSense) am Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA) in Braunschweig. Ihr Forschungsinteresse liegt überwiegend im Bereich nano-opto-elektromechanischer Systeme (NOEMS) für biologische Anwendungen wie die Diagnostik von elektrochemisch aktiven Biofilmen in mikrobiellen Brennstoffzellen. Ihre Forschung wird gefördert von einem Georg-Christoph-Lichtenberg-Stipendium im Tailored-Light-Programm der Leibniz Universität Hannover (LUH).

Veröffentlichung

I. Schmidt, A. Gad, G. Scholz, H. Boht, M. Martens, M. Schilling, H.S. Wasisto, A. Waag, U. Schröder (2017) Gold-modified indium tin oxide as a transparent window in optoelectronic diagnostics of electrochemically active biofilms. Biosensors and Bioelectronics 94, 74–80.

 

» Shinta Mariana, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • Herstellung von 3D GaN- Nanosäulen mittels Nano-Lithographie-Technik
  • Oberflächenfunktionalisierung von Gasnanosensoren
  • GaN Nanodraht LED


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E-Mail:  s.mariana@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3805

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 802, 38106 Braunschweig, Germany

A. Waag

Biographie

Shinta Mariana wurde 1992 in Jakarta, Indonesien geboren. Sie studierte an der Technischen Universität in Braunschweig (TU Braunschweig) Chemie und spezialisierte sich innerhalb ihres Studiums auf Physikalische Chemie. In ihrer Bachelorarbeit beschäftigte sie sich mit der „Simulation unterirdischer Langzeitspeicherung von Solarwärme mit COMSOL Multiphysics® und erhielt 2015 ihren Bachelor of Science Abschluss. Seit 2016 ist sie Mitglied der Nachwuchsgruppe Optoelectromechanical Integrated Nanosystems for Sensing (OptoSense) im Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA), Institut für Halbleitertechnik (IHT), TU Braunschweig, Braunschweig und fertigte ihrer Masterarbeit mit dem Thema „Fabrication of 3D GaN nanopillars using nanosphere lithography technique for gas sensor applications“ an. Momentan geht ihr Forschungsthema (ihre Doktorarbeit) in Richtung der Entwicklung vertikaler 3D GaN Nanostrukturen für biomedizinische/chemische Nanosensoren unter Verwendung verschiedenen Sensorkonzepte.

 

» Wenze Wu, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • Biomedizinische optische Sensoren
  • Multispektrale LED-Arrays
  • Aufbau- und Verbindungstechnik (Drahtbonden und Silber-Pulver-Sintertechnik)
  • Mikromechanische Systeme (MEMS)


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E-Mail:  wenze.wu@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3782

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 903, 38106 Braunschweig, Germany

Wenze Wu

Biographie

Wenze Wu wurde im Jahr 1989 in Anhui, China, geboren. Im Jahr 2011 bekam er an der Universität Anhui in China den „Bachelor of Engineering“ und im Jahr 2015 den „Master of Science“ in der Fachrichtung Elektrotechnik an der Technischen Universität Braunschweig (TU Braunschweig). Seit Juli 2015 ist er bei der TU Braunschweig am Institut für Halbleitertechnik (IHT) tätig und konzentriert auf die Aufbau- und Verbindungstechnik für MEMS-Sensoren und Thermo-Elektrische Generatoren (TEGs). Seit August 2016 strebt er den Doktorgrad im Forschungsbereich der tragbaren biomedizinischen optischen Sensoren und multispektralen LED-Arrays unter Aufsicht von Prof. Dr. Andreas Waag und Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto an. An der TU Braunschweig ist er ein Mitglied des Graduiertenkollegs 1952/1 der Metrologie für komplexe Nanosysteme (NanoMet).


 

» Nursidik Yulianto, M.Eng.

Forschungsschwerpunkte

  • Laser lift-off (LLO)
  • Nanobauelemente für die Photonik
  • Optoelektronik und optische Sensoren
  • Laserspektroskopie


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E-Mail:  n.yulianto@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3782

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 903, 38106 Braunschweig, Germany

yulianto

Biographie

Nursidik Yulianto wurde 1897 in Brebes, Indonesien, geboren. Er erhielt 2010 seinen “Bachelor of Science” Abschluss in Physik an der Diponegoro University (UNDIP), Semarang, Indonesien und 2016 sein “Master of Engineering” Abschluss in Elektrotechnik von der Universitas Indonesia (UI). Seit 2010 arbeitet er als Nachwuchswissenschaftler im Forschungszentrum für Physik im Indonesian Institute of Sciences (LIPI), wo er der Forschungsgruppe für Laser und Optoelektronik beitrat. Seine Forschungsschwerpunkte waren mikrowellenbasierte Laserdioden, fiberoptische Sensoren und optische Materialverarbeitung. Seit Dezember 2016 ist er Doktorand am Institut für Halbleitertechnik (IHT) an der TU Braunschweig, durch die Teilnahmen an dem IG-Nano Projekt (i.e., Indonesian-German Center for Nano and Quantum Technologies) das vom LENA und LIPI unterstützt wird. Sein PHD Studium wird vom Ministerium für  Technologie und höherer Bildung der Republik Indonesien (RISTEKDIKTI) finanziert. Sein Forschungsthema ist die Laserbearbeitung und –charakterisierung von GaN Nanostrukturen, unter Anleitung von Dr.-Ing. Sönke Fündling, Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto und Prof. Dr. Andreas Waag.

 

» Nicolai Markiewicz, M.Sc.

Forschungsschwerpunkte

  • Entwicklung von LED-basierten Sensorplattformen
  • Hybride Gasnanosensorsysteme
  • Nanoelektronische Geräte


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E-Mail:  n.markiewicz@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3806

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Nicolai Markiewicz

Biographie

Nicolai Markiewicz wurde 1989 in Wolfsburg, Deutschland, geboren. Er studierte Elektrotechnik mit Spezialisierung auf Nano Systems Engineering (NSE) an der Technischen Universität Braunschweig (TU Braunschweig), Deutschland, und erhielt den Bachelor of Science und Master of Science in Elektrotechnik 2013 beziehungsweise 2015. Während seines Masterstudiums forschte er an organisch/anorganischen hybriden Gassensorplattformen. Seit 2015 arbeitet er als Doktorand auf dem Gebiet GaN-Nanoelektronik, in sehr enger Zusammenarbeit zwischen zwei führenden europäischen Universitäten (d.h., Universität Barcelona, Spanien und TU Braunschweig, Deutschland) unter Aufsicht sowohl von Prof. Dr. Daniel Prades and Dr. Olga Casals (Ko-Betreuerin) von der Universität Barcelona als auch von Prof. Dr. Andreas Waag und Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto vom Laboratory of Emerging Nanometrology (LENA) und dem Institut für Halbleitertechnik (IHT), TU Braunschweig. Sein Forschunginteresse liegt überwiegend im Bereich der Entwicklung hybrider Gassensorplattformen, insbesondere basierend auf GaN-LEDs und -Elektronik.

 

» Iqbal Syamsu, M.Eng.

Forschungsschwerpunkte

  • Tragbare gepulste Gas-Nanosensor Systeme
  • Echtzeit Umwelt Monitoring
  • Hochpräzisions Gas-Messungs Nanosysteme
  • Internet-of-things (IoT)


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E-Mail:  i.syamsu@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3806

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Iqbal Syamsu

Biographie

Iqbal Syamsu wurde 1973 in Banyumas, Indonesien, geboren. Er erhielt seinen Bachelor of Engineering Abschluss an der Universitas Jenderal Achmad Yani in Indonesien im Jahr 2000 und seinen Master of Engineering Abschluss in Elektrotechnik im 2008 am Bandung Institute of Technology (ITB), Indonesien. Seit 2001 arbeitet er als Forscher aktiv am Indonesian Institute of Sciences (LIPI), von wo er zuvor ein Stipendium erhalten hat. Am LIPI trat er dem Forschungszentrum für Elektronik und Telekommunikation bei, wo seine Hauptforschungsthemen das weltweite Seenot- und Sicherheitsfunksystem, Wasser-Qualitäts- und Verschmutzungsanalyse, digitale Signalverarbeitung für smart-Sensor Systeme, MEMS-basierte Sensorsystem zur Messung von Umweltverschmutzung und drahtlose Sensornetzwerke für Umwelt-Monitoring in abgelegenen Gegenden umfassten. Seit Dezember 2016 ist er, durch das IG-Nano Projekt (Indonesisch-Deutsches Zentrum für Nano- und Quantentechnologie) und mit der Unterstützung des LENA und des LIPI, Promotionsstudent am Institut für Halbleitertechnik (IHT), TU Braunschweig in Deutschland. Sein Promotionsstudium mit dem Thema portable gepulste Gas-Nanosensor Systeme für Umwelt-Monitoring wird gefördert durch das Ministerium für Forschung, Technologie und höhere Bildung der Republik Indonesien (RISTEKDIKTI) und betreut durch Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto, Prof. Dr. Joan Daniel Prades (University of Barcelona) und Prof. Dr. Andreas Waag.

 

 

Studenten

» Qifeng Xu, B.Sc.

Forschungsschwerpunkt

  • Portable linsenlose Mikroskopie
  • Optische Sensoren für Biomedizinische Anwendungen


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E-Mail:  qi.xu@tu-braunschweig.de

Telefon:  +4915256160309

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 802, 38106 Braunschweig, Germany

Qifeng Xu

Biographie

Qifeng Xu wurde 1990 in ZhouShan, China geboren. Er erhielt den „Bachelor of Science“ Abschluss in Elektrotechnik von der Ostfalia Hochschule für angewandte Wissenschaften in Wolfenbüttel, Deutschland im Jahr 2015. Seit 2017 ist er Master-Student in der OptoSense Gruppe des Instituts für Halbleitertechnik (IHT) und am Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA) der TU Braunschweig, in Deutschland. Das Thema seiner Masterarbeit ist die Entwicklung eines portablen linsenlosen Mikroskops und optischer Sensoren für biomedizinische Anwendungen.

 

» Alexander Drieling, B.Eng.

Forschungsschwerpunkt

  • Optische und elektrische Metrologie LED-basierter Nanosensoren


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E-Mail:  a.drieling@tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 3805

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum 802, 38106 Braunschweig, Germany
Alexander Drieling

Biographie

Alexander Drieling wurde 1988 in Bremen, Deutschland, geboren. Er erhielt 2015 seinen „Bachelor of Engineering“ Abschluss in Elektrotechnik von der Jade Hochschule Wilhelmshaven in Deutschland. Zurzeit strebt er seinen Master Abschluss in Elektrotechnik an der Technische Universität Braunschweig (TU Braunschweig) in Deutschland an. Seit 2017 ist er als Master-Student Mitglied der OptoSense Gruppe wo er als studentische Hilfskraft an der optischen und elektrischen Metrologie LED-basierter Nanosensoren arbeitet. 


 

» N.N..

Forschungsschwerpunkt

  • ...........


Kontakt

E-Mail:  .... @tu-braunschweig.de

Telefon:  +49 531 391 .....

Büro: Hans-Sommer-Straße 66, Raum ....., 38106 Braunschweig, Germany

A. Waag

 

Abschlussarbeiten

 

Dies sind unsere derzeit verfügbaren Themen für Bachelor- und Master- / Diplomarbeiten, obwohl Sie natürlich auch gerne Ihre eigenen Projekte vorschlagen können. Sämtliche Themen können sowohl in englischer als auch in deutscher Sprache verfasst werden. Wenn eines der vorgestellten Themen Ihr Interesse geweckt hat oder Sie generell an der Verfassung einer schriftlichen Abschlussarbeit in unserer OptoSense-Gruppe interessiert sind, zögern Sie bitte nicht, die Betreuer der ausgewählten Abschlussarbeiten zu kontaktieren.

 

1. Entwicklung von Umweltsensoren für das Internet der Dinge (IoT)

  • Beschreibung: Download in Deutsch, Download in Englisch
  • Betreuer: Tony Granz, M.Sc., (0531) 391-3782 / t.granz@tu-braunschweig.de

 

2. Entwicklung von Geführte-Mode-Resonanz (GMR)- Farbfiltern für opto-biomedizinische Sensoren

 

3.  Entwicklung von auf multispektralen lichtemittierenden Dioden (LED) basierten opto-biomedizinischen Sensoren

 

4. Systemintegration und Charakterisierung eines schnellen optischen Detektors für geringe Intensitäten

 

5. Entwicklung eines tragbaren gepulsten elektronischen Gas-Nanosensor-Systems mit periodischer Zurücksetzung

 

6. Entwicklung und Herstellung von Umweltsensoren auf Basis von vertikalen GaN-Nanodraht-Arrays

 

Tony Granz, Dr. Hutomo Suryo Wasisto und Klaas Strempel ätzen 3D GaN Fin Nanostrukturen (kleines Bild) für biochemische Nanosensoren und Nanoelektronische Bauelemente mit einer induktiv gekoppelten reaktiven Ionen Plasma-Ätzanlage (ICP-RIE).

 

Publikationen

 

Unsere Veröffentlichungen finden Sie unter: Google Scholar, ResearchGate, und Scopus .

 

» Zeitschriften

[1]  I. Schmidt, A. Gad, G. Scholz, H. Boht, M. Martens, M. Schilling, H.S. Wasisto, A. Waag, U. Schröder (2017) Gold-modified indium tin oxide as a transparent window in optoelectronic diagnostics of electrochemically active biofilms. Biosensors and Bioelectronics 94, 74–80.

[2]  F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Bakin, H.W. Schumacher, E. Peiner, H.S. Wasisto, A. Waag (2017) GaN nanowire arrays with nonpolar sidewalls for vertically integrated field-effect transistors. Nanotechnology 28(9), 095206 (9pp).

[3]  M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, H.S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner (2017) Analysis of asymmetric resonance response of thermally excited silicon micro-cantilevers for mass-sensitive nanoparticle detection. J. Micromech. Microeng. 27, 064001(10pp).

[4]  G. Hamdana, M. Bertke, L. Doering, T. Frank, U. Brand, H.S. Wasisto, E. Peiner (2017) Transferable micromachined piezoresistive force sensor with integrated double-meander-spring system. J. Sens. Sens. Syst. 6, 121–133.

[5]  F. Yu, D. Rümmler, J. Hartmann, L. Caccamo, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Gad, A. Bakin, H.-H. Wehmann, B. Witzigmann, H.S. Wasisto, A. Waag (2016) Vertical architecture for enhancement mode power transistor based on GaN nanowires. Appl. Phys. Lett. 108, 213503.

[6]  G. Hamdana, H.S. Wasisto, L. Doering, C. Yan, L. Zhou, U. Brand, E. Peiner (2016) Double-meander spring silicon piezoresistive sensors as microforce calibration standards. Opt. Eng. 55(9), 091409.

[7]  H.S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner (2016) Enhanced performance of pocket-sized nanoparticle exposure monitor for healthy indoor environment. Build. Environ. 95, 13–20.

[8]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2015) Handheld personal airborne nanoparticle detector based on microelectromechanical silicon resonant cantilever. Microelectron. Eng. 145, 96–103.

[9]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2015) Partially integrated cantilever-based airborne nanoparticle detector for continuous carbon aerosol mass concentration monitoring. J. Sens. Sens. Syst. 4, 111–123.

[10]  S.S. Kusumawardani, L.E. Nugroho, A. Susanto, A. Kumara, H.S. Wasisto, U. Cortés (2015) Ontology development of semantic e-learning for final project course. Adv. Sci. Lett. 21(1), 46–51.

[11]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, F. Steib, A. Waag, E. Peiner (2014) Vertical silicon nanowire array-patterned microcantilever resonators for enhanced detection of cigarette smoke aerosols. Micro Nano Lett. 9(10), 676–679.

[12]  H.S. Wasisto, K. Huang, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Peiner (2014) Finite element modeling and experimental proof of NEMS-based silicon pillar resonators for nanoparticle mass sensing applications. Microsyst. Technol.   20(4), 571–584.

[13]  H.S. Wasisto, Q. Zhang, S. Merzsch, A. Waag, E. Peiner (2014) A phase-locked loop frequency tracking system for portable microelectromechanical piezoresistive cantilever mass sensors. Microsyst. Technol. 20(4), 559–569.

[14]  S. Merzsch, F. Steib, H.S. Wasisto, A. Stranz, P. Hinze, T. Weimann, E. Peiner, A. Waag (2014) Production of vertical nanowire resonators by cryogenic-ICP–DRIE.  Microsyst. Technol. 20(4), 759–767.

[15]  S.S. Kusumawardani, L.E. Nugroho, A. Susanto, A. Kumara, H.S. Wasisto, U. Cortés (2014) Reducing student’s learning duration on engineering final project by implementing Fink’s taxonomy on e-learning. J. Theor. Appl. Inf. Technol. 68(3), 699-704.

[16]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Femtogram aerosol nanoparticle mass sensing utilising vertical silicon nanowire resonators. Micro Nano Lett. 8(10), 554–558.

[17]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Airborne engineered nanoparticle mass sensor based on a silicon resonant cantilever. Sens. Actuator B Chem. 180, 77–89.

[18]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Silicon resonant nanopillar sensors for airborne titanium dioxide engineered nanoparticle mass detection. Sens. Actuator B Chem. 189, 146–156.

[19]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Portable cantilever-based airborne nanoparticle detector. Sens. Actuator B Chem. 187, 118–127.

[20]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Silicon nanowire resonators: aerosol nanoparticle mass sensing in the workplace. IEEE Nanotechnology Magazine 7, 18–23. (Invited)

[21]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Evaluation of photoresist-based nanoparticle removal method for recycling silicon cantilever mass sensors. Sens. Actuators A Phys. 202, 90–99

[22]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2012) Determination of exposure to engineered carbon nanoparticles using a self-sensing piezoresistive silicon cantilever sensor. Microsyst. Technol. 18, 905–915.

[23]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2012) Cleaning of structured templates from nanoparticle accumulation using silicone. Microsyst. Technol. 18, 835–842.

[24]  H.S. Wasisto, A. Waag, E. Uhde, E. Peiner (2011) Sensor monitors exposure to airborne nanoparticles. SPIE Newsroom. (Invited)

[25]  A.P. Herlambang, G. Sheu, Y. Guo, H.S. Wasisto (2011) LDMOS thermal SOA investigation of a novel 800V multiple RESURF with linear p-top rings. ECS Trans. 34(1), 979–984.


 

» Patente

[1]     Stephan Merzsch, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, Andreas Waag, Erik Uhde (2015) Device and method for measuring an aerosol concentration in a gaseous medium. European Patent (EP 2952875 A1).

[2]     Stephan Merzsch, Hutomo Suryo Wasisto, Erwin Peiner, Andreas Waag, Erik Uhde (2015) Gerät und Verfahren zur Messung einer Aerosolkonzentration in einem gasförmigen Medium. Deutsches Patent (DE 102014007977 A1).

 

» Bücher

[1]     Hutomo Suryo Wasisto (2014) Direct-reading personal airborne nanoparticle detector based on micromechanical silicon cantilever resonators. Verlag Dr. Hut München, Germany, ISBN 978-3-8439-1680-6.

 

» Konferenzbeiträge

[1]  M. Bertke, W. Wu, H.S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner (2017) Size-selective electrostatic sampling and removal of nanoparticles on silicon cantilever sensors for air-quality monitoring. The 19th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers 2017), June 18-22, 2017, Kaohsiung, Taiwan. (Poster)

[2]  M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, M. Marks, H.S. Wasisto, E. Peiner (2017) Asymmetric resonance response analysis of a thermally excited silicon microcantilever for mass-sensitive nanoparticle detection. SPIE Microtechnologies, May 8 - 10, 2017, Hotel Alimara, Barcelona, Spain. (Oral)

[3]  J. Xu, M. Bertke, A. Gad, H. Zhou, H.S. Wasisto, E. Peiner (2017) Gravimetric humidity sensor based on ZnO nanorods covered piezoresistive Si microcantilever. SPIE Microtechnologies, May 8 - 10, 2017, Hotel Alimara, Barcelona, Spain. (Oral)

[4]  G. Hamdana, M. Bertkea, T. Südkamp, H. Bracht, H.S. Wasisto, E. Peiner (2017) Large-area fabrication of silicon nanostructures by templated nanoparticle arrays. SPIE Microtechnologies, May 8 - 10, 2017, Hotel Alimara, Barcelona, Spain. (Oral)

[5]  A. Waag, J. Hartmann, H. Zhou, S. Fündling, J.Ledig, F. Steib, H.S. Wasisto, H.-H. Wehmann, T. Schimpke, M. Mandl, A. Avramescu, I.Stoll, M. Strassburg, H.-J. Lugauer (2017) 3D GaN architectures: from core-shell LEDs to a defect free multipurpose material platform. Workshop on Frontier Photonic and Electronic Materials and Devices, 2017 German-Japanese-Spanish Joint Workshop, March 5-8, 2017, Hotel Punta Rotja, Mallorca, Spain. (Invited)

[6]  A. Waag, J. Hartmann, H. Zhou, A. Vogt, S. Fündling, J.Ledig, F. Steib, H.S. Wasisto, H.-H. Wehmann, T. Schimpke, M. Mandl, A. Avramescu, I.Stoll, T.Voss, M. Strassburg, H.-J. Lugauer (2017) Recent developments of 3D GaN architectures for solid state lighting. SPIE Photonics West 2017, January 27 - February 1, 2018, The Moscone Center, San Francisco, California, USA. (Invited)

[7]  H.S. Wasisto, F. Yu, A. Gad, T. Granz, J. Hartmann, S. Fündling, N. Markiewicz, O. Casals, J.D. Prades, F. Römer, B. Witzigmann, L. Mayrhofer, M. Moseler, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Waag (2016) Vertical 3D GaN nanoarchitectures: towards power electronics and gas sensors. The 8th International Workshop on Advanced Materials Science and Nanotechnology IWAMSN 2016, Ha Long City, Vietnam, November 8-12, 2016. (Invited)

[8]  H.S. Wasisto, F. Yu, A. Gad, T. Granz, J. Hartmann, S. Fündling, N. Markiewicz, O. Casals, J.D. Prades, F. Römer, B. Witzigmann, L. Mayrhofer, M. Moseler, T. Schimpke, M. Strassburg, A. Waag (2016) Vertical 3D GaN nanoarchitectures: towards power electronics and gas sensors. Deutsche Gesellschaft für Kristallwachstum und Kristallzüchtung 31th DGKK Workshop „Epitaxy of III/V Semiconductor“, Sensor-Workshop, Duisburg, Germany, December 8-9, 2016. (Oral)

[9]  S. Fündling, F. Steib, J. Ledig, J. Hartmann, H.S. Wasisto, O. Casals, N. Markiewicz, J.D. Prades, H.-H. Wehmann, A. Waag (2016) 3D-LED-structures: Fabrication and potential applications. Micro Photonics Kongress, Berlin, Germany, October 11-13, 2016 (Micro- & Nanophotonics, Topical Session XI: Novel Components). (Oral)

[10]  F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, H.S. Wasisto, A. Waag (2016) Towards vertical GaN power electronics: nanowire arrays for vertical field-effect transistors. International Workshop on Nitride Semiconductors (IWN 2016), Orlando, Florida, USA, October 2-7, 2016 (C2.2.07) (Oral)

[11]  F. Yu, S. Yao, F. Römer, B. Witzigmann, H.S. Wasisto, A. Waag (2016) Integration of wet-etched GaN nanowires for vertical power transistors. 6. GMM-Workshop „Mikro-Nano-Integration (MNI 2016)”, Duisburg, Germany, October 5 – 6, 2016. (Poster)

[12]  M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, M. Marks, H.S. Wasisto, E. Peiner (2016) Asymmetrische Resonanzfrequenzanalyse von in-plane elektrothermische Siliziumcantilever für Nanopartikelsensoren. 6. GMM-Workshop „Mikro-Nano-Integration (MNI 2016)”, Duisburg, Germany, October 5 – 6, 2016. (Poster)

[13]  J. Xu, J. Yang, W. Wu, G. Hamdana, M. Bertke, H.S. Wasisto, E. Peiner (2016) ZnO nanorods-patterned piezoresistive Si cantilevers for humidity sensors. 6. GMM-Workshop „Mikro-Nano-Integration (MNI 2016)”, Duisburg, Germany, October 5 – 6, 2016. (Poster)

[14]  G. Hamdana, M. Bertke, T. Südkamp, H. Bracht, H.S. Wasisto, E. Peiner (2016) Hoch geordnete Nanodrähte hergestellt durch Self-Assembly von Nanopartikeln. 6. GMM-Workshop „Mikro-Nano-Integration (MNI 2016)”, Duisburg, Germany, October 5 – 6, 2016. (Poster)

[15]  G. Hamdana, L. Caccamo, T. Südkamp, H. Bracht, H.S. Wasisto, E. Peiner (2016) Enhanced colloidal lithography for fabrication of well-defined-area silicon nanowires. The 42th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2016), Vienna, Austria, September 19 – 23, 2016 (Oral)

[16]  J. Yang, J. Xu, W. Wu, M. Bertke, H.S. Wasisto, E. Peiner (2016) Piezoresistive silicon cantilever covered by ZnO nanorods for humidity sensing. Eurosensors 2016, Budapest, Hungary, September 4 – 7, 2016.

[17]  S. Zhang, Y. Ding, W. Wu, M. Bertke, H.S. Wasisto, L. Doering, U. Brand, E. Peiner (2016) Direct-reading resonant silicon cantilever for probing of surface deposits. Eurosensors 2016, Budapest, Hungary, 4-7 September 2016.

[18]  M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, M. Marks, H.S. Wasisto, E. Peiner (2016) Asymmetric resonance frequency analysis of in-plane electrothermal silicon cantilevers for nanoparticle sensors. Proceedings of the 27th Micromechanics and Microsystems Europe Workshop (MME 2016), Cork, Ireland, 28-30 August 2016. (Oral)

[19]  C. Yan, L. Zhou, H.S. Wasisto, L. Doering, U. Brand, T. Frank, E. Peiner (2016) Silizium-Mikro-Kraftnormal. 18. GMA/ITG Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2016, 10 - 11 May 2016, Nürnberg, (AMA Service GmbH, Wunstorf, 2016), 162-167. (Oral)

[20]  H.S. Wasisto, W. Wu, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2015) Low-cost wearable cantilever-based nanoparticle sensor microsystem for personal health and safety monitoring. Proceedings of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2015), Alaska, USA, June 21-25, 2015, 428–431. (Oral)

[21]  H.S. Wasisto, L. Doering, U. Brand, E. Peiner (2015) Ultra-high-speed cantilever tactile probe for high-aspect-ratio micro metrology. Proceedings of the 18th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS 2015), Alaska, USA, June 21-25, 2015, 1061–1064. (Poster)

[22]  H.S. Wasisto, R. Dang, L. Doering, U. Brand, E. Peiner (2015) Characterization of surface deposits using a microtactile cantilever sensor. Proceedings of MikroSystemTechnik Kongress 2015, Karlsruhe, Germany. (Oral)

[23]  H.S. Wasisto, R. Dang, L. Doering, U. Brand, E. Peiner (2015) Microtactile cantilever resonators for characterizing surface deposits. Proceedings of Eurosensors 2015, Freiburg, Germany, September 6 - 9, 2015, Procedia Eng. 120, 861–864. (Poster)

[24]  H.S. Wasisto, W. Wu, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2015) Electrothermal piezoresistive cantilever resonators for personal measurements of nanoparticles in workplace exposure. Proceedings of the SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII, Barcelona, Spain, 9517-09. (Oral)

[25]  H.S. Wasisto, L. Doering, A. Daus, U. Brand, T. Frank, E. Peiner (2015) Development of silicon microforce sensors integrated with double meander springs for standard hardness test instruments. Proceedings of the SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII, Barcelona, Spain, 9517-68. (Poster)

[26]  H.S. Wasisto, F. Yu, L. Doering, S. Völlmeke, U. Brand, A. Bakin, A. Waag, E. Peiner (2015) Fabrication of wear-resistant silicon microprobe tips for high-speed surface roughness scanning devices. Proceedings of the SPIE 9517, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VII, Barcelona, Spain, 9517-74. (Poster)

[27]  H.S. Wasisto, F. Yu, L. Doering, S. Völlmeke, M.A. Deeb, U. Brand, A. Bakin, A. Waag, E. Peiner (2015) Silicon probing tips coated with protective aluminum oxide thin films for fast tactile cantilever sensors. Proceedings of AMA SENSOR 2015, Nuremberg, Germany. (Oral)

[28]  H.S. Wasisto (2014) Direct-reading personal airborne nanoparticle detector based on MEMS resonators. The 6th International Conference on Information Technology and Electrical Engineering (ICITEE 2014), Yogyakarta, Indonesia. (Invited)

[29]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2014) Fully integrated personal airborne nanoparticle detector based on microelectromechanical resonant cantilever. Proceedings of the 40th International Micro and Nano Engineering Conference (MNE 2014), September 22-26, 2014, Lausanne, Switzerland. (Oral)

[30]  H.S. Wasisto, A. Waag, S. Merzsch, E. Uhde, E. Peiner (2014) Cantilever micro balance as nanoparticle exposure monitor. Proceedings of the 25th Micromechanics and Microsystems Europe workshop (MME 2014), August 31 - September 3, Istanbul, Turkey. (Oral)

[31]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, E. Uhde, T. Salthammer, A. Waag, E. Peiner (2014) Handheld micromechanical cantilever mass sensor for early detection of carbon nanoparticles. Proceedings of the 17. ITG/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2014, Nürnberg Convention Center, Nürnberg, Germany, 1-6. (Oral)

[32]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, F. Steib, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2014) Surface-enhanced silicon resonant cantilever sensors with vertical nanowires. Proceedings of the 17. ITG/GMA-Fachtagung Sensoren und Messsysteme 2014, Nürnberg Convention Center, Nürnberg, Germany, 1-6. (Oral)

[33]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, F. Steib, A. Waag, E. Peiner (2014) In-plane-excited silicon nanowire arrays-patterned cantilever sensors for enhanced airborne particulate matter exposure detection. Proceedings of the 9th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2014), Hawaii, USA, 32 – 37. (Oral)

[34]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, I. Kirsch, E. Peiner, E. Uhde (2014)  An integrated personal monitor for engineered nanoparticles. Proceedings of the 13th Intern. Conf. Indoor Air Quality and Climate (Indoor Air 2014), Hong Kong, China. (Oral)

[35]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2013) Silicon nanowire resonators for aerosol nanoparticle mass sensing. Proceedings of the 8th IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems (IEEE NEMS 2013), Suzhou, Republic of China, 506 – 509. (Best paper award)

[36]  H.S. Wasisto, Q. Zhang, S. Merzsch, A. Waag, E. Peiner (2013) A closed-loop system for frequency tracking of piezoresistive cantilever sensors. Proceedings of the SPIE 8763, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI, Grenoble, France, 876337. (Poster)

[37]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, K. Huang, A. Stranz, A. Waag, E. Peiner (2013) Simulation and characterization of silicon nanopillar-based nanoparticle sensors. Proceedings of the SPIE 8763, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI, Grenoble, France, 876321. (Poster)

[38]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Peiner (2013) MEMS-based silicon cantilevers with integrated electrothermal heaters for airborne ultrafine particle sensing. Proceedings of the SPIE 8763, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI, Grenoble, France, 87632L. (Poster)

[39]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, A. Stranz, P. Hinze, T. Weimann, E. Peiner, A. Waag (2013) Fabrication of vertical nanowire resonators for aerosol exposure assessment. Proceedings of the SPIE 8763, Smart Sensors, Actuators, and MEMS VI, Grenoble, France, 87630V. (Oral)

[40]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, I. Kirsch, A. Waag, E. Peiner, E. Uhde (2013) Personal monitor for engineered nanoparticles using a MEMS cantilever balance. Proceedings of European Aerosol Conference (EAC) 2013, Prague, Czech Republic. (Poster)

[41]  S. Merzsch, T. Salthammer, H.S. Wasisto, I. Kirsch, E. Uhde, A. Waag, E. Peiner (2013) A personal sampler for direct mass determination of nano-particles using a resonant cantilever sensor. Proceedings of  TechConnect World 2013 - Nanotech, Microtech, Biotech, Cleantech Joint 2013 Conferences, Maryland, USA. (Poster)

[42]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2012) Femtogram mass measurement of airborne engineered nanoparticles using silicon nanopillar resonators. Proceedings of the 26th European Conference on Solid-State Transducers (EUROSENSORS 2012), Krakow, Poland, Procedia Eng. 47, 289–292. (Best young scientist award)

[43]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2012) Effect of photoresist coating on the reusable resonant cantilever sensors for assessing exposure to airborne nanoparticles. Proceedings of the 26th European Conference on Solid-State Transducers (EUROSENSORS 2012), Krakow, Poland, Procedia Eng. 47, 302 – 305. (Poster)

[44]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Uhde, I. Kirsch, E. Peiner (2012) Selective electrostatic deposition of airborne engineered nanoparticles on a patterned substrate of silicon cantilever sensor. Proceedings of European Aerosol Conference (EAC) 2012, Granada, Spain. (Poster)

[45]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2012) Silicon cantilever resonators integrated with portable electrostatic samplers for sensing and characterizing engineered nanoparticles in workplace air. Proceedings of the 14th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2012), Nuremberg, Germany, 221–224. (Oral)

[46]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, E. Peiner, I. Kirsch, E. Uhde (2012) A MEMS sensor based personal sampler for ultrafine particles. Proceedings of European Aerosol Conference (EAC) 2012, Granada, Spain. (Poster)

[47]  S. Merzsch, J. Kähler, H.S. Wasisto, L. Doering, U. Brand, E. Peiner, A. Waag (2012) Silicon based sensors and functional components fabricated by ICP-RIE cryogenic dry etching. Proceedings of the 23rd Micromechanics and Microsystems Europe Workshop (MME 2012), Ilmenau, Germany. (Oral)

[48]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2012) Recycling of cantilevers for nanoparticle detection by lift-off technique. Proceedings of the 14th International Meeting on Chemical Sensors (IMCS 2012), Nuremberg, Germany, 916–919. (Poster)

[49]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2011) Self-exciting and self-sensing resonant cantilever sensors for improved monitoring of airborne nanoparticles exposure. Proceedings of the IEEE Sensors 2011 Conference, Limerick, Ireland, 728–731. (Oral)

[50]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2011) Enhanced airborne nanoparticles mass sensing using a high-mode resonant silicon cantilever sensor. Proceedings of the IEEE Sensors 2011 Conference, Limerick, Ireland, 736–739. (Oral)

[51]  H.S. Wasisto, L. Doering, S. Merzsch, J. Kähler, A. Waag, E. Uhde, E. Peiner (2011) Design and modeling of thermally excited microcantilever sensors for airborne nanoparticles mass detection. Proceedings of MikroSystemTechnik Kongress 2011, Darmstadt, Germany. (Poster)

[52]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2011) A resonant cantilever sensor for monitoring airborne nanoparticles. Proceedings of the 16th International Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems Conference (TRANSDUCERS 2011), Beijing, Republic of China, 1116–1119. (Poster) 

[53]  H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Stranz, A. Waag, E. Uhde, I. Kirsch, T. Salthammer, E. Peiner (2011) Use of self-sensing piezoresistive Si cantilever sensor for determining carbon nanoparticle mass. Proceedings of the SPIE 8066, Smart Sensors, Actuators, and MEMS V, Prague, Czech Republic, 806623. (Poster)

[54]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2011) Low weight electrostatic sampler for airborne nanoparticles. Proceedings of the IEEE Sensors 2011 Conference, Limerick, Ireland, 1177–1180. (Poster)

[55]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, A. Waag, E. Peiner (2011) Membran- und Cantileverherstellung mittels ICP-Kryo-Tiefenätzverfahren aus Silizium-Bulk-Material. Proceedings of MikroSystemTechnik Kongress 2011, Darmstadt, Germany. (Poster)

[56]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, A. Waag, I. Kirsch, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2011) Cleaning of nanopillar templates for nanoparticle collection using PDMS. Proceedings of SPIE 8068, Bioelectronics, Biomedical, and Bioinspired Systems and Nanotechnology V, Prague, Czech Republic, 806819. (Poster)

[57]  E. Uhde, I. Kirsch, H.S. Wasisto, S. Merzsch, A. Waag, E. Peiner (2011) Direct mass determination of ultrafine aerosols using a micro-scale sensor. Proceedings of the 12th International Conference on Indoor Air Quality and Climate (Indoor Air 2011), Austin, TX, USA. (Poster)

[58]  H.S. Wasisto, G. Sheu, S.-M. Yang, R.O. Sihombing, Y. Guo, S.-H. Tu, C.-H. Lee, Y.-L. Chin, J.-S. Jan (2010) A novel 800V multiple RESURF LDMOS utilizing linear p-top rings. Proceedings of IEEE TENCON 2010 Conference, Fukuoka, Japan, 75–79. (Oral)

[59]  S. Merzsch, H.S. Wasisto, Ü. Sökmen, A. Waag, E. Uhde, T. Salthammer, E. Peiner (2010) Mass measurement of nanoscale aerosol particles using a piezoelectrically actuated resonant sensor. IEEE Sensors 2010 Conference, Hawaii, USA. (Poster)

[60]  R.O. Sihombing, G. Sheu, S.-M. Yang, H.S. Wasisto, Y.-F. Guo, S.-H. Tu, Y.-L. Chin, J.-S. Jan, C.-H. Lee (2010) An 800 volts high voltage interconnection level shifter using Floating Poly Field Plate (FPFP) method. Proceedings of IEEE TENCON 2010 Conference, Fukuoka, Japan, 71–74. (Oral)


 

 

Kontakt „OptoSense”

 

nn

Dr.-Ing. Hutomo Suryo Wasisto

Technische Universität Braunschweig,
Laboratory for Emerging Nanometrology (LENA),
Institut für Halbleitertechnik (IHT),
Optoelectromechanical Integrated Nanosystems for Sensing (OptoSense) Group

Hans-Sommer-Str. 66, D-38106 Braunschweig,
Telefon: +49 (0) 531 391-3167
h.wasisto@tu-bs.de

https://www.tu-braunschweig.de/mib/lena/nachwuchsgruppen/optosense
https://www.tu-braunschweig.de/iht

 

 

 

 

 


  aktualisiert am 29.05.2017
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