TU BRAUNSCHWEIG

apl. Prof. Dr. rer. nat. Erwin Peiner (Akad. Dir.)

Erwin Peiner

Institut für Halbleitertechnik

TU Braunschweig

Hans-Sommer-Straße 66

38106 Braunschweig  

Tel. 0531 391-3761

Fax 0531 391-5844

E-Mail: E.Peiner@tu-braunschweig.de

 

Arbeitsgebiete:

  • Piezoresistive MEMS-Cantileversensoren
  • Taktile Sonden für Mikrobohrungen mit hohem Schachtverhältnis (Spritzlö­cher von Kraft­stoffeinspritzdüsen)
  • Ultrafeinstaub-Monitoring mit MEMS-Resonatoren
  • MEMS-Kraftsensoren für den µN/nN-Bereich
  • Drucksintertechnik für die Chip-Montage
  • Thermoelektrische Generatoren/Kühler für hohe Einsatztemperaturen

Lehre:

  • Aufbau- und Verbindungstechnik in der Elektronik
  • Halbleitersensoren - Grundlagen und Anwendungen
  • Halbleitermesstechnik
  • Vorlesung/Übung Grundlagen der Elektronik
  • Übung Werkstoffphysik

Lebenslauf:

1960       geb. in Bad Münstereifel, Rheinland

Schulausbildung:

1966-70   Katholische Volksschule, Antweiler, Kreis Euskirchen, Rheinland
1970-79   Abitur, Emil-Fischer-Gymnasium Euskirchen

Wehrdienst:

1979-80   Grundwehrdienst, Pionier-Batallion 610, Lübeck

Akademische Laufbahn:

1980-82    Vordiplom Physik/Mathematik, Universität Bonn
1982-85    Diplom Physik, Universität Bonn, Wahlpflichtfach: Informatik

1985-88    Promotion Dr. rer. nat., Universität Bonn bei Prof. Dr. Konrad Kopitzki:

                 Neuartige Legierungen durch Ionenstrahlmischen
                Nebenfach: Theoretische Chemie

1986-88     Graduierten-Stipendium Land Nordrhein-Westfalen      
1989-2000 Habilitation, Halbleitertechnik, Technische Universität Braunschweig

                 Siliziumsensoren für die Maschinenüberwachung

seit 2015   außerplanmäßiger Professor

Berufliche Tätigkeiten:

1985-88    Wiss. Hilfskraft/Angest., Univ. Bonn, Inst. f. Strahlen- u. Kernphysik

seit 1989   Gruppenleiter, Ak. Dir. (seit 2008), TU Braunschweig
                 Halbleitersensorik/Mikrosystemtechnik 

1992         Forschungsaufenthalt: Inst. f. Halbleiterphysik, Frankfurt (Oder)
                 Halbleitermesstechnik            

2002         Industrietätigkeit: Volkswagen AG, Wolfsburg, Elektronik-Forschung
                 Zylinderdrucksensorik  

Mitarbeit in Gremien:

seit 2008  im ITG-GMM-Fachausschuss 4.7/Programmausschuss des Workshops
                Mikro-Nano-Integration

seit 2009  im Programmausschuss der SPIE-Konferenz
                Smart Sensors, Actuators and MEMSseit
seit 2015  Co-Chair

2011-16   im Kuratorium des St. Jakobushauses Goslar,
               Akademie der Diözese Hildesheim

 

 Projekte:

  • 08/2003 – 03/2005: "Die Intelligente Kraftmessung: Innovativer diamantartiger Kraftsensor für die Verschraubungs- und Spanntechnik - Teilvorhaben: Anwendungsbezogene Weiterentwicklung des Schichtmaterials, kurz: DiaKra", gefördert durch BMWA, 16IN0223, Verbundprojekt mit Fraunhofer-IST (Dipl.-Ing. Lüthje), Fraunhofer-IMS, Univ. Erlangen und vier Industriepartnern.
  • 01/2005 – 06/2008: "Prüfung und Bewertung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik, kurz: µgeoMess - Teilvorhaben: Vorentwicklung und Optimierung eines Mikrotasters, kurz: µTast", BMBF, 16SV1944, Verbundprojekt mit Mahr GmbH (Dr. Beutler), PTB, CiS GmbH, Fraunhofer-ICT-IMM und Continental Automotive GmbH.
  • 01/2009 – 11/2014: "Geothermie und Hochleistungsbohrtechnik, kurz: GeBo - Teilprojekt T2: Aufbau- und Verbindungstechnik für Hochtemperatur-Elektronik", zusammen mit Prof. Dr. A. Waag, gefördert durch Land Niedersachsen und Baker-Hughes-INTEQ GmbH, Verbundprojekt mit TU Clausthal, LU Hannover und LIAG.
  • 06/2009 – 08/2012: "Nanostrukturierte Thermoelektrika: Silicon-based thermoelectric nanosystems, kurz: SiNanoTherm", zusammen mit Prof. Dr. A. Waag, gefördert durch DFG, SPP 1386/1, PE 885/2-1, mit Univ. Würzburg (Prof. Brunner).
  • 05/2010 – 10/2013: "Nanobalancedetektor für personenbezogene Messungen von Nanopartikel-Expositionen, kurz: NanoExpo (Verbundkoordinator) - Teilprojekt: Nanopartikeldosimeter, kurz Nosi", zusammen mit Prof. Dr. A. Waag, gefördert duch BMBF, 03X0098A, Verbundprojekt mit Fraunhofer-WKI (Dr. Uhde, Prof. Salthammer).
  • 08/2013 – 01/2017: "Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis, kurz: HmtS", (Verbundkoordinator) gefördert durch BMBF, 03V0409, Verbundprojekt mit PTB (Dr. Brand).
  • 09/2015 – 12/2016: "Synthese von kristallinem Silizium auf Quarzsubstrat, kurz: c-Si-on-Quartz", gefördert durch DBU, Az.: 32945/01- 24, Verbundprojekt mit sameday media GmbH (Dr. Ingrid Schall).
  • 04/2015 – 03/2018: "Atomarer Transport in dreidimensionalen Silizium und Germanium Nanostrukturen, kurz Nanodiff", gefördert durch DFG, PE 885/3-1, mit Univ. Münster (Prof. Bracht).
  • 04/2017 – 03/2018: "Synthese von multikristallinem Dünnschicht-Silizium für die elektronische Anwendung - crystalline silicon synthesis( CSS)", gefördert durch DBU, Az.: 32945/2, Verbundprojekt mit sameday media GmbH (Dr. Ingrid Schall).
  • 11/2016 – 10/2021: "Forschungslinie Quanten- und Nanometrologie (QUANOMET): Nachwuchsgruppe Nanopartikel Charakterisierung (NP2) (PI)", gefördert durch NMWK; ZN3245.

Publikationen:

 

Dissertation/Habilitationschrift/Buchkapitel

E. Peiner: Herstellung metastabiler Legierungen binärer Systeme mitpositiver Bildungsenthalpie mit Hilfe der ionenstrahl-induziertenDurchmischung, UniversitätBonn (1988) 

E. Peiner: Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung,Berichte aus der Halbleitertechnik, Shaker Verlag, Aachen (2000) 

E. Peiner, "Compliant Tactile Sensors for High-Aspect-Ratio Form Metrology", in "Sensors - Focus on Tactile, Force and Stress Sensors" (I-Tech Education and Publication, Vienna, 2008, invited).

Beiträge in internationalen, begutachteten Zeitschriften

  1. J. Meissner, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Ion Beam Mixing of selected binary systems of metals of different crystalline structures", Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B 19/20 (1987) 669-672.
  2. E. Peiner, K. Kopitzki, "Metastable phases formed by Ion Beam Mixing of binary metal systems with positive heats of formation", Nucl. Instr. and Meth. in Phys. Res. B 34 (1988) 173-180.
  3. W. Hiller, M. Buchgeister, P. Eitner, K. Kopitzki, V. Lilienthal, E. Peiner, "Ion Beam Mixing of Selected Binary Metal Systems with Large Positive Heats of Formation", Mater. Sci. Eng. A 115 (1989) 151-154.
  4. M. Buchgeister, W. Hiller, W. Jager, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Different Crystalline Structures of Ruthenium-rich Metastable Phases Formed by Ion Beam Mixing of the Binary Systems Au-Ru and Ag-Ru", Mater. Sci. Eng. A 115 (1989) 155-160.
  5. E. Peiner, A. Schlachetzki, "Anodic Dissolution during Electrochemical Carrier-Concentration Profiling of Silicon", J. Electrochem. Soc. 139 (1992) 552-557.
  6. K. Hansen, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Burkhard, "Anisotropy and Lateral Homogeneity of InP-Mass Transport", Jpn. J. Appl. Phys. 31 (1992) L1153-L1156. 
  7. E. Peiner, A. Schlachetzki, "Automatic Counting of Etch Pits in InP", J. Electron. Mater. 21 (1992) 887-892. 
  8. G.-P. Tang, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Lubnow, G. Zwinge, A. Schlachetzki, J. Hergeth, "A new maskless selective-growth process for InP on (100) Si", J. Appl. Phys. 72 (1992) 4366-4368.
  9. K. Hansen, E. Peiner, A. Schlachetzki, W. Mohling, H. Menniger, "Zn-doped InGaAsP (1.3 µm) contact layer for an inverted DH laser structure", J. Cryst. Growth, 125 (1992) 465-476. 
  10. K. Hansen, E. Peiner, G.-P. Tang, A. Schlachetzki, "A Theoretical Model of InP Mass Transport", Jpn. J. Appl. Phys. 32 (1993) 234-238. 
  11. R. Klockenbrink, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Schlachetzki, "Wet Chemical Etching of Alignment V-Grooves in (100) InP through Titanium or In0.53Ga0.47As Masks", J. Electrochem. Soc. 141 (1994) 1594-1599. 
  12. A. Lubnow, G.-P. Tang, H.-H. Wehmann, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Effect of III/V-Compound Epitaxy on Si Metal-Oxide-Semiconductor Circuits", Jpn. J. Appl. Phys. 33 (1994) 3628-3634. 
  13. K. Hansen, E. Peiner, A. Schlachetzki, M. von Ortenberg, "Dopant Activation Energy and Hole Effective Mass in Heavily Zn-Doped InP", J. Electron. Mater. 23 (1994) 935-941. 
  14. K. Hansen, E. Peiner, G.-P. Tang, A. Bartels, A. Schlachetzki, "Scattering mechanisms and defects in InP epitaxially grown on (001) Si substrates", J. Appl. Phys. 76 (1994) 4705-4712. 
  15. E. Peiner, K. Hansen, A. Schlachetzki, "Thickness control of InP and In0.53Ga0.47As thin films by energy-dispersive X-ray spectrometry, Thin Solid Films 256 (1995) 143-147. 
  16. E. Peiner, A. Schlachetzki, D. Kruger, "Doping Profile Analysis in Si by Electrochemical Capacitance- Voltage Measurements", J. Electrochem. Soc. 142 (1995) 576-580.
  17. R. Klockenbrink, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Schlachetzki, "Area-selective Diffusion of Zn in InP/In0.53Ga0.47As/InP for Lateral pn Photodiodes", J. Electrochem. Soc. 142 (1995) 985-989. 
  18. A. Bartels, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Substrate effect on the transport properties of semiconducting films", J. Appl. Phys. 77 (1995) 1621-1626. 
  19. A. Bartels, E. Peiner, R. Klockenbrink, A. Schlachetzki, "The distribution of charge concentration in InP/Si", J. Appl. Phys. 78 (1995) 224-228. 
  20. A. Bartels, E. Peiner, A. Schlachetzki, "A procedure for temperature-dependent, differential van der Pauw measurements", Rev. Sci. Instrum. 66 (1995) 4271-4276. 
  21. A. Bartels, E. Peiner, A. Schlachetzki, "The effect of dislocations on the transport properties of III/V-compound semiconductors on Si", J. Appl. Phys. 78 (1995) 6141-6146. 
  22. R. Klockenbrink, E. Peiner, A. Bartels, H.-H. Wehmann, A. Schlachetzki, "Performance of InGaAs Photodetectors: Lateral p-n and p-n-p Diodes", IEEE Phot. Technol. Lett. 7 (1995) 1480-1482. 
  23. R. Kuzmenko, A. Gansha, J. Schreiber, W. Kircher, S. Hildebrandt, S. Mo, E. Peiner, "Stress- Induced E0 Photoreflectance Spectra on GaAs/Si and InP/Si Heterostructures", phys. stat. sol (a) 152 (1995) 133-146. 
  24. E. Peiner, K. Hansen, M. Lübbe, A. Schlachetzki, "Unintentional Redistribution of Zn in In- GaAsP/InP Heterostructures", Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 557-563. 
  25. E. Peiner, S. Mo, H. Iber, G.-P. Tang, A. Schlachetzki, "Characterization of thin buffer layers for strongly mismatched heteroepitaxy", Thin Solid Films 283 (1996) 226-229. 
  26. A. Bartels, E. Peiner, G.-P. Tang, R. Klockenbrink, H.-H. Wehmann, A. Schlachetzki, "Performance of InGaAs Metal-Semiconductor-Metal Photodetectors on Si", IEEE Phot. Technol. Lett. 8 (1996) 670-672. 
  27. H. Iber, E. Peiner, A. Schlachetzki, "The effect of dislocations on the optical absorption of heteroepitaxial InP and GaAs on Si", J. Appl. Phys. 79 (1996) 9273-9277. 
  28. S. Mo, E. Peiner, A. Bartels, G.-P. Tang, A. Schlachetzki, R. Kuzmenko, S. Hildebrandt, J. Schreiber, "Photoreflectance Study on the Effect of Lattice Defects in InP on (001) Si", Jpn. J. Appl. Phys. 35 (1996) 4238-4246. 
  29. L. Malacký, R. Kúdela, M. Morvic, M. Cernianský, E. Peiner, H.-H. Wehmann, "Delta-doped InGaP grown by low pressure metalorganic chemical vapor deposition", Appl. Phys. Lett. 69 (1996) 1731-1733. 
  30. L. Kempen, U. Harms, H. Neuhäuser, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Internal Friction of Amorphous Zr65Al7.5Cu27.5-Films", J. de Physique IV (suppl. au J. de Physique III 6) (1996) C8-643 - C8-646. 
  31. E. Peiner, H.-H. Wehmann, H. Iber, S. Mo, G.-P. Tang, A. Bartels, A. Schlachetzki, A. Koch, K. Dettmer, M. Hollfelder, "High-quality In0.53Ga0.47As on exactly (001)-oriented Si grown by metal-organic vapour-phase epitaxy", J. Cryst. Growth 172 (1997) 44-52. 
  32. H. Iber, S. Mo, E. Peiner, G. Vollrath, A. Schlachetzki, F. Fiedler, "Characterization of surface damage in dry-etched InP", Semicond. Sci. Technol. 12 (1997) 755-759. 
  33. H. Fritsch, R. Lucklum, T. Iwert, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "A low-frequency micromechanical resonant vibration sensor for wear monitoring", Sensors and Actuators A 62 (1997) 616-620. 
  34. H. Fritsch, T. Iwert, R. Mikuta, P. Hauptmann, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Kontinuierliche Lagerüberwachung und -diagnose mit resonanten mikromechanischen Vibrationssensoren", Technisches Messen 65 (tm 6/98) (1998) 229-235. 
  35. E. Peiner, D. Scholz, A. Schlachetzki, P. Hauptmann, "A micromachined vibration sensor based on the control of power transmitted between optical fibres", Sens. Actuators A 65 (1998) 23-29. 
  36. E. Peiner, D. Scholz, K. Fricke, A. Schlachetzki, P. Hauptmann, "Microelectromechanical Vibration Sensor with Optical Interconnects", J. Microelectromechanical Systems 7 (1998) 56- 61. 
  37. E. Peiner, K. Fricke, D. Fehly, A. Schlachetzki, P. Hauptmann, "Micromachined vibration sensor with on-chip circuitry and optical interconnects", Sens. Actuators A 68 (1998) 249-256. 
  38. S. Mo, E. Peiner, A. Schlachetzki, R. Klockenbrink, E. R. Weber, "Selected-area electronchanneling pattern as a characterization method for heteroepitaxial layers", Mater. Sci. Eng. B 56 (1998) 37-42. 
  39. E. Peiner, R. Mikuta, T. Iwert, H. Fritsch, P. Hauptmann, K. Fricke, A. Schlachetzki, "Micromachined Resonator for Cavitation Sensing", Sens. Actuators 76 (1999) 266-272. 
  40. R. V. Kuz'menko, A. V. Gansha, O. V. Bochurova, É. P. Domashevskaya, J. Schreiber, S. Hildebrandt, S. Mo, E. Peiner, "Strain-induced photoreflectance spectra in the vicinity of the E0 transition in GaAs/Si and InP/Si heterostructures", Phys. Sol. St. 41 (1999) 654-659. 
  41. K. Fricke, E. Peiner, M. Chahoud and A. Schlachetzki, "Fracture properties of epitaxial InP microcantilevers by heteromicromachining", Sens. Actuators 76 (1999) 395-402. 
  42. R. V. Kuz'menko, A. V. Gansha, O. V. Bochurova, É. P. Domashevskaya, J. Schreiber, S. Hildebrandt, S. Mo, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Temperature Dependence of Residual Stress in Epitaxial GaAs/Si Films Determined from Photoreflectance Spectroscopy Data", Semiconductors 34 (2000) 73-80. 
  43. U. Harms, F. Klose, H. Neuhäuser, K. Fricke, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Anelastic Properties of Aluminum Thin Films on Silicon Cantilevers", J. Alloys and Compounds 310 (2000) 449-453. 
  44. E. Peiner, K. Fricke, I. Behrens, A. Bakin, A. Schlachetzki, "Hetero-Micromachining of Epitaxial III/V-Semiconductors", Sens. Actuators 85 (2000), 324-329. 
  45. A. Bakin, I. Behrens, A. Ivanov, E. Peiner, D. Piester, H.-H. Wehmann, A. Schlachetzki, "Growth of 3C-SiC on Si(100) by LPCVD and Patterning of the Grown Layers", Mater. Sci. Forum 389-393 (2002) 327-330. 
  46. F. B. Klose, U. Harms, H. Neuhäuser, A. Bakin, I. Behrens, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Schlachetzki, J. Rösler, "Elastic and anelastic properties of Fe doped InP films on silicon substrates", J. Appl. Phys. 91 (2002) 9031-9038. 
  47. I. Behrens, E. Peiner, A. Bakin, A. Schlachetzki, "Micromachining of Silicon Carbide on Silicon Fabricated by Low Pressure Chemical Vapour Deposition", J. Micromech. Microeng. 12 (2002) 380-384.
  48. Erwin Peiner, "Condition Monitoring with Axle Box Bearings Using Microelectromechanical Vibration Sensors", J. Micromech. Microeng. 12 (2002) 479-485. 
  49. E. Peiner, A. Guttzeit, H.-H. Wehmann, "Effect of threading dislocations on optical absorption and electron scattering in strongly mismatched heteroepitaxial III-V compound semiconductors on silicon", J. Phys: Cond. Mat. 14 (2002) 13195-13201. 
  50. A. Bakin, D. Piester, I. Behrens, H.-H. Wehmann, E. Peiner, A. Ivanov, D. Fehly, A. Schlachetzki, "Growth of InP Layers on Nanometer-Scale Patterned Si Substrates", Crystal Growth & Design, 3 (2003) 89-93. 
  51. I. Behrens, L. Doering, E. Peiner, "Piezoresistive Cantilever as Portable Micro Force Calibration Standard", J. Micromech. Microeng. 13 (2003) 171-177. 
  52. A. Koeder, S. Frank, W. Limmer, W. Schoch, V. Avrutin, R. Sauer, A. Waag, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Depth dependence of magnetic and electric properties in GaMnAs layers", Int. J. Nanoscience 3 (2004) 115-121. 
  53. A. Nagy, A. Strahl, H. Neuhäuser, S. Schrader, I. Behrens, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Mechanical spectroscopy of thin layers of PPV polymer on Si substrates", Mater. Sci. Eng. A 370 (2004) 311-315. 
  54. W. Limmer, A. Koeder, S. Frank, V. Avrutin, W. Schoch, R. Sauer, K. Zuern, P. Ziemann, E. Peiner, A. Waag, "Effect of annealing on the depth profile of hole concentration in (Ga,Mn)As", Phys. Rev. B 71 (2005) 205213.
  55. E. Peiner, L. Doering, "Force Calibration of Stylus Instruments using silicon microcantilevers", Sens. Actuat. A 123-124 (2005) 137-145. 
  56. E. Peiner, A. Tibrewala, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje, L. Doering, "Micro force sensor with piezoresistive amorphous carbon strain gauge", Sens. Actuat. A 130-131 (2006) 75-82. 
  57. A. Tibrewala, E. Peiner, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje, T. Rabe, "Transport and optical properties of amorphous carbon and hydrogenated amorphous carbon films", Appl. Surf. Sci. 252 (2006) 5387-5390. 
  58. A. Tibrewala, E. Peiner, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje, "Piezoresistive gauge factor of diamond-like carbon films", J. Micromech. Microeng. 16 (2006) S75-S81. 
  59. A. Tibrewala, E. Peiner, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje,"Piezoresistive effect in amorphous carbon thin films", Mater. Sci. Technol. 23 (2007) 362-367. 
  60. Erwin Peiner, Arti Tibrewala, Ralf Bandorf, Holger Lüthje, Lutz Doering, Wolfgang Limmer, "Diamond-like carbon for MEMS", J. Micromech. Microeng. 17 (2007) S83-S90. 
  61. A. Tibrewala, E. Peiner, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje, "The piezoresistive effect in diamond-like carbon films", J. Micromech. Microeng. 17 (2007) S77-S82. 
  62. A. Tibrewala, E. Peiner, R. Bandorf, S. Biehl, H. Lüthje, "Longitudinal and transversal piezoresistive effect in hydrogenated amorphous carbon films", Thin Solid Films 515 (2007) 8028-8033.
  63. Erwin Peiner, Lutz Doering, Michael Balke, Andreas Christ, "Silicon Cantilever Sensor for Micro-/Nanoscale Dimension and Force Metrology", Microsyst. Technol. 14 (2008) 441-451. 
  64. M. Balke, E. Peiner, L. Doering, "New micromachined sensor system for tactile measurements of high-aspect ratio microstructures", Microsyst. Technol.,14 (2008) 543-549. 
  65. Erwin Peiner, Lutz Doering, Michael Balke, Andreas Christ, "Kontur-, Rauheits- und Kraftmesstechnik mit Silizium-Cantileversonden", Technisches Messen 75 (2008) 99-109. 
  66. E. Peiner, M. Balke, L. Doering, U. Brand, "Tactile probes for dimensional metrology with micro components at nanometre resolution", Meas. Sci. Technol. 19 (2008) 064001 (8pp). 
  67. Haramina, T., Kirchheim, R., Tibrewala, A., Peiner, E., "Mechanical spectroscopy of thin polystyrene films", Polymer 49 (2008) 2115-2118. 
  68. S. Fündling, Ü. Sökmen, E. Peiner, T. Weimann, P. Hinze, U. Jahn, A. Trampert, H. Riechert, A. Bakin, H.-H. Wehmann, A. Waag, "Gallium-nitride heterostructures on 3D structured silicon", Nanotechnol. 19 (2008) 405301 (6pp). 
  69. Erwin Peiner, Lutz Doering, Michael Balke, "Slender Tactile Sensor for Contour and Roughness Measurements within Deep and Narrow Holes", IEEE Sensors J. 8 (2008) 1960-1967. 
  70. Erwin Peiner, Michael Balke, Lutz Doering, "Form Measurement Inside Fuel Injector Nozzle Spray Holes", Microelectron. J. 86 (2009) 984-986. 
  71. S. Fündling, S. F. Li, Ü. Sökmen, S. Merzsch, P. Hinze, T. Weimann, U. Jahn, A. Trampert, H. Riechert, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Waag, "Three-dimensionally structured silicon as a substrate for the MOVPE growth of GaN nanoLEDs", phys. stat. sol. (a) 206 (2009) 1194-1198. 
  72. Uwe Brand , Vladimir Nesterov, Lutz Doering, Sebastian Bütefisch, Erwin Peiner, Stefanus Büttgenbach, Joachim Frühauf, "Neue taktile Sensoren für die Mikro- und Nanotechnik", Technisches Messen 76 (2009) 323-331. 
  73. Ü. Sökmen, A. Stranz, S. Fündling, H.-H. Wehmann, V. Bandalo, A. Bora, M. Tornow, A. Waag and E. Peiner, "Capabilities of ICP-RIE cryogenic dry etching of silicon: review of exemplary microstructures", J. Micromech. Microeng. 19 (2009) 105005 (8pp). 
  74. S. F. Li , S. Fündling, Ü. Sökmen, S. Merzsch, R. Neumann, P. Hinze, T. Weimann, U. Jahn, A. Trampert, H. Riechert, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Waag, " GaN and LED structures grown on pre-patterned sili- con pillar arrays", Phys. Status Solidi C 1 4 (2009) / DOI 10.1002/pssc.200982608. 
  75. Erwin Peiner, Lutz Doering, "MEMS cantilever sensor for non-destructive metrology within high-aspect-ratio micro holes", Microsyst. Technol. 16 (2010) 1259-1268, DOI 10.1007/s00542-009-0951-x. 
  76. A. Stranz, Ü. Sökmen, H.-H. Wehmann, A. Waag, E. Peiner, "Fabrication and Characterization of Nanopillars for Silicon-Based Thermoelectrics", J. Electron. Mater. 39 (2010) 2013-2016, DOI: 10.1007/s11664-009-1015-9.
  77. Ü. Sökmen, A. Stranz., S. Fündling, S. Merzsch, R. Neumann, H.-H. Wehmann, E. Peiner, A. Waag, "Shallow and deep dry etching of silicon using ICP cryogenic reactive ion etching process", Microsyst Technol 16 (2010) 863–870.
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  3. M. Buchgeister, W. Hiller, K. Kopitzki, E. Peiner, "Ion BeamMixing of the Binary Systems Au-Ru and Au-W", ibid. 141-143.
  4. S. Sacré, K. Kopitzki, G. Mertler, E. Peiner, "Stability ofAu24Ru76 metastable phases", ibid. 143.
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  61. Arti Tibrewala, Anurak Phataralaoha, Erwin Peiner, Ralf Bandorf, Stephanus Büttgenbach, "Piezoresistive effect in DLC Films and Silicon", Techn. Proc. of the 2007 NSTI Nanotechnology Conf. and Trade Show, Vol. 3 (Nanotech 2007), Santa Clara, CA, May 20-24, pp. 17-20.
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  66. E. Peiner, M. Balke, L. Doering, "Taktile Sensoren für Kontur- und Rauheitsmessungen an Mikrosystemen und -komponenten mit Nanometerauflösung", 14. GMA/ITG-Fachtagung "Sensoren und Messsysteme 2008", 11. und 12. März 2008, Ludwigsburg, VDI-Ber. 2011, S. 169-178,Best Paper Award
  67. José Luis Sánchez-Rojas, J. Hernando, J. Vázquez, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Ababneh and U. Schmid, "Nanoelectromechanical characterization of piezoelectric microcantilevers", Intern. congr. & exhib. nanobiotechnology (Nanobioeurope2008), June 09-13, 2008, Barcelona. 
  68. U. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid, "Dry Etching of Sputter-Deposited AlN-Thin Films for the Realization of Piezoelectric MEMS", Proc. 19th MicroMecha- nics Europe Workshop, (MME 08), September 28-30, 2008, Aachen. 
  69. U. Sökmen, M. Balke, A. Stranz, E. Peiner, S. Fündling, H.-H. Wehmann, A. Waag, "Optimization of ICP Deep Cryogenic Dry Etching of Silicon", Proc. 19th MicroMechanics Europe Workshop, (MME 08), September 28-30, 2008, Aachen. 
  70. Erwin Peiner, Michael Balke, Lutz Doering, "Form Measurement Inside Fuel Injector Nozzle Spray Holes", Proc. 34th Intern. Conf. Micro&Nano Engineering (MNE 2008), 15-18 September 2008, Athen, NMT-P09. 
  71. Sönke Fündling, Shunfeng Li, Ünsal Sökmen, Peter Hinze, Thomas Weimann, Uwe Jahn, Achim Trampert, Henning Riechert, Erwin Peiner, Hergo-Heinrich Wehmann, Andreas Waag, "3D Structured Silicon as a Substrate for the MOVPE Growth of GaN NanoLEDs", Intern. Workshop Nitride Semicond. (IWN 2008), Oct. 6-10, 2008, Montreux (invited). 
  72. Shunfeng Li, Sönke Fündling, Ünsal Sökmen, Erwin Peiner, Hergo-Heinrich Wehmann, An- dreas Waag, Peter Hinze, Thomas Weimann, Uwe Jahn, Achim Trampert, Henning Riechert, "Growth of GaN NanoLED structures on 3D patterned Silicon substrates by MOVPE", 3rd Intern. Workshop Nanowire Growth Mechanisms, 15.-16.09. 2008, Duisburg. 
  73. A. Stranz, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, "Sapphire on silicon assembly using a nanostructured compliant interface", Techn. Dig. 22nd Intern. Conf. Eurosensors XXII, 7.-10.9. 2008, Dresden. 
  74. Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid, "ICP Cryogenic Dry Etching of AlN Thin Films Deposited Freestanding Silicon Cantilevers for the Realisation of a Resonator for Mass Sensing", Proc. Intern. Conf. Smart Syst. Int. 2009, Bruxelles, March 10./11., 2009, CD-ROM, (AKA, Heidelberg, 2009) ISBN 978-3-89838-616-6.
  75. Erwin Peiner, Lutz Doering, "MEMS cantilever sensor for non-destructive metrology within high-aspect-ratio micro holes", Proc. Intern. Conf. Design, Technol., Integr., Packaging of MEMS/MOEMS (DITP 2009), Rome, 1-3 April 2009 (EDA Publishing/DTIP 2009, ISBN: 978-2-35500-009-6), pp. 369-374. 
  76. A. Ababneh, G. Marchand, H. Seidel, J. Hernando, J.L. Sánchez-Rojas, Ü. Sökmen, E. Pei- ner, U. Schmid, "Comparison Between AlN Thin Films with Different Crystal Orientation for MEMS Applications", Proc. SPIE Conf. "Microtechnologies for the New Millennium 2008", Vol. 7362, Dresden, 4 - 6 May 2009. 
  77. Ü. Sökmen, M. Balke, A. Stranz, S. Fündling, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Waag, "ICP Cryogenic Dry Etching for Shallow and Deep Etching in Silicon", SPIE Conf. "Microtechnologies for the New Millennium 2008", Vol. 7362, Dresden, 4 - 6 May 2009. 
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  79. Sönke Fündling, Shunfeng Li, Ünsal Sökmen, Stephan Merzsch, Richard Neumann, Erwin Peiner, Hergo-Heinrich Wehmann, Andreas Waag, Peter Hinze, Thomas Weimann, Uwe Jahn, Achim Trampert, Henning Riechert, "MOVPE Grown GaN Structures on Silicon Pillar Arrays", Ext. Abstr. EW-MOVPE XIII, Ulm, 7-10. June 2009, S. 159-162 
  80. S.F. Li, S. Fündling, Ü. Sökmen, S. Merzsch, R. Neumann, J. Ledig, P. Hinze, T. Weimann, U. Jahn, A. Trampert, H. Riechert, E. Peiner, H.-H. Wehmann, A. Waag, "GaN Nanorods on Deep Etched Silicon for Solid State Lighting", SPIE Symp. on SPIE Optical Engin. + Appl., "Ninth Internat. Conf. on Solid State Lighting", San Diego, California, USA, 2-6 August 2009 (invited). 
  81. E. Peiner, L. Doering, A. Stranz, "Tactile Metrology for High-Aspect-Ratio Micro Bores", Mikrosystemtechnik-Kongress 2009, 12. - 14. Oktober, Berlin, 2009, (VDE-Verlag, Berlin-Offenbach, 2009). 
  82. H. Bartuch, S. Völlmeke, L. Doering, U. Brand, E. Peiner, "Wafer Scale Fabrication of Piezoresistive Cantilever Sensors", Mikrosystemtechnik-Kongress 2009, 12. - 14. Oktober, Berlin, 2009, (VDE-Verlag, Berlin-Offenbach, 2009). 
  83. A. Stranz, Ü. Sökmen, A. Waag, E. Peiner, "Fabrication and Characterization of Nanopillars for Silicon-based Thermoelectrics", 28th Intern. Conf. Thermoelectrics and 7th Europ. Conf. Thermoelectrics, Freiburg, July 26 - 30, 2009. 
  84. Ünsal Sökmen, Andrej Stranz, Andreas Waag, Abdallah Ababneh, Helmut Seidel, Ulrich Schmid, Erwin Peiner, "Realization of AlN Sputter-Deposited Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing", Proc. Micromechanics & Microengineering Europe 2009 (MME 09), Toulouse, 20-22 Sept., 2009. 
  85. Shunfeng Li, Sönke Fündling, Ünsal Sökmen, Richard Neumann, Stephan Merzsch1, Johannes Ledig, Peter Hinze, Thomas Weimann, Uwe Jahn, Achim Trampert, Henning Riechert, Erwin Peiner, Hergo-Heinrich Wehmann, Andreas Waag, "GaN Nanorods and LED Structures Grown on Patterned Si and AlN/Si Substrates by Selective Area Growth", Intern. Conf. Nitride Semicond., 2009, ICC Jeju, Jeju, Korea, October 18-23. 
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  91. A. Stranz, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, "Messung von thermoelektrischen Eigenschaften an Silizium-basierten Nanosäulen", 2. GMM Workshop "Mikro-Nano-Integration", Erfurt, 3./4. März 2010, ISBN 978-3-8007-3216-6, (VDE, Berlin, 2010) 116-119.
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  101. A. Stranz, J. Kähler, A. Waag, E. Peiner, "Nanostructured silicon for thermoelectric", Smart Sensors, Actuators and MEMS (EMT101) in SPIE International Symposium on Microtechnologies, Prag, 18 - 20 April 2011, Proc. SPIE 8066, 80662I (2011); doi:10.1117/12.886841.
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  2. L. Kempen, H. Neuhäuser, J. Graßmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Charakterisierung beschichteter Siliziumzungen durch Messung der inneren Reibung", Hauptversammlung der Deutschen Gesellschaft für Materialkunde, Bochum, 6.-9. Juni 1995.
  3. H. Fritsch. R. Mikuta, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Mikromechanische resonante Vibrationssensoren - Neue Möglichkeiten für die Maschinen- und Produktzustandsdiagnostik", MIicro-Engineering '95, Stuttgart, 27.-29. September 1995.
  4. R. Mikuta, P. Hauptmann, H. Fritsch, D. Scholz, E. Peiner, A.Schlachetzki, "Verschleiß- und Maschinenzustandsdiagnosemittels mikromechanischer Vibrationssensoren unter Nutzung eines mechanischen Resonators", Tagungsband der 9. Kongressmesse für industrielle Messtechnik, MessComp '95, Wiesbaden, 5.-7.Sept. 1995, (Network, Hagenburg, 1995), 28-32.
  5. P. Hauptmann, R. Mikuta, H. Fritsch, E. Peiner, D. Scholz, A.Schlachetzki, "Vibrationssensoren auf der Basis des Resonanzeffekts für die Anwendung im Maschinen- und Anlagenbau", Tagungsband II der 2. Magdeburger Maschinenbau-Tage: Mechatronische Systeme im Maschinenbau - Quelle der Innovation, 14. u. 15. Sept.1995, 1-6.
  6. H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Mikromechanische resonante Vibrationssensoren für den Einsatz im Maschinen- und Anlagenbau", Innovationsmarkt SteP, Hannovermesse '96, 27. April 1996.
  7. D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, "Simulation und Fertigung mikromechanischer Strukturen für resonante Vibrationssensoren", Tagungsband zum 41. intern. wissenschaftl. Kolloq., (VDI/VDE Mikro- und Feinwerktechnik), Ilmenau, 23.-26. Sept. 1996, (W. Gens, ed.), (Technische Universität Ilmenau, 1996, ISSN 0943-7207) 141-146.
  8. R. Mikuta, H. Fritsch, P. Hauptmann, D. Scholz, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Realisierter mikromechanischer resonanter Vibrationssensor zur Maschinendiagnose", Tagungsband zum 41. intern. wissenschaftl. Kolloq., (VDI/VDE Mikro- und Feinwerktechnik), Ilmenau, 23.-26. Sept. 1996, (W. Gens, ed.), (Technische Universität Ilmenau, 1996, ISSN 0943-7207)502-506.
  9. K. Fricke, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Vibrationssensor mit optoelektronischer Schnittstelle", Tagungsband zur 4. SICAN-Herbsttagung "Mikroelektronik-Mikrosysteme", Hannover, 11./12. Nov., 1997, (SICAN, Hannover, 1997), 167-171.
  10. T. Iwert, H. Fritsch, R. Mikuta, P. Hauptmann, E. Peiner, A. Schlachetzki, "Diagnosesystem auf der Basis mikromechanischer Resonatoren zur Zustandsüberwachung von Wälzlagern", Tagungsband II der 3. Magdeburger Maschinenbau-Tage "Mechatronische Systeme im Maschinenbau - Quelle der Innovation", (Univ. Magdeburg,1997), 177-184.
  11. R. Mikuta, T. Iwert, H. Fritsch, P. Hauptmann, L. Rauchhaupt, E. Peiner, K. Fricke, A. Schlachetzki, "Diagnosesystem zur on-line-Überwachung prozess- und maschinentypischer Körperschallspektren mit CAN-Interface", Fachtagung Informations- und Mikrosystemtechnik, Univ. Magdeburg, 25.-27. März 1998, Tagungsband.
  12. R. Mikuta, E. Peiner, H. Fritsch, K. Fricke, P. Hauptmann, A.Schlachetzki, "Mikromechanischer Vibrationssensor mit sensornaher monolithisch integrierter Signalkonditionierung", 43. Intern. Kolloq., TU Ilmenau, 21.-24. Sept. 1998, Tagungsband.
  13. E. Peiner, M. Balke, H. Bartuch, S. Völlmeke, L. Doering, U. Brand, "Mikrotastsonden für die Erfassung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik", Cluster-Meeting "Mess- und Prüftechnik für den Test von Mikrosystemen (MSTPrüf)", Nürnberg, 31.5./1.6. 2006, Tagungsband (VDI, 2006), ISBN 978-3-89750-144-7. 
  14. A. Stranz, Ü. Sökmen, E. Peiner, A. Waag, "NTV-Verbindung von nanostrukturiertem Silizium auf Saphir und auf Silber", 1. GMM-Workshop "Mikro-Nano-Integration", 12./13. März, 2009, Seeheim, GMM-Fachbericht 60, (VDE, Berlin, 2009). 
  15. Ü. Sökmen, M. Suleiman, A. Waag, A. Ababneh, H. Seidel, U. Schmid and E. Peiner, "AlN on Silicon Cantilever Resonators for Mass Sensing Fabricated Using ICP-DRIE", 248. PTB-Seminar, "Nanopartikelcharakterisierung", Braunschweig, 18.-19. Mai 2009.
  16. E. Peiner, Lutz Doering, "Cantilever tactile sensors for characterization of diesel injectors", Vortrag und Poster, 3. Innovation forum for Micro Technology, Villingen, 3. Feb. 2011.
  17. Uwe Brand, Erwin Peiner, “Robustes und hochpräzises Tastsystem für Rauheitsmessungen in Mikrobohrungen”, Fachtagung “Bohren in anspruchsvollen Dimensionen”, 11. und 12. 11. 2014, Mannheim, (Hanser, München, 2014).
  18. L. Doering, U. Brand, H.S. Wasisto, E. Peiner, „Hochgeschwindigkeitsmikrotaster für die Messung an Oberflächen von Strukturen mit großem Aspektverhältnis“, Kolloquium Mikroproduktion, IKV RWTH Aachen, 16. - 17. November 2015, Aachen.
  19. G. Hamdana, M. Bertke, T. Südkamp, H. Bracht, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Hoch geordnete Nanodrähte hergestellt durch Self-Assembly von Nanopartikeln", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
  20. M. Bertke, G. Hamdana, W. Wu, M. Marks, H. S. Wasisto, E. Peiner, "Asymmetrische Resonanzfrequenzanalyse von in-plane elektrothermischeSiliziumcantilever für Nanopartikelsensoren",Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
  21. J. Xu, J. Yang, W. Wu, G. Hamdana, M. Bertke, H. S. Wasisto, E. Peiner, "ZnO nanorods-patterned piezoresistive Si cantilevers for humidity sensors", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
  22. Uwe Brand, Lutz Doering, Sai Gao, Thomas Ahbe, Sebastian Bütefisch, Zhi Li, André Felgner, Rudolf Meeß, Karla Hiller, Erwin Peiner, Thomas Frank, Stefan Reusch, "Sensors and calibration standards for precise hardness and topography measurements in micro- and nanotechnology", Proc. 6. GMM-Workshop Mikro-Nano-Integration, (VDE Conference Publications, 2016, Duisburg).
  23. W. Wu, H. S. Wasisto, E. Uhde, E. Peiner, "Autarkes MEMS-Dosimeter für personenbezogenes Nanopartikel-Monitoring - Autarkic MEMS Dosimeter for Personal Nanoparticle Monitoring”, Proc. VDE-Kongress 2016, Mannheim.

Patente

  1. C. Metz, A. Jacob, G. Oberschmidt, E. Lissel, A. Schlachetzki, H. Schröter, E. Peiner, H.-H. Wehmann, "Radarsensor und Radarantenne für ein Überwachen der Umgebung eines Kraftfahrzeuges", Deutsches Patent Nr. 199 51 123 vom 23. Oktober 1999, 13. November 2003. 
  2.  E. Lissel, A. Jacob, A. Schlachetzki, H.-H. Wehmann, E. Peiner, H. Schröter, G. Oberschmidt, C. Metz, "Radar sensor and radar antenna for monitoring the environment of a motor vehicle", internationale Patentanmeldung PCT/EP00/06010 am 28. Juni 2000, Veröffentlichung unter WO 01/09975 A2 am 8. Februar 2001. 
  3. ibid., gesonderte Anmeldung in den USA unter U.S. Serial No. 10/048,425 am 20. Juni 2000, Erteilung unter US 6,686,867 B1 am 3. Februar 2004. 
  4. E. Peiner, I. Behrens, L. Doering, "Vorrichtung zur Bestimmung topologischer und elektrischer Eigenschaften eines Probenkörpers", Deutsches Patent Nr. 103 00 988 vom 14. Januar 2003, 24. März 2005. 
  5. Lutz Doering, Erwin Peiner, Ingo Behrens, Björn Herold, "Scansonden-Mikroskop zur Bestimmung topologischer oder elektrischer Eigenschaften eines Probenkörpers sowie Verfahren zur Herstellung eines Sondenkörpers", Deutsches Patent Nr. 103 26 379 vom 12. Juni 2003, 5. April 2007.
  6. L. Doering, V. Nesterov, E. Peiner, "Mikrokraftsensor", Deutsches Patent Nr. 10 2010 012 701 vom 24. 3. 2010, erteilt am 17. 10. 2013.
  7. J. Kähler, E. Peiner, A. Stranz, A. Waag, "High temperature piezoresistive strain gauges made of Silicon-On-Insulator", US 2013/0068008 A1, WO 2012/141843 A3.
  8. Julian Kähler, Thomas Kruspe, Sebastian Jung, Gerhard Palm, Andrej Stranz, Andreas Waag, Erwin Peiner, "Method and Apparatus for Joining Members for Downhole and High Temperature Applications", US 2012/0292009 A1; WO 2012/161987 A1; GB000002511394A; NO000020131653A.
  9. Julian Kähler, Thomas Kruspe, Sebastian Jung, Andrej Stranz, Andreas Waag, Erwin Peiner, "Thermoelectric devices using sintered bonding", US 2012/0291454 A1; WO 2012/116107 A1; EP 2 810 310 A1.
  10. Stephan Merzsch, Gerhard Palm, Erwin Peiner, Andreas Waag, Frederik Steib,Verfahren zur Herstellung eines oberflächenstrukturierten Gegenstands und Verwendung einer adhäsiven Folie”, DE 10 2013 111 372 B4.
  11. Erwin Peiner, Stephan Merzsch, Hutomo Suryo Wasisto, Andreas Waag, Erik Uhde, "Gerät und Verfahren zur Messung einer Aerosolkonzentration in einem gasförmigen Medium", DE 10 2014 007 977 A1; EP 2 952 875 A1 .

Vorträge/Lectures

  1. E. Peiner, "Mikromechanischer Vibrationssensor für die Maschinenüberwachung", Vortrag im Rahmen des Graduiertenkollegseminars über nanoelektronische, mikromechanische und mikrooptische Systeme der Ruhr-Universität Bochum am 20. Januar1998, (eingeladen).
  2. E. Peiner, "Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung", Vortrag vor der Habilitationskommission, Gemeinsame Fakultät für Maschinenbau und Elektrotechnik der TU Braunschweig, am 7. Juni 1999.
  3. E. Peiner, "Nanostrukturen in Halbleitern",Wissenschaftlicher Vortrag vor der Gemeinsamen Fakultät für Maschinenbau und Elektrotechnik der TU Braunschweig im Rahmen des Habilitationsverfahrens am 7. Februar 2000.
  4. E. Peiner, "Heteromikromechanik auf Silizium", Vortrag im Rahmen des Graduiertenkollegseminars über Laser- und Teilchenspektroskopie der Universität Kaiserslautern am 9. Juni 2000, (eingeladen).
  5. E. Peiner, "Sensorik mit Halbleitern", Antrittsvorlesungan der TU Braunschweig am 30. Juni 2000.
  6. E. Peiner, "Hetero-micromachining (HMM) - a novel technology", Vortragim Rahmen des Workshops "Entwicklungstendenzen in der Sensor- und Mikrosystemtechnik", Fa. µ-Sen Mikrosystemtechnik GmbH, TU Ilmenau Fachgebiet Mikrosystemtechnik, Saale-Net GmbH, 10.Juli 2000, (eingeladen).
  7. E. Peiner, "Vibrationssensoren mit faseroptischer Auslesung für die Maschinenüberwachung", Workshop "OptischeTechnologien" im Rahmen der Veranstaltungsreihe zur"Mikrosystemtechnik in Niedersachsen", Göttingen, 20.September 2000.
  8. E. Peiner, "Mikromechanische Halbleiter-Sensoren",Vortrag bei der European Aeronautic Defense and Space Company (EADS) Airbus am 29. September 2000, (eingeladen).
  9. E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", Zweites Fachforum "Mechatronik - Funktions- und kosten-optimierte Systemlösungen", Regensburg, 21./22. Nov. 2001, (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2001), 137-158 (eingeladen). 
  10. E. Peiner "Halbleitersensorik für die Maschinenüberwachung", Kolloquium des Fachbereichs Elektrotechnik und Informationstechnik der Universität Kaiserslautern, Kaiserslautern, 14. Feb. 2002, (eingeladen). 
  11. E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", Drittes Fachforum des OTTI Technik Kollegs "Mechatronik - Funktions- und kostenoptimierte Systemlösungen", Würzburg, 13./14. Nov. 2002 (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2002) (eingeladen). 
  12. E. Peiner, "Professoren-Praktikum bei VW", 5. Treffen des Industrieberaterkreises der gemeinsamen Fakultät Maschinenbau und Elektrotechnik der Technischen Universität Braunschweig, Wolfsburg, 30. Okt. 2002, (eingeladen). 
  13. E. Peiner, "Tastsonden für die Mikrometrologie", Technische Universität Ilmenau, 31. Feb. 2004, (eingeladen). 
  14. E. Peiner, "Mikrosystemtechnik", OTTI-Profiforum "Mechatronik - Funktions- und kostenoptimierte Systemlösungen", Regensburg, 2./3. Feb. 2004 (OTTI Technik Kolleg, Regensburg, 2004) (eingeladen). 
  15. E. Peiner, "Tastsonden für die Mikro- und Nanomesstechnik, Univ. Ulm, Abt. Halbleiterphysik, 27. Apr. 2004 (eingeladen). 
  16. E. Peiner, "Mikromechanische Kragbalkensensoren", Technische Universität Bergakademie Freiberg, 22. April 2005, (eingeladen). 
  17. E. Peiner, "Cantileverbauelemente für die Mikro-/Nanomesstechnik", Universität Dortmund, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, 3. Oktober 2006 (eingeladen). 
  18. E. Peiner, "Neue Technologien zur Erzeugung von Pyramidenstrukturen", Workshop "Fertigungstechnologien für Mikrosysteme", Landesinitiative Mikrosystemtechnik Niedersachsen, TU Braunschweig, 23. Okt. 2006 (eingeladen). 
  19. E. Peiner, "Nanopartikelanalytik", 1. JOMC Statusseminar und 231. Helmholtzseminar, PTB, Braunschweig, 26. April 2007 (eingeladen).
  20. E. Peiner, "Cantileversensoren für die Mikro-/Nanomesstechnik", Lehrstuhl für Mikromechanik, Mikrofluidik/Mikroaktorik, Univ. d. Saarlandes, Saarbrücken, 14. Feb. 2008 (eingeladen).
  21. E. Peiner, "Piezoresistive Tastsensoren für die Fertigungsmesstechnik", Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik der Otto-von-Guericke-Universität Magdeburg, 9. Jan. 2009 (eingeladen). 
  22. E. Peiner, "Silizium-Tastsensoren für die Fertigungsmesstechnik", Fakultät für Maschinenbau der Leibniz Universität Hannover, 15. Jan. 2009 (eingeladen). 
  23. E. Peiner, Lectures "Applications of MEMS Sensors" und "Basics of Electronic Devices, Circuits and Sensors" incl. Tutorial für die DAAD-Sommerschule "School on Fundamentals and Materials for Novel Sensors", 13.-24. Juli 2009, Rio de Janeiro.
  24. E. Peiner, "Tastsensoren für die Erfassung geometrischer Merkmale in der Mikrosystemtechnik", Mikrosystemtechnik-Kolloquium, Technische Universität Hamburg-Harburg, 11. Nov. 2009 (eingeladen).
  25. E. Peiner, "Cantilever Sensors for Micro-/Nanometrology", GMe Forum 2012, Society for Micro- and Nanoelectronics, c/o Inst. of Sensors and Actuator Systems, Vienna Univ. of Technol., March 29 and 30, 2012 (invited).
  26. E. Peiner, "Micro-/Nanostructured Silicon for Transducers", Kolloquium über aktuelle Fragen der Materialphysik, Inst. f. Materialphysik, Univ. Münster, 13. Nov. 2012 (eingeladen).
  27. E. Peiner, "Chipmontage mit Drucksintertechnik", Vortrag im Rahmen der Eröffnung des neuen Standorts der Fa. Elsold GmbH & Co. KG in Ilsenburg, 27. Juni 2013 (eingeladen), http://www.elsold.de/fileadmin/Presse/Events/Peiner_13_Elsold_deutsch.pdf.
  28. E. Peiner, "Piezoresistive microcantilevers for industrial micro/nanoscale sensing applications", Keynote Lecture auf dem 7th Intern. Symp. Precision Mechanical Measurements (ISPMM2015), August 7-12, 2015, Xia’men, Fujian, China (eingeladen).
  29. H. S. Wasisto, W. Wu, E. Uhde, E. Peiner, "MEMS Sensor for Personal Nanoparticle Monitoring", Invited Lecture on CIMTEC 2016, Symp. M, June 5th - 9th, 2016, Perugia, Italy.

Habilitation:

Silizium-Sensorik für die Maschinenüberwachung, Shaker Verlag, Aachen (2000) 

Wissenschaftlicher Vortrag: Nanostrukturenin Halbleitern, TU Braunschweig (7. 2. 2000)

Antrittsvorlesung: Sensorik mit Halbleitern, TU Braunschweig (30. 6. 2000)

Dissertation:

Herstellung metastabiler Legierungen binärer Systeme mit positiver Bildungsenthalpie mit Hilfe der ionenstrahl-induzierten Durchmischung
Universität Bonn (1988) 

Diplomarbeit:

Ionenstrahl-induzierte Durchmischungsexperimente an den Systemen Al-Os und Al-Au unter Verwendung einer neu errichteten Ultrahochvakuum-Aufdampfanlage
Institut für Strahlen- und Kernphysik, Universität Bonn (1985)



  aktualisiert am 29.08.2017
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